• Title/Summary/Keyword: 가스감도

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The Sensing characteristics of Seminconductor NH$_3$ sensor in addition with noble metal oxides (귀금속 산화물을 첨가한 NH$_3$ 반도체 가스센서의 감응특성)

  • 김선태;이철효;이태영;최일환
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2003.05b
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    • pp.225-226
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    • 2003
  • 최근 인간의 생활환경에 존재하는 유해가스 및 대기 환경에 대한 관심이 고조되면서 환경유해가스를 손쉽게 감지할 수 있는 센서의 필요성이 중요하게 인식되고 있다. 그 중 암모니아 가스는 생활환경 내에 존재하는 악취성분일 뿐만 아니라 냉각기의 냉매로 사용되는 가스로서 대기 중 허용농도가 50 ppm으로 알려져 있다. 본 연구에서는 프린트스크린 인쇄법을 이용하여 SnO$_2$를 모물질로 하여 귀금속 산화물인 Pt와 Au를 첨가한 암모니아 반도체 가스센서를 제조하여 그 감도 및 SO$_2$, NOx, CH$_4$, NH$_3$, 에 대한 선택성을 분석하였다. (중략)

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Effect of catalyst configuration on sensing properties of semiconductor gas sensor (반도체식 가스센서의 감지 특성에 미치는 촉매구조의 영향)

  • Hong, Sung-Jei;Han, Jeong-In;Kwak, Min-Gi;Jang, Hyun-Duk;Kim, Chul-Soo
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2002.07b
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    • pp.711-714
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    • 2002
  • 촉매 구조에 따른 반도체식 가스센서의 가스 감지 특성이 고찰되었다. 촉매로는 Pd를 사용하였고, 0.5 ~ 10wt% 의 다양한 농도로 약 15nm 크기의 $SnO_2$ 분말에 도핑, 가스센서를 제작하였다. 또한 열처리 온도를 $500{\sim}600^{\circ}C$로 다르게 하여 각 촉매 구조에 따른 특성의 변화를 관찰하였다. 그 결과 가스 감지 특성은 열처리 온도가 높을수록 감지 특성이 향상되었고, Pd 농도가 5wt% 에서 감도가 0.65로 좋은 감지 특성을 나타내었다. 5wt% Pd가 도핑된 가스센서는 2시간 동안 $400^{\circ}C$에서 aging 후에도 감도 값이 안정된 우수한 특성을 나타내었다.

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Fabrication of Semiconductor Gas Sensor Array and Explosive Gas-Sensing Characteristics (반도체 가스 센서 어레이의 제작 및 폭발성가스 감응 특성)

  • Lee, Dae-Sik;Jung, Ho-Yong;Ban Sang-Woo;Lee, Min-Ho;Huh, Jeung-Soo;Lee, Duk-Dong
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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    • v.37 no.11
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    • pp.9-17
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    • 2000
  • A sensor array with 10 discrete sensors integrated on a substrate was developed for discriminating the kinds and quantities of explosive gases. The sensor array consisted of 10 oxide semiconductor gas sensors with $SnO_2$ as base material and had broad sensitivity to specific gas. The sensor array was designed with uniform thermal distribution and had also high sensitivity and reproductivity to low gas concentration through nano-sized sensing materials with different additives. By using the sensitivity signal of the sensor array at $400^{\circ}C$, we could reliably discriminate the kinds and quantities of explosive gases like butane, propane and methane under the lower explosion limit through the principal component analysis (PCA) method.

