• Title/Summary/Keyword: 가스제거

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Treatment of Halogen Gases, BCl3 and CF4, used in Semiconductor Process by Using Inorganic Gas Adsorption Agents (무기흡착제를 이용한 반도체 공정에서 사용되는 할로겐 가스 (BCl3, CF4) 의 처리 및 측정에 관한 연구)

  • Lim, H.B.;Hwang, Cheong-Soo;Park, Jeong-Jun
    • Analytical Science and Technology
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    • v.16 no.5
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    • pp.368-374
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    • 2003
  • Halogen gases such as $BCl_3$ and $CF_4$ are among the most problematic gases used in semiconductor process. They raise serious environmental and health problems due to their extreme toxicity. This study is to develop a method to effectively remove those gases during the process by using various types of inorganic gas adsorption agents such as zeolite A, modified AgA zeolite, ZnO, and $AgMnO_3$, which have not been attempted in the conventional methods. The removal efficiencies of the gases were both qualitatively and quantitatively measured by a FT-IR spectrophotometer. The whole device for the measurement has been designed and built in our lab. The removal efficiencies of the gases were compared between those used resins. The experimental result revealed that ZnO showed the best removal efficiency for BCl3 gas that had removed 0.094 g per 1 g of the resin used. For $CF_4$ gas, none of the solid resins was able to remove the gas effectively. However, liquid $CHCl_3$ showed some removal ability of the $CF_4$ gas.

산성독가스용 방독마스크의 아황산가스 및 황화수소 제거 성능

  • 박재만;김덕기;신창섭
    • Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference
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    • 2003.05a
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    • pp.474-477
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    • 2003
  • 산성가스용 방독마스크 정화통은 활성탄에 정화제를 첨착시킨 첨착 활성탄을 사용하여 유해가스를 제거하여 왔으며, 일반적으로 알칼리제인 Ca(OH)$_2$를 첨착시켜 유독가스와 중화반응을 유도하여 왔다. 그러나 이들의 흡착제거 능력이 크지 않아 많은 양을 사용하여야 하는 문제점이 있었다. 따라서 정화통의 성능을 좌우하는 새로운 첨착물질을 선정하여야 고효율ㆍ저비용 정화통을 개발할 수 있으며, 본 연구에서는 이러한 첨착흡착제를 개발하여 이를 방독마스크 정화통에 적용하고자 하였다.(중략)

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$CO_2$ Removal Process Case Studies and Plant Performance Analysis for 300MW IGCC Power Plant (300MW 급 IGCC Power Plant $CO_2$ 제거공정의 Case Studies 및 Plant 성능 영향 분석)

  • Jeon, Jinhee;Yoo, Jeongseok;Paek, Minsu
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2011.11a
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    • pp.71.2-71.2
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    • 2011
  • 300MW 급 태안 IGCC 가스화 플랜트 및 기존 발전소에 CCS 를 설치할 경우에 대해 기술 타당성 검증을 목적으로 CCS 모델링을 수행하였다. CCS Case Studies 는 플랜트 운전부하에 따른 $CO_2$ 제거율, $H_2S$ 제거율, 소모동력 범위 등 플랜트 성능을 예측할 수 있다. Case Studies 결과를 활용하여 설계된 CCS 설비 용량이 운전범위에 적합한지를 판단할 수 있고 과잉 설계되었을 경우 플랜트 건설비를 절감할 수 있다. IGCC 가스화 플랜트에서 생산되는 합성가스의 $CO_2$ 분압, 목표 $CO_2$ 제거율, 경제성을 기준으로 적합한 CCS 공정을 판단한 결과 Selexol 공정이 선정되었다. Selexol 공정은 고압, 고농도의 산성가스 제거에 적합하며 다른 물리적 용매인 Rectisol 공정에 비해 건설비용이 경제적이고 화학 흡수제인 아민과 비교하여 운전 온도 범위가 넓다. CO, $H_2O$$CO_2$, $H_2$ 로 전환하는 Water Gas Shift Reaction (WGSR) 공정은 Co/Mo 촉매 반응기로 구성되었고 Selexol 공정은 $H_2S$ Absorber, $H_2S$ Stripper, $CO_2$ Absorber, $CO_2$ Flash Drum 로 구성되었다. WGSR+Selexol 모델링은 Wet Scrubber 후단의 합성가스 (40.5 bar, $136{\sim}139^{\circ}C$) 를 대상으로 하였다. WGSR+Selexol 공정 운전 조건 변화 [Process Design Case(PDC), Equipment Design Case(EDC), Turndown Design Case(TDC)] 에 따른 플랜트 모델링 결과를 비교분석 하였다. 주요 분석 내용은 WGSR 설비에서의 CO 의 $CO_2$ 전환 효율, Selexol 설비에서 $CO_2$ 제거 효율, $H_2S$ 제거 효율이다. 모델링 결과 WGSR 설비에서의 CO 의 $CO_2$ 로의 전환율 99.1% 이상, Selexol 설비에서 $CO_2$ 제거율은 91.6% 이상, $H_2S$ 제거율 100%이었다. CCS 설비 설치에 따른 플랜트 성능 영향을 분석하기 위해서 CCS 설비의 Chiller, Compressor, Pump 소비동력을 계산하였다. 모델링 결과 Chiller 는 2.6~8.5 MWth, Compressor 는 3.0~9.6 MWe, Pump 는 1.4~3.0 MWe 범위 이었다. 플랜트 로드가 50%인 TDC 소모동력은 플랜트 로드가 100%인 PDC 소모동력의 절반 수준이었다. 합성가스를 WGS+Selexol 공정을 통해 수소가스로 전환시키면 가스터빈 연료가스의 Lower Heating Value (LHV) 값이 평균 11.5% 감소하였다.

