In situ Epitaxial Growth of the $TiSi_2$ on si(111)-7$\times$ 7 Substrate by Codeposition
(동시증착에 의한 Si(111)-7$\times$ 7 기판 위에 $TiSi_2$ 에피택셜 성장)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.3 no.4
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- pp.405-413
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- 1994