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QMS를 이용한 반도체 공정용 혼합 기체 조성비의 정량적 측정 기술

  • Min, Gwan-Sik;Cha, Deok-Jun;Yun, Ju-Yeong;Gang, Sang-U;Sin, Yong-Hyeon;Yun, Seok-Rae;Park, Won-Yeong;Lee, Gyu-Chan;Kim, Jin-Tae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.236-236
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    • 2012
  • QMS(Quadruple Mass Spectrometer)를 사용하여 혼합 기체의 조성비를 측정하는 기술로 He, $NF_3$, $CF_4$, $SF_6$가 포함된 공정에서 사용되는 가스를 사용하여 실제 조성비를 정량적으로 구하는 방법을 연구하였다. 실험을 위해 압력을 $1{\times}10^{-8}Torr$로 배기하였고, 반복 실험을 통하여 최적의 값으로 QMS를 튜닝을 한 후 He, $NF_3$, $CF_4$, $SF_6$가스에 대한 감도를 구하였다. 측정된 감도 값을 바탕으로 총 10회의 반복 측정한 데이터를 이용하여 농도 값을 얻었다. 사용된 가스는 한국표준과학연구원 표준가스실에 제작한 가스이다. 실험 데이터를 이용한 농도와 실제 농도를 비교한 결과 5% 이내의 오차 범위에서 농도 측정이 가능했다.

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고분자 폐기물의 건류가스화와 폐열회수

  • 김석준
    • Journal of the KSME
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    • v.31 no.9
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    • pp.812-819
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    • 1991
  • 고분자 폐기물을 처리하는 방법은 크게 재이용, 소각, 매립 등으로 나눌 수 있으나 재이용이나 매립 방법은 폐기물의 급속한 증가를 감당하기에 한계가 있다. 소각은 폐기물의 감량화와 폐열 회수의 이중 효과를 얻을 수 있는 가장 일반적이고 손쉬운 방법이긴 하지만 폐고무나 폐합성 수지와 같은 고분자폐기물을 직접 소각할 때에는 많은 유해가스, 분진과 매연이 발생하는 어려 움이 따른다. 건류소각 방식은 이러한 직접 소각의 단점을 보완해 주는 것으로 최근 각광을 받고 있으나 안전성, 유지관리 및 시설비 등의 면에서 뿐만 아니라 기술적인 면에서도 아직 많은 연 구가 요구되고 있다. 열분해 또는 건류 가스화에 관한 연구는 석탄에 대하여 활발하게 이루어져 왔으며 1960년대에는 심각한 환경오염을 겪으면서 폐기물 처리에 대한 응용이 시작되었다. 1970년대부터 미국에서는 EPA(environmental protection agency)의 주도로 도시쓰레기에서 가스, 기름 등을 회수하는 기술개발을 강력히 추진하였으며 일본에서도 통상산업성 산하 공업기술원의 도시쓰레기 열분해 처리 기술 개발을 시작으로 2차공해 감소를 선결 과제로 한 여러 가지 프로 세스를 개발해 왔다. 국내에서는 최근에들어 연구가 비교적 활발하게 이루어 지고 있다. 특히 동력자원부 주관의 대체에너지 사업의 일환으로 추진중인 폐기물의 에너지화 이용에 관한 연구 중에서도 열분해나 건류 가스화에 관련된 연구가 많은 비중을 차지하고 있다.

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Micro Sensor Away and its Application to Recognizing Explosive Gases (마이크로 센서 어레이 제작 및 폭발성 가스 인식으로의 응용)

  • 이대식;이덕동
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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    • v.40 no.1
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    • pp.11-19
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    • 2003
  • A micro sensor array with 4 discrete sensors integrated on a microhotplate was developed for identifying the kinds and quantities of explosive gases. The sensor array consisited of four tin oxide-based thin films with the high and broad sensitivity to the tested explosive gases and uniform thermal distribution on the plate. The microhotplate, using silicon substrate with N/O/N membrane, dangling in air by Al bonding wires, and controlling the thickness by chemical mechanical process (CMP), has been designed and fabricated. By employing the sensitivity signal of the sensor array at 40$0^{\circ}C$, we could reliably classily the kinds and quantities of the explosive gases like butan, propane, LPG, and carbon monoxide within the range of threshold limit values (TLVs), employing principal component analysis (PCA).

