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반도체 설비의 Fan Filter Unit 에서 발생하는 진동이 Wafer 생산성에 미치는 영향

  • 조귀영
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2014년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.121-121
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    • 2014
  • 본 연구에서는 반도체 제조의 Diffusion 공정설비의 FFU (Fan Filter Unit) 진동에 의해 발생한 wafer 불량 현상을 규명 및 개선하였다. EFEM(Equipment Front End Module)의 Loading 부에 장착된 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 들어 있는 Wafer 들이 설비 EFEM 하부로 떨어져 깨지거나 FOUP 내에서 겹침 현상이 발생하는 것을 확인하였다. 이에 생산현장의 모든 Diffusion 공정 설비를 조사하였으며, 그 결과 A 사(社)의 특정 설비에서만 발생되는 현상임을 확인하였다. 해당 A사(社)설비군에서만 월 평균 10 건의 Slot Mapping Error 가 발생하였으며, 이로 인해 Wafer가 재 제조된 매수가 월 평균 53 매로 확인되었다. 따라서 본 연구는 A 사(社)설비에서 발생하는 Mapping Error 의 원인 규명 및 개선을 위해 추진되었다. 총 12 개의 항목을 불량 발생 원인 후보 군으로 선정 후 예비 진단한 결과 FFU(Fan Filter Unit)에 의한 문제 발생 가능성이 가장 높을 것으로 추정되었다. 이에 따라 4 개의 서로 다른 물리적 환경/조건에서 진동을 측정하였으며, 최종 평가 결과 Motor 와 Blade 의 불균형에서 기인한 진동이 설비의 loader 부에 직접적으로 영향을 주는 것을 확인하였다. 진동 문제를 해결하기 위해 고 RPM blade 에서 저 RPM 및 유량 감소를 보완할 수 있는 신규모델로 교체하였다. 신규 Module(blade/motor) 장착 후 Load port 에서의 진동 측정 결과 개선 전 대비 91% 감소하였으며, 결과적으로 Slot mapping error 발생 건수가 50% 이상 감소되는 효과와 Wafer 재 제조 매수도 월 평균 약 43% 감소하는 효과를 얻을 수 있었다.

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트위터 사용자의 도시 내 활동반경과 거주지역의 탐색: 라스베이거스 사례 (Investigation of Twitter Users' Activity Radius and Home Region in the City: The Case of Las Vegas)

  • 조재희;서일정
    • 한국통신학회논문지
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    • 제42권2호
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    • pp.505-513
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    • 2017
  • 본 연구는 전 세계에서 발생한 200,578,703건의 지오트윗을 수집하여 트윗 봇을 제거한 후, 인간의 도시 내 이동패턴을 분석하였다. 활동반경(Activity Radius)이라는 개념을 이용하여 트위터 사용자를 구분하였으며, 거주지역을 국내와 국외로 구분하고 국내는 다시 시내와 시외로 구분하였다. 그리고 활동반경과 거주지역에 따라 트위터 사용자의 활동성과 활동지역에 대한 통계적 특성을 기술하였고 지리적 분포를 시각적으로 표현하였다. 라스베이거스를 대상으로 하는 사례 분석을 통해, 거주지역에 따른 활동성과 활동지역의 차이를 확인하였다. 향후 본 연구의 방법에 따라 다양한 도시를 대상으로 분석을 수행하면, 인간의 이동성에 대한 다양한 이론을 도출할 수 있을 것이다.

주성분 보유수에 따른 중요 용어 추출의 비교 (Comparison of Significant Term Extraction Based on the Number of Selected Principal Components)

  • 이창범;옥철영;박혁로
    • 정보처리학회논문지B
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    • 제13B권3호
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    • pp.329-336
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    • 2006
  • 문서를 구성하는 단어들은 서로 연관이 있다는 정보를 충분히 이용할 수 있는 다변량 분석 방법 중, 주성분분석(Principal Component Analysis)을 이용하여 중요 용어를 추출하고자 한다. 본 논문에서는 주성분분석의 분석 대상을 용어 사이의 공분산행렬이 아닌 상관행렬을 이용한다. 그리고, 중요 용어를 추출하기 위해서, 보유해야 할 주성분 개수와 주성분과 용어 사이의 상관계수에 대한 최적의 임계치를 찾고자 한다. 283건의 신문기사를 대상으로, 추출된 용어에 기반한 문장 추출 실험 결과, 첫 6개까지의 주성분과 상관계수 |0.4|라는 조건에서 가장 좋은 성능을 보였다.

