• 제목/요약/키워드: 가공 정밀도

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퍼지 방법을 이용한 능동 방진 시스템의 개발 (Development Of Active Vibration Isolation System Using Fuzzy Method)

  • 양손;안채헌;진경복;임경화
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2007년도 추계학술대회논문집
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    • pp.731-736
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    • 2007
  • 최근 반도체 및 디스플레이 산업 등에서 초정밀 가공 및 측정에 방진 시스템을 많이 필요로 한다. 기존에 소개된 여러 방진 시스템 중에서 가장 많이 연구되는 공기스프링은 압축 공기를 이용하여 큰 하중을 지지할 수 있으면서 상대적으로 낮은 강성으로 낮은 고유진동수를 유지할 수 있다. 본 연구는 Takagi-Sugeno 퍼지 방법을 이용해서 능동 방진 시스템을 설계한다. 공기의 비선형 특성에 기인하는 복잡한 비선형 시스템 제어에 PID 제어기 보다 유리한 퍼지 제어기를 설계하였고, 실험과 해석을 비교하였다.

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한반도 태양에너지 자원의 분석.평가 및 데이터 신뢰성 향상 연구 (Analysis and Evaluation of Solar Radiation Resources and Reliability Enhancement on Insolation Data in Korea)

  • 조덕기;강용혁
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2005년도 제17회 워크샵 및 추계학술대회
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    • pp.479-491
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    • 2005
  • 지구환경문제와 에너지 수급관계를 감안할 때, 청정 및 대체에너지 연구개발은 불가피하며, 그 중에서도 태양에너지는 대표적인 대안의 하나로 인식된다. 따라서 태양에너지의 적극적인 활용에 필요한 기초자료의 마련은 필수적이다. 태양에너지의 이용 및 관련 절약 기술에 필요한 태양에너지 자원(기상)에 대한 기술자료는 최소한 30년간의 측정 자료를 필요로 한다. 이들 자료에는 시간별 수평면전 일사량, 법선면 직달일사량 및 수평면 산란일사량은 물론 시간별 평균치로 운량, 기온, 습도 등이 포함된다. 이들 자료로부터 자료의 분포, 평균 및 최고, 최저값 등과 같은 기초자료들을 선별하여 관련 시스템 설계에서 요구하는 기준을 충족하여야 하는 것이다. 그러나 우리나라의 경우, 태양에너지 자원에 대한 정밀한 측정은 1982년 이후 수평면 전일사량, 1990년 이후에서나 법선면 직달일사량에 대하여 본격적으로 이루어진 실정으로, 자료의 표준화 및 신뢰성 확보에는 여전히 상당한 시간과 노력이 요구되는 실정이다. 지속적인 측정과 더불어 요구되는 것으로 측정자료의 가공기술을 들 수 있다. 즉, 측정자료의 품질평가 및 관리 기술, 미측정 또는 불량자료의 복원 기술 및 측정 지역외 자료의 추정을 위한 보간기술 등이다. 이와 같은 기초자료 및 기술에 관한 연구개발은 보다 구체적인 적용에 앞서 필수적으로 이루어져야 할 과제이다.

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분광광도계를 이용한 자수정의 색상 감별 기초 연구 (A basic study for color identification of amethyst by spectrophotometer)

  • 윤시내;송영준;연석주
    • 한국결정성장학회지
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    • 제18권4호
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    • pp.146-154
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    • 2008
  • 본 연구에서는 분광광도계를 사용하여 자수정의 색상을 측정하고 자료를 해석함으로써 유색보석의 색상을 정밀하게 측정하기 위한 그 기초자료를 얻고자 하였다. 판상과 실물형태로 가공된 자수정 시료에 대하여 자외선${\sim}$가시광선 영역의 빛을 조사(照射)하고 시료에 의하여 반사 또는 투과되는 빛의 파장별 농도를 측정하고 이 자료로부터 인간의 눈이 느끼는 색감인 3자극치를 구한 다음 이를 근거로 CIE xyY 값을 구하였으며, 그 결과를 육안관찰 결과치와 비교하였다. 아울러 색상 측정 결과에 미치는 시료 두께의 영향도 함께 고찰 하였다.

