• 제목/요약/키워드: $TiO_2/TiOF_2$

검색결과 7,802건 처리시간 0.041초

MOCVD법에 의한 TiO2 박막의 제조에 미치는 산소의 영향 (Effects of Oxygen on Preparation of TiO2 Thin Films by MOCVD)

  • 유성욱;박병옥;조상희
    • 한국결정학회지
    • /
    • 제6권2호
    • /
    • pp.111-117
    • /
    • 1995
  • 화학증착법에 의해 TiO2 박막을 Si-wafer(100)위에 제조하였다. Titanium tetraisopropoxide (TTIP)를 출발물질로 하여 200-500℃의 온도범위에서 증착을 행하였다. 증착된 박막의 두께는 Ellipsometry 및 SEM을 사용하여 측정하였으며, 산소의 함량에 따른 증착층의 성분분석은 ESCA를 사용하였다. TiO2 박막의 증착속도는 산소의 함량에 따라 증가하였고, 반응가스인 산소를 공급하지 않았을 때 증착층내에 불순물로 탄소가 존재하였으며, 증착층의 성분은 내부로 갈수록 TiO2에서 Ti로 변하였다. 산소를 600scm 공급하였을 때 증착층내에 소량의 탄소가 존재하였으며, 증착층의 성분은 내부로 갈수록 TiO2에서 TiO, Ti로 됨을 알 수 있었다. 산소를 1200scm공급하였을 때 증착층내에 탄소가 존재하지 않았으며, 증착층 성분은 표면에는 TiO2를 이루나 증착층 내부로 갈수록 Ti복합화합물을 이루고 있었다.

  • PDF

Ti-naphthenate의 코팅-열분해에 의한$TiO_2$ 박막의 제조 (Preparation of $TiO_2$ thin films by coating-pyrolysis process of Ti-naphthenate)

  • 김진영;김승원;장우석;김현태;최상원
    • 한국결정성장학회지
    • /
    • 제12권1호
    • /
    • pp.7-10
    • /
    • 2002
  • $TiO_2$ 박막을 금속유기화합물인 Titanium-naphthenate의 코팅-열분해법으로 제조하였다. 출발물질은 Ti-naphthenate를 toluene에 희석한 용액을 사용하였으며 기판은 slide glass를 사용하였다 Titanium-naphthenate 용액을 spin-coating법으로 기판에 코팅하고 $450^{\circ}C$에서 열터리하여 $TiO_2$ 박막을 제조하였다 제조한 박막의 특성을 UV/Vis, XRD 및 SEM 등으로 박막의 투과율, 굴절률, 결정상 및 표면 형상을 분석하였다. Slide glass 위에 제조한 TiO$_2$ 박막은 투과율은 70~90%이며 420nm에서의 굴절율은 2.7이었다. $TiO_2$박막은 anatase상을 나타내었고 실타래 형상의 주름을 가진 표면을 나타내었다

MoS2 나노시트의 TiO2 나노선에 수직 성장을 통한 광전기화학반응 향상 (Enhanced Photoelectrochemical Reaction of MoS2 Nanosheets Vertically Grown on TiO2 Nanowires)

  • 서동범;김의태
    • 한국재료학회지
    • /
    • 제31권2호
    • /
    • pp.92-96
    • /
    • 2021
  • We report the growth and enhanced photoelectrochemcial (PEC) water-splitting reactivity of few-layer MoS2 nanosheets on TiO2 nanowires. TiO2 nanowires with lengths of ~1.5 ~ 2.0 ㎛ and widths of ~50~300 nm are synthesized on fluorine-doped tin oxide substrates at 180 ℃ using hydrothermal methods with Ti(C4H9O)4. Few-layer MoS2 nanosheets with heights of ~250 ~ 300 nm are vertically grown on TiO2 nanowires at a moderate growth temperature of 300 ℃ using metalorganic chemical vapor deposition. The MoS2 nanosheets on TiO2 nanowires exhibit typical Raman and ultraviolet-visible light absorption spectra corresponding to few-layer thick MoS2. The PEC performance of the MoS2 nanosheet/TiO2 nanowire heterostructure is superior to that of bare TiO2 nanowires. MoS2/TiO2 heterostructure shows three times higher photocurrent than that of bare TiO2 nanowires at 0.6 V. The enhanced PEC photocurrent is attributed to improved light absorption of MoS2 nanosheets and efficient charge separation through the heterojunction. The photoelectrode of the MoS2/TiO2 heterostructure is stably sustained during on-off switching PEC cycle.

