• Title/Summary/Keyword: 가스조성

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저진공 펄스 직류 전원 $BCl_3/SF_6$ 플라즈마를 이용한 GaAs/$Al_{0.2}Ga_{0.8}As$ 화합물 반도체의 선택적 식각 연구

  • Park, Dong-Gyun;Choe, Gyeong-Hun;No, Gang-Hyeon;Sin, Ju-Yong;Song, Han-Jeong;Lee, Je-Won
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.261-261
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    • 2011
  • 펄스 직류 전원 $BCl_3/SF_6$ 플라즈마를 이용하여 GaAs/$Al_{0.2}Ga_{0.8}As$의 선택적 식각을 연구하였다. 식각 주요 공정 변수는 $BCl_3/SF_6$ 플라즈마에서 $SF_6$ 가스 유량(0~50%)이었다. $BCl_3/SF_6$의 총 가스 유량은 20 sccm이었다. 다른 공정 조건인 공정 압력(100 mTorr), 펄스 파워(500 V), 펄스 주파수(200 kHz), 리버스 시간 (0.7 ${\mu}s$)은 일정하게 고정시켰으며 기계적 펌프만을 이용하여 공정을 진행하였다. 오실로스코프(Oscilloscope) 데이터에 의하면 가스의 조성 변화에도 척에 걸리는 입력 전압과 전류가 거의 변화가 없었다. $BCl_3/SF_6$ 가스가 10%의 조성에서 GaAs와 $Al_{0.2}Ga_{0.8}As$의 식각 선택비가 약 48 : 1로 우수한 결과를 나타내었다. 그러나 $BCl_3/SF_6$ 가스의 증가는 GaAs의 식각율과 선택도를 감소시켰다. 그리고 $SF_6$ 가스의 조성비가 30% 이상일 경우에는 GaAs와 $Al_{0.2}Ga_{0.8}As$가 식각되지 않았다. 식각 후에 GaAs의 표면 거칠기(RMS surface roughness)는 0.7~1.3 nm로 나타났다. 위의 결과들을 종합적으로 보면 펄스 직류 전원 $BCl_3/SF_6$의 조성비가 10%일 때 가장 좋은 식각 선택비를 얻을 수 있었다.

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Analysis of Reactivity of Zn-Based Desulfurization Sorbents for Reducing Power, Water Vapor Content and H2S Content of the Coal Gas in a Batch-Type Fluidized-Bed Reactor (회분식 유동층반응기에서 세 종류 아연계 탈황제의 석탄가스 환원도, 수분함량, 황화수소함량에 따른 반응성 평가)

  • Park, Young Cheol;Jo, Sung-Ho;Son, Jae-Ek;Yi, Chang-Keun
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • v.47 no.6
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    • pp.710-714
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    • 2009
  • In this study, we analyzed the desulfurization performance of Zn-based dry sorbents according to the reducing power, water vapor content and $H_2S$ inlet concentration of coal gas in a batch-type fluidized-bed reactor. We used three different coal gas composition with different reducing power such as KRW air-blown coal gas, Shell oxygenblown coal gas and IAE coal gas. The experiments were performed by changing the inlet concentration of water vapor and $H_2S$ in a coal gas. Water vapor content was varied from 5% to 30% and $H_2S$ inlet concentration from 0.5% to 2.0%. As both the water vapor content and $H_2S$ inlet concentration increased, desulfurization performance of Zn-based sorbents decreased regardless of the reducing power of the coal gas. The minimum desuflurization performance was, however, above 99.5% for all experimental conditions, which implied that Zn-based dry sorbents could be used to remove $H_2S$ up to 99%.

LPG체적거래제 개선방안

  • Korea LPGas Industry Association
    • LP가스
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    • s.76
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    • pp.49-61
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    • 2001
  • 최근 산업연구원은 .과태료제도 개선 .시장 인센티브 조성 .도시가스 전환에 다른 보상문제 .기본요금제 도입 겸토 등의 내용이 담긴 "LPG체적거래제 개선방안" 연구용역결과를 내놓았다. 국내 LPG체적거래제의 현황 및 문제점, 개선방안에 대해 게재한다.

