• 대한수학교육학회지:학교수학
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• 제16권2호
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• pp.335-353
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• 2014

본 논문은 1992년도부터 2013년까지 대한수학교육학회에서 발간한 두 학술지에 실린 논문 중 수학 교사교육 관련 논문 111편을 대상으로 연구시기, 연구주제, 연구방법, 연구대상 측면에서 수학 교사교육에 관한 국내 연구의 동향을 분석하였다. 그 결과 연구시기 측면에서는 2000년대 후반 이후로 관련 논문의 편수가 급격히 증가함을 알 수 있었다. 연구주제 측면에서는 '교사 전문성 신장 관련 연구'의 비중이 전체 논문 중 가장 많은 비중을 차지하였으나, 최근에는 교사 지식이나 지향과 관련된 논문도 비중있게 연구되는 것으로 나타났다. 연구방법 측면에서는 질적 연구 중 특히 사례연구의 비중이 가장 높았다. 연구대상 측면에서는 현직교사와 예비교사, 초등교사와 중등교사 비율이 거의 비슷하게 나타났다. 이와 같은 연구 결과를 토대로 국내 수학 교사교육에 관한 추후 연구 방향에 대한 시사점을 기술한다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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• pp.361-361
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• 2010

The separated quasi-one-dimensional ($7{\times}7$) and ($5{\times}5$) phases on vicinal Si(557) surfaces were successfully realized by changing the crystallographic orientation and thermal treatment conditions. A small change in the crystallographic orientation of the Si(557) surface stabilized the quasi-one-dimensional ($5{\times}5$) phase of a (111) facet on vicinal Si(557) surfaces and made it coexist with a quasi-one-dimensional ($7{\times}7$) phase after an optimal thermal treatment, whereas only the quasi-one-dimensional ($7{\times}7$) phase was stable on the Si(557) surface. Interestingly, this causes the (111) terraces with different widths (L) to prefer only one of the $5{\times}5$ (L=12) and $7{\times}7$ (L=9) phases resulting in long-range order of both phases along the step edge direction, which was observed by scanning tunneling microscopy (STM) and was supported by first principle calculations. In contrast, the quasi-one-dimensional ($5{\times}5$ and ($7{\times}7$) phases were arranged randomly across the step edge direction. The change of surface morphology of vicinal Si(557) surfaces will be discussed with STM images and theoretical calculations by changing crystallographic cutting angles and thermal treatment conditions.

• 한국자기학회지
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• 제9권4호
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• pp.196-202
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• 1999

본 연구에서는 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 Mn-Ir/Ni-Fe/Buffer/Si 다층막에서 다양한 하지층과 적층구조에 따른 교환이방성과 미세구조에 대하여 고찰하였다. Ni-Fe 위에 Mn-Ir을 증착한 Top 구조의 경우에서는 (111) 우선방위에 상관없이 165 Oe 이상의 높은 Hex 값을 얻을수 있었다. 또한 Mn-Ir/Ni-Fe 계면에서 grain-to-grain epitaxy가 발생함을 알 수 있었다. 따라서 Mn-Ir/Ni-Fe 다층박막의 Hex는 Mn-Ir/Ni-Fe 계면에서의 Mn-Ir의 결정립 크기와 grain-to-grain epitaxy에 의존하며 Hc는 Mn-Ir/Ni-Fe의 계면거칠기에 의존한다는 것을 알 수 있었다.

• 센서학회지
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• 제7권5호
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• pp.372-376
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• 1998

기능성 소자 응용을 위한 다양한 박막을 성장시키기 위하여 PLD(Pulsed Laser Deposition) 장치를 제작 개발하였다. 이 PLD 장치를 이용하여 $NbS_2$ 박막을 $Al_2O_3$(012) 기판과 Si(111) 기판 위에 성장시켰다. 결정성 박막의 성장조건을 조사하기 위하여 기판온도를 실온${\sim}600^{\circ}C$, 타겟의 성분비(S/Nb)를 $2.0{\sim}5.25$로 변화시켰다. XRD 패턴으로부터 기판온도가 $600^{\circ}C$이고 타겟의 성분비가 4.0일 때 c-축 배향을 나타내는 양호한 결정성의 $NbS_2$박막이 성장되었다. Si(111) 기판 위보다 $Al_2O_3$(012) 기판 위에서 보다 양질의 $NbS_2$ 박막이 성장되었음을 알 수 있었다.

