$Cl_2$ /Ar ICP 플라즈마를 이용한 BTO박막의 식각 특성 연구
(Study on Etch Characteristics of BTO Thin Film by using $Cl_2$ /Ar Inductively Coupled Plasma)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- pp.177-178
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- 2007