• 제목/요약/키워드: $SiHCl_3$

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Hexamethyldisilane/HCl/$H_{2}$ gas system을 이용한 Si 기판에서 $\beta$-SiC의 선택적 화학기상증착 (Selective chemical vapor deposition of $\beta$-SiC on Si substrate using hexamethyldisilane/HCl/$H_{2}$ gas system)

  • 양원재;김성진;정용선;오근호
    • 한국결정성장학회지
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    • 제9권1호
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    • pp.14-19
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    • 1999
  • Hexamethyldisilane$(Si_{2}(CH_{3})_{6})$의 single precursor를 사용하여 화학기상증착법으로 $1100^{\circ}C$에서 Si 기판의에 $\beta$-SiC 막을 증착시켰다. 증착과정 중 hexamethyldisilane/$H_{2}$ gas system에 HCI gas를 도입하여 mask 재료에 의해 부분적으로 덮여져 있는 Si 기판에서 SiC 증착의 선택성을 조사하였다. Si 기판과 mask 재료에서 SiC 증착의 선택성을 증진시키기 위해 출발물질과 HCI gas의 공급 방법을 변화시켰다. 결국, HCI gas를 도입함으로서 SiC 증착의 선택성은 증진되었고 펄스 형태로의 gas 공급 방법은 선택성을 향상시키는데 효율적이었다.

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졸-겔공정의 변수조절을 통해 제조된 유기-무기복합체 (PDMS/SiO$_2$)의 미세구조와 특성 (Microstructure and Properties of Organic-Inorganic Hybrids(PDMS/SiO$_2$) Through Variations in Sol-Gel Processing)

  • 은희태;황진명
    • 한국재료학회지
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    • 제11권2호
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    • pp.94-103
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    • 2001
  • 졸-겔공정을 이용하여 SiO$_2$ 및 TEOS에 유기 고분자로서 PDMS가 도입된 PDMS/SiO$_2$ xerogel을 제조하고 촉매로서 HCI과 NH$_4$OH를 이용한 2 step acid/base catalyzed공정에 의해 SiO$_2$ 및 PDMS/SiO$_2$ xerogel의 기공 크기 및 분포를 제어하였다. 촉매로서 HCl이 첨가된 SiO$_2$ 및 PDMS/SiO$_2$ xerogel에서 PH는 2.3~2.5, gel화 시간 12~13일, xerogel의 모양은 Pellet형태를 나타내나 HCl/NH$_4$OH 몰비가 증가하면 pH 및 gel화 시간은 급격히 감소하고 xerogel의 모양도 pellet형과 column형으로 뚜렷하게 구분된다. 이는 반응의 최종용액이 산성이면 가수분해속도가 축합속도보다 빠르게 진행되어 9el화에 오랜 시간이 소요되어 pellet형의 Xerogel이 되나 약산성에서는 축합속도가 가수분해속도보다 빠르게 되어 gel화 시간은 빨라지고 column형의 xerogel이 되기 때문이다 SiO$_2$ 및 PDMS/SiO$_2$, xerogel의 표면적 및 평균기공크기는 HCl/NH$_4$OH 몰비가 증가함에 따라 각각 400$\rightarrow$600($\m^2$/g)과 15$\rightarrow$28$\AA$ 으로 변화하고 단일 기공크기분포를 갖는다. 이는 초기에 HCl에 의해 가수분해된 종이 NH$_4$OH에 의해 축합속도가 촉진되어 silica의 골격구조가 낮은 온도에서 규칙적으로 형성되고 열처리에 의해 균일한 기공으로 되었기 때문이다.

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초음파 세척법을 이용한 사용 후 태양광 셀로부터 Si 회수 연구 (A Study to Recover Si from End-of-Life Solar Cells using Ultrasonic Cleaning Method)