대학도서관의 웹기반 전자참고정보 서비스에 관한 연구 (A Study on Web-based Electronic Reference Services of Academic Libraries)

  • 유재옥
    • 정보관리학회지
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    • 제17권4호
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    • pp.171-186
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    • 2000
  • 도서관서비스를 웹정보로 제공하는 국내 대학도서관 총178곳을 대상으로 전자 참고정보원 안내서비스와 전자 참고질의서비스 제공실태를 조사하였다. 국내 대학도서관의 25.8%만이 전자참고정보원 안내서비스를 불과 20.8%만이 전자 참고질의서비스를 제공하고 있어 대학도서관의 전자 참고정보서비스 사업은 그리 활발하지 않은 것으로 파악되었다. 또한 대학도서관은 한 달 평균 3.2건의 질문을 접수하는 것으로 조사되어 이용자의 전자 참고질의서비스 사용은 극히 저조하였다. 전자 참고질의서비스를 통한 접수한 총1,128개 질문중 19.8%만이 순수한 참고질문에 해당하는 것으로 나타났다.

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일회용 라이터 이용, 차량화재 착화.발화 가능여부에 대한 행태 연구 분석 (A Study on the Possibility of Ignition by Disposable Lighter)

  • 김성환;오재근;조영진
    • 한국화재조사학회지
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    • 제9권1호
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    • pp.27-34
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    • 2006
  • 2004년 2월~5월까지 대구시 달서구 00동 소재에서 연쇄방화가 발생 되어 수사를 하여 오던 중 우리경찰서에서 다방면으로 수사하여 차량화재 방화범 000를 검거 후 기소한 상태에서 공판이 진행되던 과정에서 변호인 측에서 일회용 라이터로는 차량을 착화 또는 발화의 가능성이 현저히 어렵다는 이유로 피고인의 무혐의를 주장하는 변론이 제기되어 00지방검찰청 000 담당검사의 요청에 의하여 혐의를 입증하고 검증할 수 있는 자료를 제출하고 검증자료가 없으면 본 건의 조건에 따르는 실험을 실시하고 감정결과를 제출하라는 지휘에 의거 우리경찰서 과학수사팀에서는 차량(프라이드)을 1대 구입하여 지방경찰청 과학수사팀, 국립과학수사구소 남부분소 이공학실 화재 연구실과 연계하여 차량화재 실험을 실시하고 실험과정 및 발화 행태와 양상을 구체적으로 증명할 수 있는 자료를 조사연구 분석하고 국립과학수사 연구소에서는 00지방검찰청에 촬영 데이터 원본영상과 촬영물, 그리고 감정서를 작성, 실험 결과를 문서화하여 제출하여 혐의를 입증한 사례 연구로 피의자에 대한 혐의 입증시 상황이나 정황 증거보다 실체적 진실증거의 중요성을 재인식 하고자 한다.

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계약 조항의 애매모호성에 의해서 발생되는 공기지연 클레임의 책임 당사자 확인 프로세스 (The Process of Identifying the Responsibility Party of Caused Delay Claim by Ambiguity of the Conditions of the Contract)

