Impurity-free vacancy diffusion 방법을 이용하여 압축 응력을 가진 InGaAs/InGaAsP 다중양자우물 구조의 무질서화 (Quantum well intermixing of compressively strained InGaAs/InGaAsP multiple quantum well structure by using impurity-free vacancy diffusion technique)
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- 한국진공학회지
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- 제9권2호
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- pp.150-154
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- 2000