• 제목/요약/키워드: (111) orientation

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THE EFFECT OF AN APPLIED BIAS UPON THE REFLECTANCE AND ADHESION OF SILVER FILMS BEING SPUTTER-DEPOSITED ON POLYESTER SUBSTRATE

  • Ri, Eui-Jae;Hoang, Tae-Su
    • 한국표면공학회지
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    • 제32권3호
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    • pp.257-264
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    • 1999
  • Thin reflective films are synthesized by using PVD methods with a bright metal of Al or Ag. For purposes of improving the reflectance and adhesion of such films particularly, substrate bias was applied during sputtering (namely, ion-plating) to enhance the deposition process with higher energy. And we succeeded in fabricating a quality silver film which possesses an adhesion of $85{\;}Kg/\textrm{cm}^2$ and a high reflectivity of more than 96%. Both of reflectivity and adhesion are better in case of bias sputtering as controlled than nonbias sputtering, particularly the bias of 50-100 V showed most effective. The microstructures of sample films were examined by using various equipments and the XRD spectrum in particular showed that <111> direction is the preferred growth orientation.

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pH에 따른 p-type Cu2O 박막 결정구조 제어 및 광특성 변화 연구 (Effect of pH on the crystal orientation and photoelectrochemical property of electrodeposited Cu2O films)

  • 김미성;윤상화;임동찬;유봉영;김인수;이규환;임재홍
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2012년도 춘계학술발표회 논문집
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    • pp.317-317
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    • 2012
  • 본 연구는 전착법으로 형성된 $Cu_2O$ 박막의 광특성 변화를 고찰한 것이다. 0.3M $CuSO_4$과 4M Lactic acid에 4M NaOH로 전해액의 pH를 조절하여 $Cu_2O$ 박막의 결정성 및 극성을 조절하였다. $Cu_2O$ 박막의 결정성 및 극성에 따른 광특성을 고찰한 결과, 무극성인 (111)면에서 광특성이 우수함을 확인하였다. 하지만, 측정시간의 증가에 따라 표면에 Cu 금속이 형성되어 광전류가 감소함을 확인 할 수 있었다.

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DEPENDENCE OF STRUCTURAL AND MAGNETIC PROPERTIES ON DEPOSITTION ANGLE IN EVAPORATED Co/Pt MULTILAYER THIN FILMS

  • Moon, Ki-Seok;Shin, Sung-Chul
    • 한국자기학회지
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    • 제5권5호
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    • pp.465-469
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    • 1995
  • We have investigated the effects of deposition angle on structural and magnetic properties of e-beam evaporated ${(4-{\AA}\;Co/9.2-{\AA}\;Pt)}_{23}$ multilayer thin films prepared on tilted substrates. It was found that the [111] crystallographic orientations of the multilayer thin films were not aligned with colummar growth orientations and they were remained to be normal to the substrate planes even though the deposition angle was severely oblique up to $60^{\circ}$. The analysis of the torque curve reveal that the intrinsic anisotropy energy was monotonically decreased with the deposition angle but the easy axis orientation parallel to the substrate normal was not much influenced by deposition angle.

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Mobility Enhancement in Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors due to the Dehydrogenation Mechanism

  • Lee, Seok Ryoul;Sung, Sang-Yun;Lee, Kyong Taik;Cho, Seong Gook;Lee, Ho Seong
    • Journal of the Korean Physical Society
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    • 제73권9호
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    • pp.1329-1333
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    • 2018
  • We investigated the mechanism of mobility enhancement after the dehydrogenation process in polycrystalline silicon (poly-Si) thin films. The dehydrogenation process was performed by using an in-situ CVD chamber in a $N_2$ ambient or an ex-situ furnace in air ambient. We observed that the dehydrogenated poly-Si in a $N_2$ ambient had a lower oxygen concentration than the dehydrogenated poly-Si annealed in an air ambient. The in-situ dehydrogenation increased the (111) preferred orientation of poly-Si and reduced the oxygen concentration in poly-Si thin films, leading to a reduction of the trap density near the valence band. This phenomenon gave rise to an increase of the field-effect mobility of the poly-Si thin film transistor.