• 한국재료학회지
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• 제9권7호
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• pp.688-694
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• 1999

Ti-6Al-4V 합금을 타겟트로 사용하여 유리 기판위에 dc reactive magnetron sputtering법으로 $N_2$/(Ar+N_2)$ 비, 기전력 및 시간등의 여러 가지 증착 조건에서 Ti-6Al-4V-N 필름을 증착하였고, 각각의 증착 조건에 따른 결정구조 및 우선방위 거동은 X-선 회절장치를 사용하여 조사하였다. Ti-6Al-4V-N 필름은 본질적으로 fcc 결정구조의 $\delta$-TiN에 Al과 V이 결함으로서 고용된 변형된 형태의 $\delta$-TiN구조이고, TiN의 격자상수(4.240 )보다 작은 값을 나타내었는데, 이는 Ti(1.47 )에 비하여 상대적으로 원자반경이 작은 Al(1.43 )과 V (1.32 )이 Ti의 격자위치에 치환된 결과이다. 그리고 Ti-6Al-4V-N 필름은 $_N2$가스 분압이 감소됨에 따라 (111) 우선방위 성장거동을 하였을 뿐만아니라 증착시간의 증가에 따라 뚜렷한 (111) 우선방위 성장거동을 나타내었다. 그리고 증착속도 및 결정입도의 거동 또한 여러 가지 증착 조건에 크게 의존한다

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.2
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• pp.851-856
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• 2003

We have investigated the material and electrical properties of $Bi_{4-x}La_xTi_3O_{12}$ (BLT) ferroelectric thin film for ferroelectric nonvolatile memory applications of capacitor type and single transistor type. The 120nm thick BLT films were deposited on $Pt/Ti/SiO_2/Si$ and $SiO_2/Nitride/SiO_2$ (ONO) substrates by the sol-gel spin coating method and were annealed at $700^{\circ}C$. It was observed that the crystallographic orientation of BLT thin films were strongly affected by the excess Bi content and the intermediate rapid thermal annealing (RTA) treatment conditions regardeless of two type substrates. However, the surface microstructure and roughness of BLT films showed dependence of two different type substrates with orientation of (111) plane and amorphous phase. As increase excess Bi content, the crystallographic orientation of the BLT films varied drastically in BLT films and exhibited well-crystallized phase. Also, the conversion of crystallographic orientation at intermediate RTA temperature of above $450^{\circ}C$ started to be observed in BLT thin films with above excess 6.5% Bi content and the rms roughness of films is decreased. We found that the electrical properties of BLT films such as the P-V hysteresis loop and leakage current were effectively modulated by the crystallographic orientations change of thin films.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.333-333
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• 2016

