Various oxide films are commonly used as a sacrificial layer or etch mask in the fabrication of microelectromechanical systems (MEMS). Large residual strain of these oxide films causes the wafer to bow, which can have detrimental effects on photolithography and other ensuing processes. This paper investigates the residual strain of tetraethoxysilane (TEOS), low temperature oxide (LTO), 7 wt% and 10 wt% phosphosilicate glass (PSG). Euler beams and a bent-beam strain sensor are used to measure the residual strain. A poly silicon layer is used as the sacrificial layer, which is selectively etched away by $XeF_2$. First, the residual strain of as-deposited films is measured, which is quite large. The residual strain of the films is also measured after annealing them not only at $500^{\circ}C$, $600^{\circ}C$, $700^{\circ}$ and $800^{\circ}C$ in $N_2$ environment for 1 hour but also at the conditions for depositing a $2\;{\mu}m$ thick polysilicon at $585^{\circ}C$ and $625^{\circ}C$. Our results show that the 7 wt% PSG is best suited as the sacrificial layer for $2\;{\mu}$ thick polysilicon processes.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.18
no.2
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pp.472-477
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2017
Oil spills cause a lot of damage to the environment. Oil destroys the water environment and ecosystem in a very short period of time once they are contaminated by it, it takes a lot of time to recover from the contamination and the cleaning process is very difficult. Therefore, oil detectors are greatly needed as they can monitor any oil spills over the sea, rivers, and lakes. There are two kinds of technology available for detecting oil, viz. the contact and non-contact types. The former is based on the use of the conductivity, capacitance and microwaves, while the latter employs infrared, UV, laser, optic and radar technologies. As there are also various hurdles in the measuring of oil on water, such as the presence of waves, refraction of light, temperature and saltiness, it is imperative to select the right oil detector which is appropriate for the specific environment. In this study, a contact type oil detector is developed, which can be used in oil related industries, such as refineries, petrochemical companies, and power generation stations. The detector is made up of the sensor module, which floats on the water, and the controller which processes the signal coming from the sensor module and displays it. It is designed in such a way that the existence of oil is detected through the sensor and the change in the permittivity is observed to determine the volume and type of spilled oil.
Journal of Nuclear Fuel Cycle and Waste Technology(JNFCWT)
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v.9
no.2
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pp.93-98
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2011
Saline corrosion is one of the major degradation mechanisms for stainless steel type 304 (SS304) dry storage cask during the spent fuel interim storage period. Slow strain rate test (SSRT) and neutral salt spray test (NSS) were performed at $85^{\circ}C$ and $200^{\circ}C$ with 0.5 wt% sodium chloride mist sprayed on the cold-rolled SS304 specimens of different degrees of reduction in this study. The weight changes of the NSS specimens tested at $85^{\circ}C$ for 2000 hours differed greatly from those at $200^{\circ}C$. The weight loss of NSS specimens was not significant at $85^{\circ}C$ but the weight gain decreased gradually with increasing the cold-rolled reduction. The yield strength (YS) and ultimate tensile stress (UTS) values obtained from the SSRT tests for lightly cold-rolled specimens in the salt spray environment at $85^{\circ}C$ and $200^{\circ}C$ are slightly lower than in air. But for those with 20% reductions, the specimen strengths were no longer changed by the saline corrosion. The preliminary results demonstrated that the quality and performance of cold-rolled SS304 is acceptable for fabrication of dry storage casks. However, more work on the corrosion behavior of cold-rolled stainless steel in the saline atmosphere is needed to better understand its long-term performance.