Monte Carlo 수치해석법을 이용한 저 에너지 초소형 마이크로칼럼에 사용되는 전자렌즈의 모양에 따른 전자빔 특성 연구 (Research on the electron-beam characteristics according to the shape of electron lenses in low-energy microcolumn using Monte Carlo numerical analysis)

  • 김영철;김호섭;김대욱;안승준
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제9권1호
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    • pp.23-28
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    • 2008
  • 마이크로칼럼에 사용되는 전자렌즈는 MEMS 공정으로 정밀하게 가공되어 기존의 전자칼럼에 비하여 광학수차를 최소화 할 수 있으며, 이는 전자칼럼의 성능 향상에 주요한 요소로 작용한다. 습식 식각과 건식 식각에 의해 형성되는 전자렌즈의 모양과 배열조합에 따른 전자 광학계 연구는 중요한 의미가 있다. 마이크로칼럼은 전자방출원, source 렌즈, deflector, focus 렌즈(Einzel 렌즈)로 구성되는데, 전자빔의 특성에 가장 큰 영향을 주는 source 렌즈의 구성 요소 중 extractor와 limiting aperture의 모양에 따른 전자빔 특성을 조사하여 마이크로칼럼 제작에 있어서 최적화된 전자렌즈 조합을 도출하였다.

공기스프링을 이용한 능동 방진 시스템의 퍼지 제어기 설계 (Fuzzy Controller Design for Active Vibration Isolation System Using Air-spring)

  • 양손;안채헌;진경복;임경화
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2007년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.185-190
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    • 2007
  • 최근 반도체 및 디스플레이 산업 등에서 초정밀 가공, 측정 등이 필요함에 따라, 외란과 내부 진동을 차단하는 방진 시스템에 대한 연구가 활성화 되고 있다. 기존에 소개된 여러 방진 시스템 중에서 가장 많이 연구되는 공기스프링은 압축 공기를 이용하여 큰 하중을 지지할 수 있으면서 상대적으로 낮은 강성으로 낮은 고유진동수를 유지할 수 있다. 본 연구는 기존의 레벨링 밸브를 이용한 수동 방진 시스템을 분석하여 이를 개선하고 능동 방진 시스템을 설계한다. 공기의 비선형 특성에 기인하는 복잡한 비선형 시스템 제어에 PID 제어기 보다 유리한 퍼지 제어기를 설계하였고, 실험과 해석을 비교하였다.

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진동자를 이용한 하이브리드 극초단 펄스 레이저 초정밀가공시스템 개발 및 Cu-Zn합금 응용 (Development of Vibration Assisted Hybrid Femtosecond Laser Ultra-precision Machining System and Cu-Zn alloy Application)

  • 최원석;윤지욱;조성학;강명창
    • 한국분말재료학회지
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    • 제20권4호
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    • pp.308-312
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    • 2013
  • In this paper, we describe experiment results using a vibration assisted hybrid femtosecond laser (${\lambda}$:795 nm) ultra-precision machining system. The hybrid system we have developed is possible that optical focal point of the femtosecond laser constantly and frequently within the range of PZT(piezoactuator) vibrator working distance. Using the hybrid system, We have experimented on brass and studied about differences of result of hole aspect ratio compare to general experiment setup of femtosecond laser system. Aspect ratio of a micro hole on brass is increased as 54% with 100 Hz vibration frequency and surface roughness of the side wall also improved compare to non-vibration.

