Interface properties of $Al_{2}O_{3}$ thin film using ALD method on metal film and Fabrication of MIM capacitor
(금속 박막위에 ALD법으로 형성된 $Al_{2}O_{3}$ 박막의 계면 특성과 MIM capacitor의 제조)
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- Proceedings of the IEEK Conference
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- 2003.07b
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- pp.1061-1064
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- 2003