전기도금 시 외부자기장이 CoPtP 합금의 자기 특성에 미치는 영향 (Effects of an External Magnetic Field During Electrodeposition on the Magnetic Properties of CoPtP Alloys)

  • 정원용;박호동
    • 한국자기학회지
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    • 제15권5호
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    • pp.276-281
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    • 2005
  • 전기도금 시 외부자기장을 인가하여 CoPtP 합금을 제조하였을 경우 인가 자장이 합금의 결정성장 방향과 입자의 크기에 미치는 영향을 조사하였다. 전기 도금 시에 도금되는 박막의 수직방향으로 외부의 자기장을 0에서 1 T까지 인가하여 CoPtP 합금을 제조하였다. 외부의 인가자장이 없을 경우에는 합금의 성장이 fcc (111)과 hop (002)가 혼합된 형태를 나타내지만, 외부 인가자장이 1 T일 경우에는 hcp (002)의 형태로만 이루어졌다. CoPtP 합금은 columnar 형태로 성장을 하고 성장이 진행됨에 따라서 합금의 입자크기가 커지게 됨을 확인하였고, 자기장이 존재하는 경우는 CoPtP의 두께가 200nm까지는 cell의 크기가 Co의 단자구 크기 이하인 20nm 이하로 제어되고 박막에 수직방향으로 자화 용의축인 (002)방향으로 hcp 결정의 성장이 유도되었다. 이를 통하여 자기적 성질이 가장 우수한 박막의 두께를 정할 수 있었으며 전류밀도를 제어하여 보자력 6.1 kOe, 각형비 0.9의 우수한 자기적 특성을 나타내는 CoPtP 합금의 전기도금 조건을 확립하였다. CoPtP 합금의 자기적 특성을 VSM을 통하여 확인하였으며 결정방위와 미세구조조직은 XRD와 TEM을 통하여 조사하였다.

모바일 레이저 스캐닝 데이터로부터 철도 선로 추출에 관한 연구 (Railway Track Extraction from Mobile Laser Scanning Data)

  • 좌윤석;손건호;원종운;이원춘;송낙현
    • 한국측량학회지
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    • 제33권2호
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    • pp.111-122
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    • 2015
  • 본 연구에서는 모바일 레이저 스캐닝 데이터로부터 철도 선로탐지 및 선로모델 추출을 위한 방법을 제시하였다. 제안된 방법은 크게 세 단계로 구성된다. 첫째, 레이저 포인트로부터 잠재적인 철도 선로지역을 탐지하고, 초기 철도 선로궤적 방향을 추정한다. 둘째, 철도 선로에 관한 선 지식을 이용하여 첫번째 스트립에서 초기 선로위치를 결정한다. 여기서, 스트립은 국부 탐색공간을 나타내며 철도 선로궤적에 수직인 방향으로 정의된다. 마지막으로, 초기 선로위치에서 GMM-EM기반 분류방법을 통해 선로 포인트들을 탐지한 후 초기 선로 모델을 생성하고 스트립을 데이터 처리 기본단위로 하여 tracking by detection관점에서 연속적으로 선로모델을 생성하였다. 제안된 방법의 주요 특징은 다음과 같다. 첫째, 이전 스트립에서 생성된 선로 모델을 가이드 라인으로 다음 스트립에 전파되어 국부 탐색영역을 예측하여 선로 포인트를 탐지하는 하는데 있어서 처리 복잡성을 줄일 수 있었다. 둘째, 선로 포인트 탐지와 선로 모델링을 동시에 진행 함으로써 데이터 처리 시간을 최소화 할 수 있었다. 개발된 알고리즘은 C++ 프로그램 언어로 구현되었고 도시지역에서 MMS 측량을 통해 취득된 LiDAR 데이터(경부선 일부 구간)를 이용하여 성능 테스트를 진행하였다.