$Co_{3}O_{4}$ butane gas sensor operating at low temperature (I) (저온동작용 $Co_{3}O_{4}$ 부탄가스 감지 소자(I))

  • Chung, Jin-Hwan;Choi, Soon-Don
    • Journal of Sensor Science and Technology
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    • v.5 no.6
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    • pp.7-14
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    • 1996
  • In order to develop gas sensor operating at low temperature, thick film $Co_{3}O_{4}$ sensor was fabricated. $Co_{3}O_{4}$ powder was prepared by precipitation from cobalt nitrate solution and the powders containing ethylene glycol as a binder was screen-printed on alumina substrate. Characteristics of sensitivity, response time, and recovery were investigated in terms of binder content and heat treating conditions. The $Co_{3}O_{4}$ sensor contained 15% ethylene glycol and heat-treated at $300^{\circ}C$ for 24hr showed the highest sensitivity at the operating temperature of $250^{\circ}C$. Its sensitivity of 1.1 to 5000ppm butane gas was very high, as compared with $0.8{\sim}0.85$ at the operating temperature of $350{\sim}400^{\circ}C$ for a commercial $SnO_{2}$ gas sensor. It is found that response time was fast, but recovery was poor for the sensor.

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Post 2020, 신기후체제와 우리의 대응

  • Jeon, Ui-Chan
    • Bulletin of Korea Environmental Preservation Association
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    • s.418
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    • pp.7-11
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    • 2015
  • 온실가스 자발적 감축목표(INDC; Intended Nationally Determined Contribution)는 공동의 책임을 강조하면서, 동시에 각자의 능력과 국가별 여건을 고려토록 하는 원칙을 갖고 있다. 형평성(equity)과 진전(no back sliding)을 고려하여, 우리의 여건을 적절히 설명하고, 우리의 목표가 얼마나 의욕적이며, 우리의 배출량이나 경제규모에 비추어 공정한지를 잘 설명하는 것이 중요하다. 우리 경제가 감당할 정도의 감축목표를 우리나라에 적합한 방법으로, 정부-산업-시민이 합의한 방법으로 합심하여 온실가스를 감축하여야 한다.

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A Circulating Fluidized Bed Scrubbing Technology for Dry Removal of the SOx and NOx of Coal Combustion Gases (석탄연소가스내의 SOx/NOx 동시처리를 위한 순환유동식 건식세정기술)

  • 이상권;조경민
    • Proceedings of the Korea Society for Energy Engineering kosee Conference
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    • 1999.05a
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    • pp.69-74
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    • 1999
  • 각종 산업체의 공정에서 혹은 석탄 혹은 석유를 사용하는 화력발전설비에서 다량 발생되는 질소산화물(NOx), 황산화물(SOx)의 배출규제가 점점 강화되어 감에 따라 배출량 절감이 절실히 요구된다. 기존의 배기가스 정화장치는 처리대상에 따라 다양한 방법들이 사용되는데 황산화물의 경우 습식, 반건식, 건식세정법에 의해, 질소산화물은 선택적 촉매환원법(Selective Catalytic Reduction)과 선택적 무촉매환원법(Selective Non Catalytic Reduction)이 널리 이용되고 있다.(중략)

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A Study on CO Gas Sensing Behaviors of $SnO_2$ Micro Sensor ($SnO_2$ 마이크로 가스센서의 CO가스 감지특성에 관한 연구)

  • Kim, Chang-Kyo;Lee, Joo-Hun;Lee, Byoung-Wook;Lee, Keun-Woo;Lee, Jong-Ha;Lee, Tae-Sung
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2006.11a
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    • pp.267-268
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    • 2006
  • 전력소모를 감소시키기 위해 MEMS 기술을 이용하여 마이크로 히터를 제작하고 그 위에 감지물질을 도포하여 마이크로 센서를 제작하였다. 마이크로 가스센서는 $SnO_2$를 모물질로 하였으며 가스 감도를 향상시키기 위해 Pd와 Rh, ${\alpha}-Fe_2O_5$, $V_2O_5$를 첨가하여, CO 가스 강도를 조사하였다. $SnO_2$에 촉매로서 Pd만을 첨가하였을 때보다 Rh, ${\alpha}-Fe_2O_5$. $V_2O_5$등을 첨가하였을 때 CO가스에 대한 감도 반응이 우수하였다. 마이크로 가스센서의 소비전력은 42mW이었다.

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