The extraction conditions for resveratrol production from grape fruit stem, which is a by-product of grape processing, were optimized to develop high-functional grape-based products. Additionally, the bioefficacy of grape fruit stem extract (GFSE) as an antioxidant agent was evaluated. Resveratrol was extracted using various experimental conditions such as extractant type, extractant concentration, raw material-extractant ratio, extraction time and temperature, and the results were analyzed using a statistical program (SPSS). The resveratrol yield was the highest when 80% ethanol with a raw-material-extractant ratio of 1:10 (w/v) was used. In addition, the optimal temperature and time were selected as $60^{\circ}C$ and 90 min, respectively. When the antioxidant activity was analyzed and expressed as DPPH radical scavenging activity and SOD-like activity, the antioxidant activity of GFSE was higher than that of BHT, BHA and L-ascorbic acid. Finally, it was found that GFSE could be used as a raw material for the production of high antioxidant agents.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2007.11a
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pp.346-346
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2007
압전세라믹 재료는 현재 압전 변압기, actuator, transducer, sensor, speaker 등에 광범위하게 이용이 되고 있다. 이 중에서 압전세라믹 소결체를 이용한 스피커의 제조는 가공이 까다롭고, 대형의 크기로 제작 시 소자가 깨지는 등의 많은 제약을 받고 있으며, 저음 특성이 떨어져 응용 범위가 한정되어 있다. 따라서 최근에는 이러한 단점을 극복하기 위하여 세라믹/고분자 복합체를 이용한 필름 스피커를 제작하고자 시도하고 있다. 이러한 세라믹/고분자 0-3형 압전 복합체를 이용할 경우, 제품의 경량화를 실현할 수 있고, 크기나 환경의 영향을 거의 받지 않으므로, 고기능성 스피커로의 응용에 적합할 것으로 보인다. 따라서 본 연구에서는 PZT계의 세라믹와 PVDF, PVDF-TrFE, Polyester, acrylic resin 등의 여러 고분자 물질과의 복합체를 제조하여 압전특성을 평가하였다. 본 실험은 먼저 $(Pb_{1-a-b}Ba_aCd_b)(Zr_xTi_{1-x})_{1-c-d}(Ni_{1/3}Nb_{2/3})_c(Zn_{1/3}Nb_{2/3})_dO_3$ (이하 PZT라 표기)의 최적화 조성을 선택하여, $1050^{\circ}C$에서 소결된 분말을 48시간 ball milling방법 로 약 $1{\mu}m$ 크기로 분쇄하였다. 고분자 물질들은 알맞은 용제들을 선택하여 녹였다. 그 다음 소결된 PZT분말과 고분자를 50:50, 60:40, 65:35, 70:30등의 무게 분율로 혼합하고, 분산제, 소포제 등을 첨가하여 3단 roll mill을 이용하여 충분히 분산시켜 페이스트 (Paste)를 제조하였다. 제조된 페이스트를 ITO가 코팅된 PET필름 위에 스크린 프린팅 법을 사용하여 인쇄하여 $120^{\circ}C$에서 5분간 건조하였다. 코팅된 복합체의 두께는 약 $80{\mu}m$ 정도로 측정되었다. Ag 페이스트를 이용한 상부 전극 형성에도 스크린 프린팅 법을 적용하였다. 이를 $120^{\circ}C$에서 4 kV/mm의 DC 전계로 분극 공정을 수행한 후 전기적 특성을 평가하였다. 유전특성을 조사하기 위해서 LCR meter (EDC-1620)를 사용하였고, 시편의 결정구조는 XRD (Rigaku; D/MAX-2500H)을 통해 분석하였으며, 전자현미경(SEM)을 이용하여 미세구조를 분석하였다. 압전 전하상수$(d_{33})$ 값은 APC 8000 모델을 이용하여 측정하였다. PZT의 혼합비가 증가할수록 비유전율 및 압전 전하 상수 등의 전기적 특성이 증가되었다. 또 여러 고분자 물질 중에서 PVDF-TrFE 수지가 가장 우수한 특성을 보였다. 이는 PVDF-TrFE 수지가 압전성을 나타내기 때문인 것으로 판단되었다.
Proceedings of the Korea Inteligent Information System Society Conference
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2005.11a
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pp.475-480
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2005
인터넷상에 존재하는 수 많은 웹 페이지들에는 정형화되지 않은 각종 정보들이 이종의 형태로 산재되어 있다. 현재의 검색 기술을 통하여 필요한 정보를 찾아내는 것은 시간과 비용이 많이 소요되는 비효율적인 방법으로 이뤄지고 있다. 이러한 상황에서 사용자가 원하는 정보를 검색 및 추출해내어 정형화시키는 것은 매우 중요하다. 전자상거래의 폭발적 성장에도 불구하고 전자상거래 표준 활용 및 적용이 미비하여 e- Procurement, e-Marketplace, on-Line Shopping Mall 등에서 소비자가 원하는 상품 정보를 손쉽게 획득하지 못하고 있다. 이는 공급자에게는 보다 많은 매출의 기회를 구매자에게는 보다 좋은 자재 및 상품을 저렴한 가격에 소싱 할 수 있는 기회를 제공하지 못하는 문제점이 발생한다. 본 연구에서 제안하고자 하는 지능형 상품 에이전트는 소비자가 구매하고자 하는 특정 상품에 대한 공급자 검색 문제를 해결하기 위하여, 시스템 내부 정보의 확장 및 지식화 뿐만 아니라 웹 상의 다양한 상품 정보를 자동적으로 수집 및 가공하여 저장하는 역할을 수행한다. 이러한 연구를 위해서 사용한 기술은 우선 database 의 schema 를 읽어 들일 수 있는 DB schema reader, 인터넷 웹 페이지(웹문서)를 방문해서 다양한 정보들의 URL을 수집하는 일을 하는 Meta Search Engine 과 Focused Crawler, 그리고 다른 형태의 데이터 구조를 특정 목적에 따라 표준화된 형태로 바꾸는 Wrapper가 있다. 이러한 기술들을 연동하여 필요한 정보들을 추출 공급자 검색 문제를 해결하고자 하는 것이 연구의 목적이다. 정보추출은 사용자의 관심사에 적합한 문서들로부터 어떤 구체적인 사실이나 관계를 정확히 추출하는 작업을 가리킨다.앞으로 e-메일, 매신저, 전자결재, 지식관리시스템, 인터넷 방송 시스템의 기반 구조 역할을 할 수 있다. 현재 오픈웨어에 적용하기 위한 P2P 기반의 지능형 BPM(Business Process Management)에 관한 연구와 X인터넷 기술을 이용한 RIA (Rich Internet Application) 기반 웹인터페이스 연구를 진행하고 있다.태도와 유아의 창의성간에는 상관이 없는 것으로 나타났고, 일반 유아의 아버지 양육태도와 유아의 창의성간의 상관에서는 아버지 양육태도의 성취-비성취 요인에서와 창의성제목의 추상성요인에서 상관이 있는 것으로 나타났다. 따라서 창의성이 높은 아동의 아버지의 양육태도는 일반 유아의 아버지와 보다 더 애정적이며 자율성이 높지만 창의성이 높은 아동의 집단내에서 창의성에 특별한 영향을 더 미치는 아버지의 양육방식은 발견되지 않았다. 반면 일반 유아의 경우 아버지의 성취지향성이 낮을 때 자녀의 창의성을 향상시킬 수 있는 것으로 나타났다. 이상에서 자녀의 창의성을 향상시키는 중요한 양육차원은 애정성이나 비성취지향성으로 나타나고 있어 정서적인 측면의 지원인 것으로 밝혀졌다.징에서 나타나는 AD-SR맥락의 반성적 탐구가 자주 나타났다. 반성적 탐구 척도 두 그룹을 비교 했을 때 CON 상호작용의 특징이 낮게 나타나는 N그룹이 양적으로 그리고 내용적으로 더 의미 있는 반성적 탐구를 했다용을 지원하는 홈페이지를 만들어 자료 제공 사이트에 대한 메타 자료를 데이터베이스화했으며 이를 통해 학생들이 원하는 실시간 자료를 검색하여 찾을 수 있고 홈페이지를 방분했을 때 이해하기 어려운 그래프나 각 홈페이지가 제공하는 자료들에 대한 처리 방법을 도움말로 제공받을 수 있게 했다. 실시간 자료들을 이용한 학습은 학생들의 학습 의욕과 탐구 능력을 향상시켰으