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전환기 국내 가스산업의 진로

  • 박달영
    • Journal of Energy Engineering
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    • v.8
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    • pp.74-85
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    • 1999
  • 우리 나라는 1970년대에 두 차례에 걸친 석유 파동을 겪으면서 에너지 정책의 중점 방향을 에너지 수요 관리와 안정적 에너지 공급 기반 조성 등으로 삼았다. 특히 에너지의 안정적 공급을 위하여 에너지원의 다원화, 수입선 다변화, 그리고 해외자원 개발 등이 추진되었다. 이러한 에너지 정책의 일환으로 천연가스의 도입이 적극 추진되어, 1983년 8월 한국가스공사가 설립되었으며, 1986년 10월 국내 최초로 액화천연가스(LNG)가 수입되고 다음달부터 공급되기 시작하였다. (중략)

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ASPEN 코드를 이용한 석탄가스화기내 주요 변수들의 가스화 성능에 대한 영향

  • 이승종;마수만;윤용승;김형택
    • Proceedings of the Korea Society for Energy Engineering kosee Conference
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    • 1993.11a
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    • pp.37-41
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    • 1993
  • ASPEN 코드를 이용하여 석탄가스화기에 영향을 주는 온도, 압력, 산화제 및 증기를 변수로 선택하여 각 변수의 변화에 따른 가스화기의 온도 및 생성가스의 조성 변화를 살펴보았다. 석탄가스화기는 combustion zone, char gasification zone 및 gas shift reaction zone의 3부분으로 나뉘어 각 영역의 특성에 맞게 모사 되었다. 온도와 산화제는 석탄가스화기에 커다란 영향을 주는 요소로 나타났고, 압력과 증기 또한 주요 변수인 것으로 나타났다. 본 연구의 궁극적 목적은 석탄가스화기의 운전 조건을 최적화하는데 있다.

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SNG Production characteristics of various coal type and gasifier (석탄 종류 및 가스화기 종류별 SNG 생산 특성)

  • Kim, Suhyun;Yoo, Youngdon;Kim, Jinho;Koh, Dongjun;Baik, Joonhyun;Byun, Changdae;Lim, Hyojun
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2011.11a
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    • pp.72-72
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    • 2011
  • 국내 및 세계의 천연가스 수요가 증가하고, 원유가 상승에 의한 천연가스의 지속적인 가격상승이 예측됨에 따라 천연가스의 99%를 수입에 의존하는 우리나라의 에너지 안보 확보 방안을 위한 기술개발이 필요하다. 국내에서 천연가스를 확보할 수 있는 현실적인 방법중의 하나는 석탄가스화를 통해 얻어진 합성가스를 이용하여 SNG(synthetic Natural Gas, 합성천연가스)를 제조하는 것이다. 본 연구에서는 다양한 석탄, 다양한 석탄 가스화기를 적용하는 경우에 대한 CASE별 공정해석을 수행하여 각 경우의 SNG 생산 특성을 파악하였다. 석탄의 종류는 역청탄, 아역청탄, 갈탄을 대상으로 하였으며, 역청탄을 사용하는 경우는 General Electric Energy(GEE), Shell Global Solutions(Shell), ConocoPhillips(CoP)사의 가스화기를, 아역청탄을 사용하는 경우는 KBR의 TRIG$^{TM}$, Siemens사의 SFG, Shell, CoP 가스화기를, 갈탄을 사용하는 경우는 Shell, Siemens 가스화기를 적용하였다. 사용한 석탄과 석탄가스화기에서 발생된 합성가스 조성은 NETL에서 발행된 보고서에 제시된 수치들을 활용하였다. 역청탄을 사용하고 CoP 가스화기를 적용한 경우, SNG 합성공정에 유입되는 유량이 100 Nm3/h 일 때, 생산되는 SNG의 조성은 $CH_4$ 96.26%, $H_2$ 1.49%, $CO_2$ 0.69%, CO 0.004% 이고 생산유량은 24 Nm3/h 였다. SNG 효율을 SNG 합성공정에 공급되는 합성가스 열량 대비 최종 생산되는 SNG의 열량을 기준으로 하고, 각 CASE 별 SNG 효율을 살펴보면, 역청탄을 대상으로 한 경우 GEE 74.05%, CoP 76.65%였다. 아역청탄을 대상으로 한 경우 TRIG 78.14%, Siemens 71.22%, CoP 75.72%였고, 갈탄을 대상으로 하는 경우 Shell 71.48%, Siemens 71.49%였다. 역청탄을 사용하는 경우는 CoP 가스화기를 대상으로 한 경우 SNG 효율 및 생산량이 가장 높았고, 아역청탄을 사용하는 경우는 TRIG 가스화기를 대상으로 한 경우의 SNG 효율 및 생산량이 높았다. 갈탄을 사용하는 경우는 Shell 가스화기와 Siemens 가스화기가 거의 비슷한 결과를 나타내었다. $$SNG\;efficiency({\eta})={\frac{Q_B}{Q_A}}={\frac{Q_{SNG}(kcal/h)}{Q_{Syngas}(kcal/h)}}{\times}100(%)$$.