  • 이치주;권태욱;고훈석
    • 한국건축시공학회지
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    • 제20권6호
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    • pp.527-535
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    • 2020
  • 본 연구에서는 EPC/턴키 프로젝트에서 발생 가능한 클레임의 주요 원인들을 발주자와 건설사의 관점에서 분석하였다. 그 원인들은 EPC/턴키 프로젝트의 표준 계약서인 FIDIC 실버 북을 기반으로 도출하였다. 발생 빈도가 가장 높은 클레임의 유형은 공기지연으로 분석되었다. 그 후, 가장 발생 빈도가 높은 클레임에 대한 책임이 계약 당사자간에 누구에게 있는지를 분석하는 프로세스를 제안하였다. 제안된 프로세스는 2010년에 수행한 2건의 대규모 EPC/턴키 프로젝트들과 FIDIC 실버 북의 공기지연 클레임에 관련된 계약 조항들을 기반으로 제안되었다. 제안된 프로세스는 발주자가 공사기간 지연에 대해 배상금을 설정하는지에 대한 의도에 따라 분류된다. 본 연구의 주요 기여도는 사례 프로젝트의 계약 조건을 기반으로 다양한 계약 유형에 적용할 수 있는 프로세스를 제안한 것이다. 뿐만 아니라, 계약서 작성 전에 발생 가능한 클레임의 유형을 확인할 수 있고, 공사기간 지연 클레임이 발생할 경우에 책임 당사자를 예측할 수 있으므로, 명확한 계약서 작성에도 기여할 수 있을 것이다.

홍삼음료의 함량 및 안전성 실태조사 (A Survey on the Content and Safety of Red Ginseng Products)

  • 김종필;김진희;강경리;양용식;홍삼재;김은선;문용운;이정치;송현제;정재근
    • 한국식품과학회지
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    • 제43권4호
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    • pp.413-418
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    • 2011
  • 대장균군은 유통형, 맞춤형 및 건강기능형 홍삼음료 모두에서 음성이었다. 일반세균은 유통형 홍삼음료 및 건강기능형 홍삼음료에서는 검출되지 않았으나, 맞춤형 홍삼음료에서는 58건 중 13건(22.4%)이 검출되었다. 총 100건의 제품 중 5건의 제품에서 안식향산이 검출되었다. 함량은 19.2-543.0 mg/kg이며 이 중 유통형 홍삼음료에서 검출된 1건의 제품(19.2 mg/kg)과 건강기능형 홍삼음료 1건(31.4 mg/kg)의 함량은 원료에서 유래된 것으로 판단되었다. 유통형 홍삼음료의 납 평균 함량은 62.3 ${\mu}g/kg$, 맞춤형 홍삼음료는 74.6 ${\mu}g/kg$, 건강기능형 홍삼음료는 28.8 ${\mu}g/kg$으로 나타났다. 카드뮴의 평균 함량은 유통형 1.15 ${\mu}g/kg$, 맞춤형 1.62 ${\mu}g/kg$, 건강기능형 홍삼음료는 4.18 ${\mu}g/kg$으로 조사되었다. 수은의 평균 함량은 0.10-0.18 ${\mu}g/kg$으로 조사되었다. 홍삼 건강기능식품의 지표성분인 Rg1과 Rb1함량은 유통형 및 맞춤형 홍삼음료가 0.1-23.4 mg/90 mL으로 함유되어 있었다. 하루에 3회 섭취한다고 가정하고 건강기능식품의 일일 섭취량 3-80 mg/day와 비교해보면, 이번에 조사된 37건의 유통형 홍삼음료 중에서 22건(59%), 맞춤형 홍삼음료 58건에서는 26건(45%)이 건강기능식품에 해당하는 지표성분(Rg1과 Rb1)을 함유하고 있는 것을 알 수 있었다. 그러나 홍삼음료들 간에 서로 홍삼성분의 함량차이가 크고 건강기능식품 섭취기준(3-80 mg/day) 양에 미치지 못한 47건 중 1회 분량 90 mL 기준 홍삼성분이 0.2 mg 이하로 함유되어 있는 제품도 20 건이나 되는 것으로 나타났다.