반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 CoSi2 layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구 (Growth Behavior and Thermal Stability of CoSi2 Layer on Poly-Si Substrate Using Reactive Chemical Vapor Deposition)

  • 김선일;이희승;박종호;안병태
    • 한국재료학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.1-5
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    • 2003
  • Uniform polycrystalline $CoSi_2$layers have been grown in situ on a polycrystalline Si substrate at temperature near $625^{\circ}C$ by reactive chemical vapor deposition of cyclopentadienyl dicarbonyl cobalt, Co(η$^{5}$ -C$_{5}$ H$_{5}$ )(CO)$_2$. The growth behavior and thermal stability of $CoSi_2$layer grown on polycrystalline Si substrates were investigated. The plate-like CoSi$_2$was initially formed with either (111), (220) or (311) interface on polycrystalline Si substrate. As deposition time was increasing, a uniform epitaxial $CoSi_2$layer was grown from the discrete $CoSi_2$plate, where the orientation of the$ CoSi_2$layer is same as the orientation of polycrystalline Si grain. The interface between $CoSi_2$layer and polycrystalline Si substrate was always (111) coherent. The growth of the uniform $CoSi_2$layer had a parabolic relationship with the deposition time. Therefore we confirmed that the growth of $CoSi_2$layer was controlled by diffusion of cobalt. The thermal stability of $CoSi_2$layer on small grain-sized polycrystalline Si substrate has been investigated using sheet resistance measurement at temperature from $600^{\circ}C$ to $900^{\circ}C$. The $CoSi_2$layer was degraded at $900^{\circ}C$. Inserting a TiN interlayer between polycrystalline Si and $_CoSi2$layers improved the thermal stability of $CoSi_2$layer up to $900^{\circ}C$ due to the suppression of the Co diffusion.

유통서비스 기업의 공급사슬 운영성과 경로에서 파트너 관계자산의 역할 (The Role of Relational Capital in Supply Chain Management for Distribution Service Firms)

  • 조연성
    • 유통과학연구
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    • 제13권11호
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    • pp.111-121
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    • 2015
  • Purpose - This study's purpose is to investigate the impact of supply chain management (SCM) factors among targeted Korean distribution firms. Antecedents are established for supply chain orientation (SCO) for the management and organization of cultural assets. The research sets up SCO corresponding to management cultural assets and to organizational factors in the results. The research model is created to examine the SCO based on a strategic perspective and the operational performance of the SC and SCM. In addition, an integrated model is constructed to analyze the moderating effect by setting partner cooperation as a relational capital factor. The main aim of this study is to analyze the characteristics of the supply chain structure as a source of competitive advantage for distribution service firms participating in the supply chain. In the moderating effects analysis, the role of partner cooperation as relational capital is examined in detail. Research design, data, and methodology - The study examined the existing research related to supply chains, discussing the antecedents of the performance of SCM and SCO. SCM was established with the partner's cooperation as relational capital. Including the moderating effects of the partner cooperation, the research proposed a seven hypotheses path analysis model. The samples were collected from the Korean export enterprises in the distribution service sector, with 185 samples selected for the final analysis. To try and measure the four latent variables presented in the analysis model based on existing studies, 22 measurement items were used. The empirical analysis used the appropriate PLS (partial least squares) method on the path analysis reliability and validity and for common method bias. After testing the seven hypotheses, the research tested the moderating effects to the path analysis. Using PLS as structural equation modeling, the seven hypotheses were tested including the moderating effects of the partner relational capital on the 185 samples. Results - In the results, the SCO had a positive impact on both SCM and the relational capital of partner cooperation. The SCM had a significant impact on the operational performance of the SC. Further, partner cooperation also had a significant impact on SCM and the operational performance of the SC. The moderating effect analysis of the SCM and partner cooperation found a significant impact on the operational performance of the SC. On the other hand, the moderating effect of the SCO and partner cooperation did not affect the SCM. Conclusion - The results of this research show that the existing supply chain-related research can be applied to the operational performance of the SC for a Korean distribution service firm. In view of the fact that SCO is a source of competitive advantage, it should be taken into account when a firm wants to improve the performance of the SCM of the distribution service. This is because it can be assumed that SCO plays a role in supply chain management for the distribution firm.