현재까지 가장 높은 광전류 변환 효율을 나타내는 III-V 화합물 반도체의 다중접합 태양전지 대신 이보다 단순한 에피구조를 가진 단일셀 이종접합구조의 태양전지를 제안하였다. 이를 한국나노 기술원에서 MOCVD(Metalorganic Vapour Phase Epitaxy) 장비를 이용하여 에피구조를 성장하고 태양 전지를 제작해 그 특성을 조사하였다. 태양 전지는 서로 다른 orientation의 두 GaAs 기판에 각각 동일한 에피 구조로 성장되었다. GaAs 기판은 Si 도핑된 n-type 기판으로 (100) 표면이 <111>A 방향으로 2도 off 된 웨이퍼와 10도 off 된 웨이퍼가 사용되었다. 연구에서 시뮬레이션에 사용된 태양전지의 에피 구조는 맨 위 p-GaAs (p-contact 층), p-InAlP, p-InGaP의 광흡수층과 N-InAlGaP 층과 아래의 n-InAlP와 n-GaAs의 n-contact층으로 이루어져있다.태양전지는 $5mm{\times}5mm$의 면적을 가지고 있다. 그림 1은 전류-전압의 측정된 결과를 나타낸 그래프이다. 태양전지는 1 sun 조건하에서 probe를 이용해 측정되었다. 2도 off GaAs 기판 위에 성장시킨 태양전지에서는 3.7mA의 단락전류값이, 10도$^{\circ}$ off 인 샘플에서는 4.7mA의 단락전류값이 측정되었다. 반면에 전류-전압곡선으로부터 얻은 10도 off 인 태양전지의 직렬 저항값은 2도 off 인 태양전지의 약4배 정도로 나타났다. 이는 기판의 결정방향에 따라 태양전지의 내부 전하 transport에 차이가 있음을 나타낸다. TLM (Transmission Line Model) 방법에 의한 p-contact의 ohmic저항 측정에서도 이와 일치하는 결과를 얻었다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2000년도 춘계학술대회 논문집 디스플레이 광소자 분야
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• pp.148-151
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• 2000

$Mg_{2-2x}Ti_xO_2$ films were prepared by e-beam evaporation method to be used as possible substitutes for the conventional MgO protective layer. The oxygen content in the films and in turn, the ratio of metal to oxygen gradually increased with increasing the $TiO_2$ content in the starting materials. The pure MgO films exhibited the crystallinity with strong (111) orientation. The $Mg_{2-2x}Ti_xO_2$ films, however, had the crystallinity with (311) preferred orientation. When the $[TiO_2/(MgO+TiO_2)]$ ratios of 0.1 and 0.15 were used, the deposited films exhibited the secondary electron emission yields improved by 50% compared to that of the conventional MgO protective layer, which resulted in reduction in discharge voltage by 12%.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제11권11호
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• pp.984-989
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• 1998

The ($Sr_{1-x}Ca_x)TiO_3$(SCT) thin films are deposited on Pt-coated electrode($Pt/TiN/SiO_2/Si$) using RF sputtering method with substitutional contents of Ca. The maximum grain of thin films is obtained by substitution of Ca at 15[mol%]. All SCT thin films had (111) preferred orientation. The dielectric constant was increased with increasing the substitutional contents of Ca, while it was decreased if the substitutional contents of Ca exceeded over 15[mol%]. The dielectric constant changes almost linearly in temperature ranges of -80~+90[$^{\circ}C$]. The temperature properties of the dielectric loss have a stable value within 0.02 independent of the substitutional contents of Ca. All SCT thin films used in this study show the phenomena of dielectric relaxation with the increase of frequency, and the relaxation frequency is observed above 200[kHz].

• 한국세라믹학회지
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• 제32권4호
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• pp.419-428
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• 1995

Polycrystalline silicon carbide (SiC) thick films were depostied by low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) using CH3SiCl3 (MTS) and H2 gaseous mixture onto isotropic graphite substrate. Effects of deposition variables on the SiC film were investigated. Deposition rate had been found to be surface-reaction controlled below reactor temperature of 120$0^{\circ}C$ and mass-transport controlled over 125$0^{\circ}C$. Apparent activation energy value decreased below 120$0^{\circ}C$ and deposition rate decreased above 125$0^{\circ}C$ by depletion effect of the reactant gas in the direction of flow in a horizontal hot wall reactor. Microstructure of the as-deposited SiC films was strongly influenced by deposition temperature and position. Microstructural change occurred greater in the mass transport controlled region than surface reaction controlled region. The as-deposited SiC layers in this experiment showed stoichiometric composition and there were no polytype except for $\beta$-SiC. The preferred orientation plane of the polycrystalline SiC layers was (220) plane at a high reactant gas concentration in the mass transfer controlled region. As depletion effect of reactant concentration was increased, SiC films preferentially grow as (111) plane.