A Study on Etching Mechanism of (Ba,Sr)$TiO_3$ in Ar/$CF_4$ High Density Plasma
(Ar/$CF_4$ 고밀도 플라즈마에서(Ba,Sr)$TiO_3$ 박막의 식각 메카니즘에 관한 연구)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 1999.07d
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- pp.1550-1552
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- 1999