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Effects of the Composition of Nitrogen Gas and the Working Pressure on the Temperature Distributions and Unit Cell Performance of MCFC (용융탄산염 연료전지의 양극가스내 질소 조성과 작동압력이 단위전지의 온도 분포 및 성능에 미치는 영향)

  • 김태진;안영주;주재백;정귀영;남석우;오인환;임태훈;홍성안
    • Journal of Energy Engineering
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    • v.4 no.3
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    • pp.354-363
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    • 1995
  • 차세대 연료전지인 용융탄산염 연료전지의 운전조건을 확립하기 위하여 운전변수와 단위전지 성능과의 관계를 살표보았다. 용융탄산염 연료전지에 산화제로 공기를 사용하는 경우 양극가스에 질소가 포함된다. 그리고 연료전지의 작동압력을 높이면 출력을 크게 할 수 있다. 그리하여 본 연구에서는 에너지 및 물질수지를 이용하여 양극가스내 질소 조성과 작동압력 변화에 따른 전지내의 온도분포 및 성능변화를 구하였다. 본 연구팀이 이미 발표한 용융탄산염 단위 연료전지의 전류밀도의 온도분포를 구하기 위한 수치모사가 이용되었다. 가스흐름의 형태는 십자류를 선택하였다. 양극가스내 질소의 영향은 냉각효과로 나타났다. 작동압력이 증가할수록 전지의 성능은 증가하였고, 기전력[mV]변화 대 압력[atm]의 상용대수값의 변화(즉, ΔV 대 Δ(log))의 1차함수 그래프 기울기는 79.9로 문헌상의 실험치와 유사하게 나타났다.

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Study on Hydrate formation characteristics observation by change of $SF_6$ & $N_2$ Mixture ($SF_6$ & $N_2$ 혼합가스의 조성변화에 따른 Hydrate 형성 특성 관찰에 관한 연구)

  • Moon, D.H.;Lee, J.J.;Shin, H.J.;Lee, J.D.;Seo, Y.W.;Lee, G.W.
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2008.10a
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    • pp.220-222
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    • 2008
  • 가스하이드레이트는 물분자들의 수소결합에 의하여 입체 그물구조를 만들게 되면 그 그물구조의 공동(Cavity) 내에 크기가 작은 가스 분자들이 포획되면서 형성되는 결정체이다. 이러한 원리로 포획되어질 수 있는 가스는 130여종에 이른다. 포획가능한 가스 분자들 중 $SF_6$의 경우 보다 쉬운 조건에서 하이드레이트 형성이 되는 점을 이용하여 $SF_6$의 분리 회수에 하이드레이트의 형성 원리를 적용하고자 하였다. 이를 위하여 본 연구에서는 압력조건과 조성변화를 달리하여 $SF_6$ 하이드레이트 형성 특성을 관찰하였다. 본 연구에서 하이드레이트 결정 형성 특성 및 형성 속도에 대한 실험과 분석을 통한 결과를 확보함으로써 향후 $SF_6$ 하이드레이트의 생산, 저장, 회수, 분리 등의 설계의 기본자료로 사용될 수 있을 것으로 사료된다.

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