ZnO/rutile-$TiO_2$, ZnO, rutile-$TiO_2$, CdS를 이용한 Congo red의 광 촉매 분해반응 (Photocatalytic Degradation of a Congo red Using ZnO/rutile-$TiO_2$, ZnO, rutile-$TiO_2$ and CdS)

  • 김창석;류해일
    • 분석과학
    • /
    • 제14권3호
    • /
    • pp.259-265
    • /
    • 2001
  • ZnO, CdS, rutile-$TiO_2$ 및 혼합 rutile-$TiO_2$/ZnO와 같은 여러 반도체를 이용하여 Congo Red를 광 촉매 분해시켰다. 연구 결과 ZnO, CdS, rutile-$TiO_2$ 중에서는 CdS의 광 촉매 효과가 제일 컸는데 이것은 CdS가 제일 작은 band gap 에너지를 가지고 있기 때문이었다. 또한 혼합 촉매에서는 ZnO의 함량이 rutile-$TiO_2$에 비하여 상대적으로 높을수록 분해 반응을 촉진하였다. 이것은 $Zn^{2+}$ 가수분해 생성물이 구조적으로 안정한 화합물인 rutile-$TiO_2$의 표면을 덮음으로서 자외선 흡수를 차단하기 때문에 라디칼 생성을 저해하기 때문이었다.

  • PDF

열처리된 SiO$_{2}$/TiW 구조의 계면 특성 (The interfacial properties of th eanneled SiO$_{2}$/TiW structure)

  • 이재성;박형호;이정희;이용현
    • 전자공학회논문지A
    • /
    • 제33A권3호
    • /
    • pp.117-125
    • /
    • 1996
  • The variation of the interfacial and the electrical properties of SiO$_{2}$TiW layers as a function of anneal temperature was extensively investigated. During the deposition of SiO$_{2}$ on TiW chemical bonds such as SiO$_{2}$, TiW, WO$_{3}$, WO$_{2}$ TiO$_{2}$ Ti$_{2}$O$_{5}$ has been created at the SiO$_{2}$/TiW interface. At the anneal temperature of 300$^{\circ}C$, WO$_{3}$ and TiO$_{2}$ bonds started to break due to the reduction phenomena of W and Ti and simultaneously the metallic W and Ti bonds started to create. Above 500$^{\circ}C$, a part of Si-O bonds was broken and consequently Ti/W silicide was formed. Form the current-voltage characteristics of Al/Sico$_{2}$(220$\AA$)/TiW antifuse structure, it was found that the breakdown voltage of antifuse device wzas decreased with increasing annealing temperature for SiO$_{2}$(220$\AA$)/TiW layer. When r, the insulating property of antifuse device of the deterioration of intermetallic SiO$_{2}$ film, caused by the influw of Ti and W.W.