The compounding resin for biodegradable wrap was developed, and its manufacturing process and physical properties were studied. For these purposes, following factors were optimized: the types and amounts of raw resin material, anti-oxidants, and lubricants used. In this work, the stable compounding resin used to make biodegradable wrap was based on poly(butylene adipate-co-butylenesuccinate) (PBAS) and poly(butyleneadipate-co-butylene succinate-co-butyleneterephthalate) (PBAST). The improved properties of resin with an additive were investigated by melting flow index (MFI). From these results, the physical properties of compounding resin, based on PBAST, were more than those of PBAS. For PBAS, the Irganox 1010, 1076 and Irgafos TNPP as the first and second anti-oxidants, respectively, were good. For PBAST, the good first and second anti-oxidants, respectively, were Irganox 1076 and Mark PEP 36. The good lubricants for feeding PBAS and PBAST were glycerol monostearate and palmityl alcohol, respectively. The stability and tensile strength experiment of wrap were also investigated by the elution of heavy metals and universal testing machine (UTM), respectively. The decomposition ratio of developed wrap was increased proportional to the reclaiming time. The degradation ratio of compounding resin sample was about 60% after 40 days.
Development of a rapid method possessing the requisite sensitivity and specificity for virus monitoring is necessary for protection of the shellfish-consuming public. Oysters tissue usually contains virus particles in relatively small concentrations along with various other substances that can interfere with detection steps. Therefore, the critical point concerning the detection of viruses in shellfish tissues resides in the processing of samples. The current study demonstrated the possibility of purifying small amounts of virus particles at the interface of a 10/50% sucrose gradient after a single round of sucrose gradient ultracentrifugation. We could detect HAV and poliovirus simultaneously from oyster tissues by using two different sets of primer. Furthermore, the method showed a high level of virus recovery rate (>95%) as determined by plaque assays of the final samples. Taken the advantages of the simple and sensitive methods, it was possible to detect 2 pfu of HAV in 5 g of oyster digestive tissues within 24h.
This study aimed to investigate the effects of various soft steam treatments, namely, forced convection-boiler, forced convection-fan, and natural convection, on the pretreatment characteristics of potatoes. In this study, potatoes were exposed to various cooking conditions, including steaming method, treatment time (0-60 min), and temperature (60, 70, $80^{\circ}C$). Then, changes in temperature, cook value, ascorbic acid content, moisture content, and weight loss in the fresh and steam-treated samples were measured and evaluated. The results clearly showed that natural convective steaming was superior to other treatments in terms of heating characteristics, cook value (FC-b: $46.4{\pm}1.7$, FC-f: $21.8{\pm}1.1$, NC: $52.1{\pm}1.9min$ at $80^{\circ}C$), ascorbic acid content (FC-b: $36.5{\pm}2.7$, FC-f: $28.5{\pm}2.9$, NC: $48.2%{\pm}2.5%$ at $80^{\circ}C$), moisture retention (FCb: $74.6{\pm}0.8$, FC-f: $71.5{\pm}0.5$, NC: $77.6%{\pm}0.4%$ for 60 min at $80^{\circ}C$), and weight loss (FC-b: $13.9{\pm}0.8$, FC-f: $15.6{\pm}0.6$, NC: $10.6%{\pm}0.7%$ for 60 min at $80^{\circ}C$) for thermally processed potatoes.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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