  • 이동헌;고민석;왕제필
    • 자원리싸이클링
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    • 제30권5호
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    • pp.38-48
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    • 2021
  • 본 연구에서는 사용 후 태양광 셀을 HCl 용액 및 초음파세척기의 cavitation효과를 사용하여 셀 표면의 불순물(Al, Zn, Ag 등)을 제거하여 Si을 선택적으로 회수하기 위한 최적 공정 조건을 찾기 위한 연구를 진행하였다. 태양광 셀에서 Si을 선택적으로 회수 하기 위해 HCl 용액 및 초음파세척기를 사용하여 침출을 진행하였고, 반응이 끝난 태양광 셀은 증류수로 세척 후 건조 오븐에 건조를 실시하였고, 반응된 HCl 용액은 감압 여과 실시 후 여과된 용액은 ICP-Full Scan 분석을 실시하였다. 또한, 건조 된 태양광 셀은 유발을 사용하여 파쇄 후 XRD, XRF, 및 ICP-OES 분석을 실시하였으며, 이를 통해 Si의 순도 및 회수율을 알 수 있었다. 실험은 산용액 농도, 반응 온도, 반응 시간, 초음파 세기를 변수로 두고 실험을 진행하였다. 위 과정을 통해 최종적으로 태양광 셀로부터 Si을 선택적으로 회수하기 위한 최적 공정 조건은 산용액 농도 3M HCl, 반응 온도 60℃, 반응 시간 120min, 초음파 세기 150W인것을 알 수 있었고, 최종적으로 Si의 순도는 99.85%, 회수율은 99.24%로 측정되었다.

CuO/3Al$_2$O$_3$ㆍ2SiO$_2$, 촉매담지 세라믹 캔들필터를 이용한 먼지/NOx/SOx/HCl 제거기술

  • 문수호;홍민선;이재춘;이동섭
    • 에너지공학
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    • 제13권2호
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    • pp.133-143
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    • 2004
  • Simultaneous removal technology of particulate/NOx/SOx/HCl using CuO/3Al$_2$O$_3$ㆍ2SiO$_2$catalyst impregnated ceramic candle filters is an advanced air pollution process and provides significantly to reduce hazardous gases emitted from coal-fired power plant. This process uses a high-temperature catalytic filter for integrating SOx and HCl reduction through injection an alkali sorbent (such as hydrated lime or sodium bicarbonate), NOx removal through ammonia injection and selective catalytic reduction (SCR), and particulate collection on the catalytic filter surface. The advantages of the process include : compact integration of the emission control technologies into a single component; easy handling of dry sorbent and by-product; and improved SCR catalytic life due to lowered SOx, HCl and particulate levels. CuO/3Al$_2$O$_3$ㆍ2SiO$_2$ catalyst impregnated ceramic candle filters showed a possibility of simultaneous treatment from results which have ascertained high removal efficiency at various combined gases conditions, and in pilot plant test for 3 months, NO conversion was showed 90% over.

근적외선 분광법을 이용한 고순도 SiCI4 중의 미량 불순물 SiHCI3의 분석 (Analysis of Trace Trichlorosilane in High Purity Silicon Tetrachloride by Near-IR Spectroscopy)

  • 박찬조;이석근
    • 분석과학
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    • 제15권1호
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    • pp.87-90
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    • 2002
  • The content of $SiHCl_3$ as a trace impurity in $SiCl_4$ was analyzed by Near IR spectrophotometer with optical fiber. The strong absorption bands of $5345{\sim}5116cm^{-1}$ and $4848{\sim}4349cm^{-1}$ were used for analysis of $SiHCl_3$, and the detection limit of impurity $SiCl_3$ was appeared to be 0.005 % in the spectrum. The quantitative analysis by Near IR spectrophotometry showed the analytical possibility of trace impurity in $SiCl_4$ without sample pre-treatment not only in the laboratory but also in the field.

Synthesis of Tris(silyl)methanes by Modified Direct Process

  • 이창엽;한준수;유복렬;정일남
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제21권10호
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    • pp.959-968
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    • 2000
  • Direct reaction of elemental silicon with a mixture of (dichloromethyl)silanes 1 $[Cl_3-nMenSiCHCl_2:$ n = 0 (a), n = 1(b), n = 2(c), n = 3(d)] and hydrogen chloride has been studied in the presence of copper catalyst using a stirred bed reactor equ ipped with a spiral band agitator at various temperatures from $240^{\circ}C$ to $340^{\circ}C.$ Tris(si-lyl) methanes with Si-H bonds, 3a-d $[Cl_3-nMenSiCH(SiHCl_2)_2]$, and 4a-d $[Cl_3-nMenSiCH(SiHCl_2)(SiCl_3)]$, were obtained as the major products and tris(silyl)methanes having no Si-H bond, 5a-d $[Cl_3-nMenSiCH(SiCl_3)_2]$, as the minor product along with byproducts of bis(chlorosilyl)methanes, derived from the reaction of silicon with chloromethylsilane formed by the decomposition of 1. In addition to those products, trichlorosilane and tetra-chlorosilane were produced by the reaction of elemental silicon with hydrogen chloride. The decomposition of 1 was suppressed and the production of polymeric carbosilanes reduced by adding hydrogen chloride to 1. Cad-mium was a good promoter for and the optimum temperature for this direct synthesis was $280^{\circ}C$.