  • PDF

$\textrm{TiOSO}_4$$\textrm{TiO(\textrm{SO}_4)_2$용액으로부터 촉매 담체용 $\textrm{TiO}_2$합성에 관한 연구 (A Study on the Synthesis of $\textrm{TiO}_2$for Catalyst Carrier from $\textrm{TiOSO}_4$ and $\textrm{TiO(\textrm{SO}_4)_2$Solutions)

  • 유연태;최영윤;김병규;남철우;안병국
    • 한국재료학회지
    • /
    • 제9권11호
    • /
    • pp.1062-1068
    • /
    • 1999
  • 고정원으로부터 배출되는 질소산화물의 저감 기술 중에서 선택적 촉매 환원법(SCR법)은 가장 경제적이고 효율적인 방법으로 알려져 있다. 이 SCR 촉매의 탈질능을 향상시키기 위하여,$ TiOSO_4$ 및 Ti($SO_4$)$_2$용액으로부터 비표면적이 넓은 $TiO_2$의 비표면적 및 결정구조에 미치는 영향과 이들의 상관관계에 대하여 조사하였다. $TiOSO_4$용액으로부터 합성한 $TiO_2$의 최대 비표면적은 $382\m^2$/g이었고, Ti($SO_4$)$_2$용액으로부터 합성한 $TiO_2$의 최대 비표면적은 $335\m^2$/g이었으며, $TiO_2$는 비정질 형태의 결정구조를 보였다. 하소처리에 의해 비정질 $TiO_2$는 결정화되었고, 결정 중에 함유되어 있는 불순물은 $TiO_2$의 결정화를 억제하였다.

  • PDF

TiO2가 코팅된 Polyethylene 입자를 이용한 페놀과 톨루엔의 광분해 (Photo-degradation of Phenol and Toluene by Using the TiO2-coated Polyethylene Particles)

  • 김동주;최상근;조준형;김교선
    • 산업기술연구
    • /
    • 제24권B호
    • /
    • pp.133-138
    • /
    • 2004
  • The photodegradation of phenol and toluene with the $TiO_2$-coated polyethylene (PE) particles were investigated in the slurry type photocatalytic reactor, changing the $TiO_2$ particle sizes, initial phenol and toluene concentrations, and the oxygen flow rate. The nano-sized $TiO_2$ photocatalyst particles were prepared by the diffusion flame reactor and they were coated onto PE particles by using the hybridization system for the efficient recollection of $TiO_2$-coated particles after photodegradation experiments. The degradation efficiencies of phenol and toluene with the $TiO_2$-coated PE particles were more than 90% after photodegradation of 80 minutes for most cases. The efficiencies of photodegradation with the $TiO_2$-coated PE particles were found to be lower than those by the pure $TiO_2$ particles by 50%, because of the decrease in specific surface area of $TiO_2$ particles in PE particles.

  • PDF

에어로졸 증착법을 이용한 광촉매 TiO2 박막 제조 및 박막의 여과 특성 (Fabrication of Photocatalytic TiO2 thin Film Using Aerosol Deposition Method and its Filtration Characteristics)

  • 최원열;이진우;김시준;김종오
    • 한국지반환경공학회 논문집
    • /
    • 제11권1호
    • /
    • pp.5-11
    • /
    • 2010
  • 본 연구에서는 에어로졸 증착법을 사용하여 광촉매 $TiO_2$ 박막을 제조하기 위하여 원심분리기의 회전속도, vibration milling 시간에 의한 입경 변화 등과 같은 운전인자의 영향을 검토하였고, 제조된 고정화 $TiO_2$ 광촉매 박막의 경우와 $TiO_2$ 광촉매 분말을 부유 상태로 존재시킨 경우와의 막투과 특성의 변화를 실험적으로 비교검토 하였다. 원심분리기의 회전속도 1000-3000rpm 에서 얻어진 $TiO_2$ 분말은 저온 분사 성형법(aerosol deposition, AD)으로 $TiO_2$ 박막을 제조하는데 있어서 nozzle powder 막힘 현상과 같은 문제점을 나타내었다. 한편, vibrating milling에 의해 제어된 $TiO_2$ 분말의 평균입경 크기는 vibrating milling 2시간 후 약 420nm로 AD법을 이용한 입자의 증착에 효과적인 것으로 나타났다. XRD 분석 결과, 광촉매에 효과적인 아나타제 상을 잘 유지하고 있는 것으로 나타났으며, 이러한 결과로부터 vibrating milling은 $TiO_2$ 분말을 제어하는데 있어 적절한 전처리 공정임을 확인할 수 있었다. 제조된 $TiO_2$ 박막의 여과 특성으로 $TiO_2$ 분말을 분리막의 표면에 고정화 한 경우가 부유 상태일 경우보다 더 높은 막투과 유속을 나타내었다.