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Characteristics of By-product in Non-thermal Plasma DeSOx and DeNOx Process (플라즈마 탈황탈질 공정의 부산물 특성)

  • 김유석;최석호;유정석;백민수;장길홍
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2000.04a
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    • pp.233-234
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    • 2000
  • 저온 플라즈마 탈황탈질 동시처리 공정은 경제적인 장점과 함께 2차 오염물 발생 없이 비료성분을 부산물로 얻을 수 있다는 이점 때문에 국내외적으로 많은 연구가 진행되고 있다 이와 같은 저온 플라즈마 공정은 크게 가스상 물질을 제거하기 위한 플라즈마 반응 공정과 가스상 물질 제거이후 발생하는 고형화된 부산물 제거를 위한 부수 공정으로 구분할 수 있는데, 지금까지의 연구분야는 가스상 오염물질을 제거하는 공정에 초점이 모아져 왔다. (중략)

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Operation Characteristic of Particulate Filtration System for High Temperature and Pressure Coal Syngas Cleaning (석탄 합성가스 정제를 위한 고온고압 집진시스템의 운전 특성)

  • Jung, Woohyun;Lee, Sun Ki;Lee, Seung Jong;Chung, Seok Woo;Yun, Yongseung
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2010.11a
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    • pp.132.2-132.2
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    • 2010
  • 기후변화협약 등으로 인하여 기존 화력발전기술보다 효율이 높고 온실가스 발생을 줄일 수 있는 고효율 청정석탄 이용기술에 대한 사회적 요구가 높아짐에 따라 석탄 가스화와 관련된 기술 개발이 확대되고 있다. 석탄을 가스화하면 CO와 $H_2$가 주성분으로 구성된 합성가스를 얻을 수 있는데, 이를 청정가스연료로 사용하기 위해서는 합성가스에 포함된 분진의 제거가 필수적이다. 대부분의 석탄가스화 공정에서는 캔들형 필터를 사용한 여과식 집진시스템을 적용하여 합성가스에 포함된 분진을 제거하고 있다. 본 연구에서도 Pilot급 석탄 가스화기에서 제조된 합성가스에 포함된 분진 제거를 위하여 고온/고압 집진시스템을 구축하였으며, 다양한 운전조건과 필터 종류에 따른 집진시스템의 운전특성 파악을 수행하였다. 연구결과 석탄 합성가스를 안정적으로 정제 하기위한 집진시스템의 중요한 운전 기준과 방법을 도출할 수 있었으며, 이렇게 도출된 운전 기준과 방법은 용량이 증대된 집진시스템의 연속운전을 진행하여 향후 실증할 예정이다.