관절경하 견갑하건 봉합술 - 8 례에 대한 예비보고 - (Arthroscopic Subscapularis Tendon Repair - Preliminary Report of 8 cases study -)

  • 윤호현;문기혁;장종훈;유연식
    • 대한관절경학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.124-131
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    • 2004
  • 목적: 관절경으로 견갑하건을 봉합하여 비교적 좋은 결과를 얻었으므로 그 수기를 소개하고 그 적용범 위를 알아보고자 하였다. 대상 및 방법: 2003년 4월부터 2004년 4월까지 관절경하 견갑하건 봉합술을 시행했던 8예를 대상으로 하였다. 평균 추시기간은 ll개월이였다. 견갑하건의 단독 손상이 2예, 후상방회전근개의 소범위 단순파열과 동반된 손상이 4예, 후상방 회전근개의 광범위 파열과의 동반이 2예이었다. 견갑하근의 파열형태로서 상방부의 전층파열이 6예, 관절면에 국한된 부분파열이 1예 그리고 완전파열이 1예이었다. 결과판정은 최종 추시시점에서의 환자의 주관적 만족도, 상방 전위된 상완골두의 하방이동 여부 그리고 임상적 평가로서 Constant - Murley 기능평가법 이용하였다(Table 1) 결과: 술 후 평균 11개월에서의 견관절 기능평가는 술 전 55점에서 술후 75점으로 증가되었고 광범위 후상방파열이 동반되었던 2예를 제외한다면 술 후 평균 71점으로 비교적 우수한 결과를 보였다. 상완골두의 상방이동은 술 전평균 0.7 cm에서 술 후 0.5 cm로 감소하였으나 상방이동이 오히려 가속된 1 예를 제외한다면 대부분의 경우에서 뚜렷한 하방 이동을 보였다. 최종 추시 시점에서의 술 후 만족도에서는 만족이 5예, 보통이 1예 그리고 불만족이 2예 이었고 불만족인 1예에서는 술 후 6개월에 관혈적 방법으로 견갑하건을 봉합하였다. 결론: 관절경을 이용한 견갑하건의 봉합은 광범위파열과 동반된 견갑하건의 파열이 있을경우 퇴축이 심하지 않다면 피부절개와 삼각근의 절개범위를 줄일 수 있어 술 후 통증이나 삼각근의 약화로 발생할 수 있는 합병증을 줄일수 있으며, PASTA 병변을 포함해서 후상방 파열과 동반되지 않은 견갑하건의 부분 파열은 매우 적합한 관절경하복원술의 적응증이 될 수 있다고 사료된다.

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항만운영정보시스템의 데이터전송방식 개선에 관한 연구

