• 한국세라믹학회지
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• 제40권2호
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• pp.198-205
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• 2003

R.F. Magnetron Sputtering법을 이용하여 Pt/Ti/ $SiO_2$/Si기판 위에 seed-layers와 $Ba_{0.66}$S $r_{0.34}$Ti $O_3$박막을 제조하였다. 다양한 기판온도에 따른 BST 박막의 전기적인 특성(정전용량과 누설전류)과 seed-layer층이 BST 박막에 미치는 영향을 조사하였다. BST 박막은 seed-layer층을 삽입함으로써 박막의 결정성이 향상되었고, 박막의 기판온도(결정화온도)도 상당히 낮출 수 있었다. 순수한 BST에 비하여 seed-layer를 삽입한 BST는 높은 유전상수와 낮은 유전손실 및 낮은 누설전류를 가지는 우수한 전기적 특성을 나타내었다. BST 박막의 전기적 특성은 기판온도에 따라 영향을 받고, seed-layer에 의해 향상됨을 알 수 있었다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1998년도 추계학술대회 논문집
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• pp.33-36
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• 1998

BST(66/34) and BSCT(60/30/10) ceramics were prepared by mixed oxide method and studied about the microstructural and dielectric properties with $Y_2$O$_3$, Dy$_2$O$_3$, La$_2$O$_3$, MnCO$_3$. The grain size of undoped BST was 20~30 ${\mu}{\textrm}{m}$, but that of BST, doped content of MnCO$_3$ was 0.1 mol%, was decreased with increasing the contents of $Y_2$O$_3$. As the content of $Y_2$O$_3$ was Increased, Tc was shifted to lower temperature and dielectric constant at Tc was decreased. The dielectric constant of doped BSCT(60/30/10) ceramics ( 0.9 mol% $Y_2$O$_3$. and 0.1 mol% MnCO$_3$) was about 8, 000 at Tc( 22$^{\circ}C$ ).