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Introduction and Current Status of Biomass Gasification Downstream Processing (바이오매스 가스화 정제 기술 소개 및 현황)

  • Seo, Myung Won;Kim, Jae Ho;Lee, See Hoon
    • Prospectives of Industrial Chemistry
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    • v.15 no.6
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    • pp.39-53
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    • 2012
  • 지속가능한 바이오매스 자원으로부터 열, 전력을 비롯하여 연료부터 화학원료까지 다양한 제품들을 생산하는 열화학적 전환 공정들이 높은 관심을 받고 있다. 특히 수소, 일산화탄소로 구성된 합성가스를 생산하고 이를 전력, 연료 등을 동시에 생산하는 가스화 공정에 대한 학계, 산업계, 정부의 관심이 매우 높다. 그러나 바이오매스 가스화를 통해 생산된 합성가스는 타르, 황산화물 등의 오염물질들을 함유하고 있어 후속 공정들의 이용을 위하여 정제 공정을 반드시 거쳐야 한다. 본고에서는 바이오매스 가스화 기술에 적용되는 일반적인 정제 과정에 대해서 서술하였으며 세부적으로 불순물 제거 공정, 산성가스 제거 공정, 타르 제거 공정 등의 연구 개발 동향을 살펴보았다.

Removal of Volatile Organic Silicon Compounds (Siloxanes) from Landfill Gas by Adsorbents (흡착제에 의한 매립가스 중 휘발성 유기규소화합물(실록산) 제거특성)

  • Seo, Dong-Cheon;Song, Soo-Sung;Won, Jong-Choul
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.31 no.9
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    • pp.793-802
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    • 2009
  • Adsorption properties were estimated for the organic silicon compounds (siloxanes) in an actual landfill gas (LFG) using adsorbents such as coconut activated carbon, coal activated carbon, silica gel, sulfur adsorbent, carbonized sludge, and molecular sieve 13X. Coconut activated carbon showed the highest removal efficiency of more than 95%. The desorption of hexamethyldisiloxane (L2) from the adsorbent, however, resulted in the remarkable concentration variation of the compound in the treated gas. Silica gel, which had high adsorption capacity for L2 in single substance adsorption experiment in the other study, could not remove the component in the actual landfill gas while it adsorbed well octamethylcyclotetrasiloxane (D4) and decamethylcyclopentasiloxane (D5) in the LFG. Therefore the elimination of hexamethyldisiloxane is an important factor to determine the level of total organosilicon compound in pretreated landfill gas. Moreover, the L2 from the actual landfill gas was effectively adsorbed by the serial adsorption test using two columns packed with coconut activated carbon which has the great capacity of siloxanes removal among others. In order to utilize efficiently LFG as a renewable energy, the emission and adsorptive characteristics of the substance to be treated should be considered for the organization, operation, and management of pretreatment process.

Development of a Methanol Absorption System for the Removal of $H_2S$, COS, $CO_2$ in Syngas from Biomass Gasifier (바이오매스 가스화 내의 $H_2S$, COS, $CO_2$ 복합 제거를 위한 메탄올 흡수탑 개발)

  • Eom, Won Hyun;Kim, Jae Ho;Lee, See Hoon
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.23 no.1
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    • pp.23-27
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    • 2012
  • To make synthetic liquid fuel from biomass such as wood pellet, energy crop and so on, a biomass to liquid (BTL) process by using a biomass gasifier with Fisher-Tropsch (FT) reaction was developed. However $H_2S$, COS and $CO_2$ in syngas from biomass gasifiers resulted in a decrease of the conversion efficiency and the deactivation of the catalyst. To remove acid gases in syngas, a lab-scale methanol absorption tower was developed and the removal characteristics of acid gases were investigated. The methanol absorption tower efficiently removed $H_2S$ and COS with a removal of $CO_2$, so it could be useful process for the BTL process.

Study on the Treatment of Hydrogen Chloride Gas used in Semiconductor Process by using Gas Adsorption Agents such as Zeolite Resins, ZnO, and AgMnO3 (제올라이트 수지 및 ZnO, AgMnO3 등의 무기흡착제를 이용한 반도체 공정에서 사용되는 염산가스의 처리 및 측정에 관한 연구)

  • Park, Jeong-Jun;Lim, H.B.;Hwang, Cheong-Soo
    • Analytical Science and Technology
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    • v.16 no.3
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    • pp.218-225
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    • 2003
  • Hydrogen Chloride is among the most problematic gases used in semiconductor process. It raises serious environmental and health problems due to its extreme toxicity. This study is to develop a method to effectively remove hydrogen chloride gas during the process by using various types of inorganic gas adsorption agents, which have not been attempted in the conventional methods. The removal efficiency of the gas was both qualitatively and quantitatively measured by a FT-IR spectrophotometer. The whole device for the measurement has been designed and built in our lab. The removal efficiencies of hydrogen chloride gas were compared between those tested resins; zeolite A, modified AgA zeolite, ZnO, and $AgMnO_3$. The experimental result revealed that ZnO showed the best efficiency that had removed 0.067 g of HCl per 1 g of the resin used.