  • 김칠호;박남규;최형림
    • 한국항해항만학회:학술대회논문집
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    • 한국항해항만학회 1999년도 추계학술대회논문집
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    • pp.187-197
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    • 1999
  • 해양수산부가 개발 .운영 중인 항만운영정보시스템(PORT-MIS)은 선박입출항 관련 업무, 수출입 화물 반출입에 관한 업무, 항만시설물관리에 관한 업무, 의사결정지원시스템에 관한 업무 등 크게 4개 업무오 구성되어 있으며, 총 19개의 전자문서와 1,500여개의 단위 프로그램으로 구성되어 있다. 그동안 PORT-MIS를 권역별로 확대 운영하면서 발생한 여러 가지 문제점들을 보완하기 위해 해양수산부와 정보통신부(한국전산원)가 공동으로 $\ulcorner$수출입화물 일괄처리시스템 구축$\lrcorner$ 용역 사업을 현재 진행 중에 있다. 본 연구는 용역과업 내용에 포함되어 있지 않으면서 개선이 필요한 외항선(국전선.외국전선 포함) 선박입항보고서(최초.변경.최종)와 선박출항보고서(최초.변경.최종), 내항선입.출항신고서, 예선사용허가신청서 및 지정서, 도선사용허가신청서 및 지정서 등의 민원업무를, 사용자로 하여금 최소한의 노력으로 처리할 수 있도록 제출방법을 개선(EDI방식에서 온라인방식으로)하여 행정소요시간을 단축함으로써 PORT-MIS의 효율성을 높일 수 있는 방안을 제시하고자 한다. 이러한 노력을 통해 PORT-MIS EDI업무가 개선되어 선박입.출항보고를 1회롤 처리할 수 있다면 연간 29만9천건의 서류절감으로 약 1억3천7백만원의 물류비를 줄일 수 있으며, 시간 단축에 따른 간접비용을 계산하면 보다 많은 효과가 있다고 판단된다. 그리고 내항선입.출항신고서 및 예.도선업무를 EDI방식에서 온라인방식으로 전환함으로써 선사와 예선업체 및 도선사협회가 대화형식으로 업무처리가 이루어져 분쟁을 최소화 할 수 있다면, 전자문서 31만6천건/년 절감으로 1억3백만원/년의 예산이 절감될 것으로 예상된다.rr로 변화시켰고 inductive power는 200~800watt, bias voltage는 0~-200voltage로 변화시켰으며 식각마스크로는 SiO2를 patterning 하여 사용하였다. n-GaN, p-GaN 층 이외에 광소자 제조시 필수적인 InGaN 층을 100% Cl2로 식각한 경우에 InGaN의 식각속도가 GaN에 비해 매우 낮은 식각속도를 보였다. Cl2 gas에 소량의 CH4나 Ar gas를 첨가하는 경우와 공정압력을 감소시키는 경우 식각속도는 증가하였고, Cl2/10%Ar 플라즈마에서 공정 압력을 감소시키는 경우 식각속도는 증가하였고, Cl2/10%CHF3 와 Cl2/10%Ar 플라즈마에서 공정압력을 15mTorr로 감소시키는 경우 InGaN과 GaNrks의 선택적인 식각이 가능하였다. InGaN의 식각속도는 Cl2/Ar 플라즈마의 이온에 의한 Cl2/CHF3(CH4) 플라즈마에서의 CHx radical 형성에 의하여 증가하는 것으로 사료되어 진다.$ 이상을 나타내었다. 박막의 Sn/In atomic ratio는 0.12, O/In의 비율은 In2O3의 화학양론적 비율인 1.5보다 작은 1.3을 나타내었다.로 보인다.하면 수평축과 수직축의 분산 장벽의 비에 따라 cluster의 두께비가 달라지는 성장을 볼 수 있었고, 한 축 방향으로의 팔 넓이는 fcc(100) 표면의 경우 동일한 Ed+Ep값에 대응하는 팔 넓이와 거의 동일한 결과가 나타나는 것을 볼 수 있다. 따라서 이러한 비대칭적인 모양을 가지는 성장의 경우도 cluster 밀도, cluster 모양, cluster의 양 축 방향 길이 비, 양 축 방향의 평균 팔 넓이로부터 각 축 방향의 분산 장벽을 얻어낼 수 있을 것으로 보인다. 기대할 수 있는 여러

식수대용차 재료의 비의도적 유해물질 오염도 조사연구 (Investigation of Unintentionally Hazardous Substance in Teas)

  • 박혜민;김애경;양용식;최수연;서두리;조배식;서계원;김진희
    • 한국식품위생안전성학회지
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    • 제35권2호
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    • pp.162-169
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    • 2020
  • 2018년 10월부터 2019년 10월까지 광주지역의 대형마트(50건), 재래시장(25건) 및 온라인(50건)에서 구입한 보리차, 옥수수차, 결명자차, 둥글레차, 옥수수수염차 등 침출차 총 125건을 대상으로 중금속, 벤조피렌, 곰팡이독소 함량 조사를 통해 오염실태를 평가하였다. 중금속 중 As, Cd, Pb 함량을 검사하였으며, benzopyrene은 발암물질로 분류된 benzo(a)pyrene의 함량을 조사하였다. 그리고 곰팡이독소는 aflatoxin (AFB1, AFB2, AFG1, AFG2), ochratoxin A (OTA), fumonisin (FUB1, FUB2), zearalenone (ZON)의 함량을 검사하였다. 「식품공전」에 제시된 침출차의 규격과 비교해 보았을 때 중금속 함량은 기준이 설정된 범위(Pb 5.0 mg/kg 이하) 내에서 검출되어 모두 적합하였고, benzo(a)pyrene은 125건 중 16건의 시료에서 12.8%의 검출률을 나타내었으며, 곰팡이독소는 125건 중 29건의 시료에서 23.2%의 검출률을 나타내었다. 하지만 현재 우리나라 「식품공전」에서는 침출차의 벤조피렌, 곰팡이독소 기준규격이 정해져있지 않아 이에 대한 안전성 여부는 확인하기 어려웠다.