2원전자빔 증착법에 의한 티타늄붕화물($\textrn{TiB}_{x}$) 박막의 성장특성 (Growth characteristics of titanium boride($\textrn{TiB}_{x}$) thin films deposited by dual-electron-beam evaporation)

  • 이영기;이민상;임철민;김동건;진영철
    • 한국결정성장학회지
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    • 제11권1호
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    • pp.20-26
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    • 2001
  • Ti와 B을 각각의 증발원으로 한 2원 전자빔 증착법으로 500$^{\circ}$의 기판온도에서 (100) Si 기판 위에 티타늄 붕화물 (${TiB}_{x}$) 박막을 증착시켰다. 이 방법은 여러 가지 boron-to-totanium ratio ($0{\le}B/Ti \le 2.5$)를 가지는 비당량 (${TiB}_{x}$ 박막의 표면 조도 역시 B/Ti비에 의존하여 변화되었다. 그리고 Pure Ti 박막은 (002)면의 우선 성장거동을 나타내었으나, $B/Ti{\ge}1.0$의 경우 (111)면의 우선 성장거동을 보이는 단일상의 TiB 박막이 성장되었다. 그러나 B농도가 더욱 증가됨에 따라 육방정계의 ${TiB}_{2}$상이 형성되기 시작하여 $B/Ti{\ge}2.0$ 의 조성비를 가지는 박막에서는 단일상의 ${TiB}_{2}$ 화합물을 나타내었다. 그리고 Si 기판상에 증착된 ${TiB}_{x}$ 박막의 잔류응력은 B/Ti비에 의존하나, 2원 전자빔 증착법으로 성장된 모든 박막에서 3~$20{\times}^9$dyn/$\textrm{cm}^2$ 정도의 인장응력을 나타내었다.

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피로인산구리용액으로부터 전기도금 된 Cu 필름의 특성에 미치는 도금조건의 영향 (Effect of Deposition Conditions on Properties of Cu Thin Films Electrodeposited from Pyrophosphate Baths)

  • 신동율;심철용;구본급;박덕용
    • 전기화학회지
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    • 제16권1호
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    • pp.19-29
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    • 2013
  • 피로인산구리용액에서 전기도금공정을 이용하여 상온과 $55^{\circ}C$에서 각각 제조된 Cu박막의 특성에 미치는 전류밀도, 도금용액 온도, pH의 영향에 대한 연구를 수행하였다. 전류효율은 전류밀도가 증가함에 따라 감소하였으나, 도금용액의 온도가 증가함에 따라 증가하는 경향을 나타내었다. 그러나 pH 는 전류효율에 거의 영향을 미치지는 않았으며, 상온과 $55^{\circ}C$에서 모두 90% 이상으로 측정되었다. 상온에서 전기도금 된 Cu 박막의 잔류응력은 전류밀도의 증가에 따라 감소하며, 60 $mA/cm^2$ 이상에서는 거의 0에 근접하였다. $55^{\circ}C$에서 전기도금 된 Cu 박막은 0~40 MPa의 잔류응력을 나타내었다. 상온에서 도금하는 경우 수지상 표면 형상이 30 $mA/cm^2$ 이상의 전류밀도로부터 관찰되었고, $55^{\circ}C$에서는 100 $mA/cm^2$ 이상의 전류밀도부터 관찰되었다. 상온과 $55^{\circ}C$의 도금용액으로부터 전기도금 된 Cu 박막은 거의 (111) 피크들로 구성되어 있다. 특히 $55^{\circ}C$, 30 $mA/cm^2$에서 전기도금 된 Cu 박막의 경우 (111) 피크의 강한 우선방향을 나타내었다.