습식화학법에 의한 수산화아파타이트/$TiO_2$ 생체용 복합분말의 제조 (Preparation of hydroxyapatite/$TiO_2$ biocomposite powders by wet chemical method)

  • 정항철;이종국
    • 한국결정성장학회지
    • /
    • 제14권3호
    • /
    • pp.83-89
    • /
    • 2004
  • 본 연구에서는 우수한 생체적합성과 높은 기계적 성질을 갖는 아파타이트 생체세라믹스를 제조하기 위하여 수산화아파타이트(HA, $Ca_{10}(PO_4)_6(OH)_2/TiO_2$ 생체복합분말을 제조하였다. HA/$TiO_2$ 생체복합분말은 침전법과 졸겔법으로 각각 제조된 $TiO_2$ 분말과 수열합성법으로 제조된 HA 분말을 1:1의 무게분율로 혼합하여 제조하였다. HA/$TiO_2$ 생체복합분말은 $TiO_2$와 HA 입자의 크기와 모양에 따라 미세구조의 차이를 나타냈으며, $TiO_2$와 HA의 입자 크기가 서로 다른 복합분말의 경우, 작은 입자는 큰 입자의 표면에 둘러싸고 있었으나, $TiO_2$와 HA의 입자 크기가 비슷한 복합분말의 경우, $TiO_2$와 HA 입자가 서로 분산되어 균일한 미세구조를 가지고 있었다 균질한 미세구조를 갖는 복합분말은 소결체 제조 시 높은-소결밀도와 우수한 기계적 특성을 나타내었다.

높은 산소과전압과 내구성의 이산화납전극 제조에 관한 연구 (A Study on the Preparation of Lead Dioxide Electrode with High Oxygen Overvoltage and Durability)

  • 김재관;최병선;남종우
    • 공업화학
    • /
    • 제7권6호
    • /
    • pp.1105-1114
    • /
    • 1996
  • ${\alpha}-PbO_2/IrO_2-TiO_2/Ti$지지체상에 sodium lauryl sulfate 및 $TiO_2$분말을 첨가한 질산납 전해액에서 전착한 ${\beta}-PbO_2$층의 특성 및 성능을 XRD, SEM, cyclic voltammograms, 매크로전해를 이용하여 검토하였다. XRD분석결과 sodium lauryl sulfate 및 $TiO_2$분말의 존재하에 ${\alpha}-PbO_2/IrO_2-TiO_2/Ti$ 지지체 위에 전착한 ${\beta}-PbO_2$층은 순수한 ${\beta}-PbO_2$층과 마찬가지로 정방정계구조를 나타냈다. SEM결과 sodium lauryl sulfate는 전착층의 결정입자크기를 작게 하는 경향을 보여준다. sodium lauryl sulfate 및 $TiO_2$분말의 존재하에 전착한 ${\beta}-PbO_2$전극은 KOH 및 $HClO_4$지지전해질에서 양극산화에 대한 산소과전압과 내구성을 크게 향상시켰다. 티타늄마드래스에 전착시킨 ${\beta}-PbO_2$전극을 이용하여 과염소산용액으로부터 오존 발생에 대한 전극성능과 내구성을 검토하였다. $HClO_4$지지전해질에 sodium lauryl sulfate와 $TiO_2$분말을 첨가하여 ${\alpha}-PbO_2/IrO_2-TiO_2/Ti$ 마드래스상에 전착한 ${\beta}-PbO_2$전극이 가장 높은 전류효율과 내구성을 가짐을 확인하였다.

  • PDF