• 한국재료학회지
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• 제4권4호
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• pp.385-392
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• 1994

Microwave플라즈마 화학 증착법으로 다이아몬드 박막을 증착하여 morphology변화를 관찰하였다. 기판 온도가 $550^{\circ}C$에서 $750^{\circ}C$로 증가함에 따라 다이아몬드 박막의 표면 morpholoty는 {111}에서 {100}, cauliflower형태로 변화하는 것과 함께, 증착층내의 nondiamond성분이 증가하는 것을 발견하였다. 증착 층 내에 존재하는 nondiamond성분은 다이아몬드 입자의 입계에 분포하고 있음을 마이크로 Raman분석으로부터 추측할 수 있었다. 증착층의 texture orientation 을 X-선 회절 분석기로 확인한 결과, $550^{\circ}C$에서는 증착층의 texture orientation이 관찰되지 않았지만 온도가 증가함에 따라 <100>에서 <110>으로 변화하는 것을 관찰할 수 있었다.

• 한국세라믹학회지
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• 제33권4호
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• pp.441-447
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• 1996

Sb doped SnO2(ATO:Antinomy doped Tin Oxide) thin films were prepared by a DC magnetron spttuering method using oxide target and the deposition characteristics were investigated. The experimental conditions are as follows :Ar flow rate : 100 sccm oxygen flow rates ; 0-100 sccm deposition temperature ; 250 -40$0^{\circ}C$ DC sputter powder ; 150~550 W and sputtering pressure ; ; 2~7 mTorr. Deposition rate greatly depends not on the deposition temperature but on the reaction pressure oxygen flow rate and sputter power,. when the sputter powder is low ATO thin films with (110) preferred orientation are deposited. And when the sputter power is high (110) prefered orientation appeares with decreasing of oxygen flow rate and increasing of suputte-ring pressure.

• 한국표면공학회지
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• 제27권5호
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• pp.285-291
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• 1994

The effects of pulse current parameters on the composition and the microstructure of Pd-Ni alloy electrodeposits were studied. The cathode current efficiency of p.c. electrolysis conditions decreased with increasing both mean and peak current density and was lower than those under D.C. electrolysis condition. Palladium content of Pd-Ni alloy increased with increasing both peak current density and on-time, while it decreased with increasing mean current density and duty cycle. The preferred orientation of Pd-Ni alloys changed with increasing mean current density in the sequence of (111)+(110).(100) or (110)longrightarrow(111)longrightarrow(100) or random distribution of crystal structure. The surface morphology of Pd-Ni alloy changed mainly according to the mean current density and was related to the preferred orientation.

• 한국자기학회:학술대회 개요집
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• 한국자기학회 2007년도 The 1st International Symposium on Advanced Magnetic Materials
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• pp.182.2-182.2
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• 2007

• 한국세라믹학회지
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• 제31권4호
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• pp.457-463
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• 1994

The growth condition of highly oriented textured diamond film on a (100) Si substrate was investigated as a function of texture orientation. The growth process consisted of biased enhanced nucleation (BEN) and texture growth. The substrate was under the plasma of 6% CH4-94% H2 with negative bias of 200V during the BEN which grounded during the texture growth. The texture orintation changed from <100> to <110> by increasing substrate temperature. The nearly perfect match between textured diamond grains and the Si substrate could be obtained under the condition of <100> texture. The degree of tilt mismatch increased with the increase of deviation of texture orientation from <100>. The degree of twist mismatch appeared to increase abruptly beyond the critical deviation of texture orientation from <100> because the nuclei having the same orientation as the substrate were no more preferred grains for texture formation.

• 한국표면공학회지
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• 제35권1호
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• pp.33-38
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• 2002

CrN 박막이 펄스마그네트론증착법에 의하여 glass, Si(110), AISI 1040 steel 위에 증착되어졌다. 각 기판 위에 증착된 CrN 박막의 구조는 표면의 접촉특성 보다는 표면의 구조에 영향을 받는 것으로 판단되어 진다. 또한 grain의 크기는 기판에 관계없이 증착 시간이 증가함에 따라 증가한다. AISI 1040 steel 위에 증착된 CrN 박막의 grain 성장과 구조는 glass와 Si에 비하여 바이어스에 강하게 영향을 받는다. 이러한 결과는 glass 와 Si 보다도 금속이 높은 전기전도성을 가지고 있기 때문인 것으로 생각되어 진다.