Scratching 시험에 의한 단결정 실리콘의 상전이 (Phase Transition of Single Crystal Silicon by Scratching Test)

  • 오한석;정성민;김현호;박성은;이홍림
    • 한국결정학회지
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    • 제12권2호
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    • pp.102-112
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    • 2001
  • 단결정 실리콘의 기계적 손상거동에 대한 이해는 반도체 정밀가공의 관점에서 매우 중요하다. 최근 이루어지고 있는 Diamond Anvil Cell(DAC) 이나 압입시험을 통한 고압상연구로 부터 실리콘은 고압에서 일련의 상변화과정을 겪는다는 것이 알려지고 있으며 마찬가지로 실리콘에 다이아몬드 팁으로 scratching시험을 하는 과정에서 다양한 기계적인 손상과 응력상들이 나타날 수 있다. 본 연구에서는 단결정 실리콘에 대하여 scratching시험에 의하여 나 타나는 균열에 대하여 고찰하고 mirco-Raman 분광법을 사용하여 scratching에 의하여 나타나는 상을 분석하였다. 그 결과 scratching 방향과 속도에 따라 균열의 양상이 달라지며 scratching속도와 하중조건에 따라 여러가지 다른 상이 관찰됨을 확인하였다

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천체관측용 적외선 광학계 초정밀 가공 (ULTRA PRECISION MACHINING FOR ASTRONOMICAL INFRARED OPTICS)

  • 김건희;진호;양순철;김명상;국명호;이성호;육인수
    • 천문학논총
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    • 제22권3호
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    • pp.55-61
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    • 2007
  • The KASINICS (Korea Astronomy and Space science Institute Near Infrared Camera System) is a ground-based near-infrared (NIR) imaging instrument. KASINICS has offner relay optics to reduce unwanted infrared light. For the offner optics, we adopted an ultra precision machining process which is installed at KBSI (Korea Basics Science research Institute). Since the offner relay optics is made of aluminum 6061 metal material, we did several tests to reach the specification. We found that a 0.497mm radius nose bite and 220m/min machining speed are best tool and condition to make this offner optics with the precision machine. In this paper, we report the technical method of ultra precision machining and results of the KASINICS offner optics.

아동 크기 휴머노이드 로봇의 개발 (Development of Child-Sized Humanoid Robot)

  • 이기남;박장현;유영재
    • 한국지능시스템학회논문지
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    • 제23권1호
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    • pp.24-28
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    • 2013
  • 이 논문에서는 아동 크기 휴머노이드 로봇의 설계 및 개발과정에 대하여 기술한다. 경량형 휴머노이드 로봇의 설계 개념을 제시하고, 3차원 설계 툴을 이용하여 1m 이상 크기 휴머노이드 로봇의 메커니즘을 설계하였다. 로봇의 구동을 위한 하드웨어는 제한된 로봇의 무게 내에서 최적의 성능을 낼 수 있도록 설계하였다. 3차원 설계 툴을 사용하여 설계한 로봇의 프레임 및 링크들은 가볍고 강도가 좋은 재료를 선정하고 정밀 가공을 통해 제작하였다. 제작된 아동 크기의 휴머노이드 로봇은 역기구학, 균형제어를 적용하여 기본 동작을 구현하고 그 성능을 실험을 통하여 확인하였다.

3차원영상의 입체감 향상을 위해 Cross-Talk을 최소화한 렌티큘러 렌즈 (Lenticular Lens Array without Cross-Talk)

  • 김태경;김민재;황연;차두환;김혜정;김정호
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.179-179
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    • 2010
  • 본 연구에서는 무안경식 3 차원 입체영상 기술에 쓰이는 렌티큘러 렌즈의 제작공정 중 오차(Error)로 작용할 수 있는 몇 가지 변수를 가정하였고 이러한 변수의 오차에 의해 좌우되는 가장 중요한 성능인자인 광학적 상호간섭 (Cross-Talk)을 최소화하도록 연구를 수행하였다. 이를 위해서 초정밀절삭가공과 UV경화법을 사용하였고 광학적 상호간섭 (Cross-Talk)에 가장 큰 영향을 주는 피치공차 (Allowance)를 ${\pm}0.5{\mu}m$내로 줄여서 3차원 입체감을 향상시킬 수 있음을 확인하였다.

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