Synthesis of 3,4-Dihydropyrimidin-2(1H)-ones Using HClO4-SiO2 as a Heterogeneous and Recyclable Catalyst

  • Maheswara, Muchchintala;Oh, Sang-Hyun;Kim, Ke-Tack;Do, Jung-Yun
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제29권9호
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    • pp.1752-1754
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    • 2008
  • A simple and efficient synthesis of 3,4-dihydropyrimidinones or thiones is described, using silica-supported perchloric acid ($HClO_4-SiO_2$) as a heterogeneous catalyst from an aldehyde, $\beta$-dicarbonyl compound, and urea or thiourea under solvent-free conditions. Compared to the classical Biginelli reactions, this method consistently has the advantage of high yields, short reaction time, easy separation, and tolerance towards various functional groups.

순도가 향상된 금속급 실리콘 제조를 위한 산침출 연구 (A Study of Acid Leaching for Metallurgical Grade Silicon Manufacturing Improved Purity)

  • 엄명헌;하범용
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제18권11호
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    • pp.118-123
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    • 2017
  • 다양한 산업에 사용되고 있는 금속급 실리콘(MG-Si, Metallurgical grade silicon)을 제조하기 위해 실리콘 원료 내 가장 많이 함유하고 있는 불순물인 알루미늄(Al) 및 철(Fe)을 제거하고자 산(Acid) 침출 실험을 수행하였다. 5가지 종류의 산(HCl, HF, H2SO4, HNO3, H3PO4)을 1, 2, 4, 6M로 조제하여 실리콘 원료에 반응시킨 결과, 1M 농도의 HF가 가장 우수한 Al 및 Fe 제거율을 나타내었으며 각각 97.9%와 95.2로 나타났다. 그러나 HF는 실리콘 부식 특성으로 인해 18% 가량의 수율 감소가 발생하였으며 이러한 수율감소를 최소화하기 위해 두 번째로 제거율이 우수하게 나타난 2M HCl과 혼합하여 실리콘 원료에 적용하였다. 혼합용액의 최적조건을 선정하기 위해 실험을 수행하여 $80^{\circ}C$, 2시간의 침출 최적조건으로 결정되었으며 이 혼합용액의 적용 결과 Al 및 Fe 잔류농도가 각각 141 ppmw 및 93ppmw로 나타나 3N급의 순도를 갖는 금속급 실리콘을 제조하기에 매우 용이한 것으로 확인되었다.

염산과 수산화칼슘 수용액과의 반응에 의한 사장석의 용해 거동 (Dissolution Behavior of Plagioclase in HCl and KOH Solutions)

  • 현성필;김수진
    • 한국광물학회지
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    • 제9권2호
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    • pp.71-81
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    • 1996
  • Dissolution experiments were conducted to understand chemical nature of weathering of anorthosite from the Hadong area. Anorthosite and plagioclase from it were reacted with HCl or KOH solutions under various conditions concerning such as grain size, initial pH of solutions, and shaking Average composition of plagioclase used in the experiment was Na0.32Ca0.71Al1.71Si2.28O8.Under acidic conditions, solution pH increases rapidly in the initial stage and then gradually to reach palteau. Shaking agitates the reaction rate in the initial stage but does not affect after the system reached steady state. Ca and si concentrations show rapid increase and then gradual increase. Al concentration increases rapidly in the early stage and then decreases. Later decrease was interpreted as the precipitation of an Al-bearing material. Different dissolution rates of different constituents of plagioclase together the with precipitation of al-bearing material might be responsible for the non-stoichiometric dissolution of plagioclase.X-ray diffraction analyses on anorthosite before and after dissolution experiment show dissolution rates differ with different lattice planes of plagioclase. It suggests the crystallographic control on dissolution reaction. X-ray photoelectron spectroscopic result shows that the average composition of plagioclase surface reacted with HCL of initial pH 1.97 for 2000 hours is Na0.20Ca0.26Al1.7Si2.3O8. It means that Na- and Ca-depleted H-feldspar is developed without Al-depleted layer on the surface of plagioclase by reaction with HCl and that dissolution reaction takes place sparsely on the surface of plagioclase. Al and Si are dissolved preferentially over Ca from anorthosite powder in KHO solution. Reaction of acid-reacted anorthosite with KOH solution shows the same Si dissolution behavior as in the fresh anorthosite. This indicates that the Al-depleted and Si-enriched layer does not build up on the acid-reacted surface.

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