• 대한지리학회지
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• 제50권1호
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• pp.37-52
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• 2015

이 연구의 목적은 도시민의 공간 정향 특성을 밝혀보려는 것이다. 주요 분석 자료는 지난 10여 년 간(2005-2014)에 걸쳐 인천 연수구 일대에서 수집된 110개의 약도이다. 구체적인 연구 내용은 도시민의 공간 정향 요소 및 정향 체제에서 나타나는 특성을 분석하는 것이다. 연구 결과, 정향 요소 면에서 볼 때 도시민의 공간 정향에는 통로, 결절, 지구, 랜드마크를 비롯하여 언어 단서 등 모두 5개의 정향 요소가 동원되고 있었다. 정향 체제의 특성은 정위(定位) 및 지향(指向) 면에서 살펴보았다. 정위의 경우 다시 기준 축(軸)과 정치(定置) 분포로 나누어 분석해 본 결과, 도시민의 공간 정향에서는 대로에 기반한 횡축 의존성이 뚜렷하였고 좌표 체계상 중앙부 정치 선호 경향이 상대적으로 짙었다. 지향의 경우 다시 상방위(上方位)와 조망(眺望) 시각으로 나누어 살펴본 결과, 도시민의 공간 정향에서는 북상향적 특성이 우세하게 나타났고 외심적 조망이 상대적으로 더 높은 비중을 차지하였다. 결론적으로 도시민은 5대 정향 요소를 동원하여 수평축을 정위 축으로 삼아 좌표 체계상 중앙부에 자신을 정치시키면서 외심적 조망 시각을 통해 북상향을 지향하는 방식으로 공간 정향을 이루는 경향이 높은 것을 확인할 수 있었다.

• 한국세라믹학회지
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• 제41권2호
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• pp.106-110
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• 2004

NiO 산화물 타겟을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터로 상온에서 Si(100) 기판 위에 NiO 박막을 증착시켜, 스퍼터 가스의 산소 유량비가 NiO 박막의 결정 배향성과 표면 형상에 미치는 영향을 조사하였다. Ar 가스에서 증착된 NiO 박막은 높은결정화도와 (100)면의 우선 배향성을 나타내었으나, $O_2$ 가스에서 증착된 경우에는 (111)면의 우선 배향성을 보였으며 그 증착속도도 감소하였다. 스퍼터 가스의 $O_2$ 함량에 따른 NiO 박막의 결정성과 우선배향성 변화에 대한 요인을 고찰하였으며, 박막의 표면 형상과 거칠기의 변화를 조사하였다.

• The Korean Journal of Ceramics
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• 제6권3호
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• pp.240-244
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• 2000

The three-dimensional orientation distribution function of a conical shaped tungsten liner prepared by the thermo-mechanical forming process was analyzed by 1.525$\AA$ neutrons to carry out the Rietveld refinement. The pole figure data of three reflections, (110)(220) and (211) were measured. The orientation distribution functions for the normal and radial directions were calculated by the WIMV method. The inverse pole figures of the normal and radial directions were obtained from their orientation distribution functions. The Rietveld refinement was performed with the RIETAN program that was slightly modified for the description of preferred orientation effect. We could successfully do the Rietveld refinement of the strongly textured tungsten liner by applying the pole density of each reflection obtained from the inverse pole figure to the calculated diffraction pattern. The correction method of preferred orientation effect based on the inverse pole figures showed a good improvement over the semi-empirical texture correction based on the direct usage of simple empirical functions.

• EDISON SW 활용 경진대회 논문집
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• 제6회(2017년)
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• pp.412-416
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• 2017

CMOS device에서 off leakage current로 인한 power dissipation 문제는 미래 소자에 주어진 주요한 과제이다. Nanowire FET은 이러한 문제를 해결할 주요 미래소자로 각광받고있다. 하지만 nanowire FET을 공정할 때 채널 에칭을 완벽한 원형 구조로 가지는 것이 어렵기 때문에 타원형으로 시뮬레이션을 진행해 볼 필요성이 있다. 본 논문에서는 nanowire의 aspect ratio, crystal orientation의 변화에 따른 nanowire FET의 전압-전류 특성 및 transport 특성을 관찰하는 연구를 진행하였다. 시뮬레이션 결과, [100] 방향은 완벽한 원형구조에서 최적인 반면에 [110] 방향은 타원형으로 모델링함에 있어서 장점이 있는 것으로 나타났다.