• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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• pp.106-106
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• 2010

전력기기용 기체절연매질로서 일반적인 전력기기용 절연기체로는 공기와 $SF_6$, dry air 등이 사용되고 있으며, 초전도전력기기용 절연기체로는 기체헬륨과 기체네온 등이 주로 사용되고 있다. 본 연구에서는 일반적인 전력기기용 절연기체로 주로 사용되는 공기와 초전도전력기기용 절연기체로 사용되는 기체헬륨의 절연특성을 구 대 평판 전극을 이용하여 비교, 분석하였다. 실험에 사용된 구 대 평판 전극은 절연실험에 의한 기계적 손상을 최소화하기 위하여 스테인레스 스틸을 이용하여 제작하였으며, 공기와 기체헬륨 각각에 대하여 다양한 구 전극의 직경과 전극간격에 대한 절연실험이 수행되었다. 이러한 두 기체의 절연실험 결과를 분석하기 위하여 유한요소해석법을 사용하였다. 본 연구를 통하여 기체의 절연파괴특성은 절연기체의 최대전계에 대한 함수로 표현될 수 있다는 것을 알 수 있었으며, 절연파괴 특성 분석을 통하여 절연기체의 종류에 따른 다양한 전력기기의 절연설계법을 확인할 수 있었다. 또한 본 연구결과는 일반 전력기기뿐만 아니라 초전도전력기기의 절연설계법 확립에 도움이 될 것으로 기대된다.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제20권1호
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• pp.85-90
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• 2006

본 논문은 불평등 전계의 $SF_6/CO_2$혼합기체 중에서 전구방전특성에 대한 실험결과를 제시한다. 임펄스 전구방전 진전을 코로나 전류와 방전광 이미지의 측정으로 조사하였다. 정 부극성의 전구방전 진전메커니즘은 기본적으로 같았으며, 초기스트리머코로나는 침전극의 끝단에서 발단되어 계단상으로 진전하는 리더에 의해 시험갭을 교락시킨다. 정극성에서 리더펄스의 휴지시간은 부극성에서보다 매우 짧았다. 또한 부극성에서 초기스트리머코로나와 절연파괴사이의 시간간격은 정극성에서보다 매우 길게 나타났다. 정극성에서 방전채널경로는 임의적으로 나타났으며, 부극성에서 리더 채널은 정극성에서 보다 굵고 밝게 나타났다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제11권1호
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• pp.67-73
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• 1998

In this paper, the electron swarm parameters in the 0.5% and 0.2% SF\ulcorner+Ar mixtures are measured by time of flight method over the E/N(Td) range from 30 to 300(Td). The measurements have been carried out by the double shutter drift tube with variable drift distance from the cathod. A two-term approximation of the boltzmann equation analysis and Monte Carlo simulation have been also used to study electron transport coefficients. We have calculated W, $ND_L,\;ND_T,\;\alpha,\;\eta,\;\alpha-\eta$, and the limiting breakdown electric field to gas mixtures ratio in pure $SF_6$+Ar mixtures. The electron energy distribution function has been analysed in $SF_6$+Ar mixtures at E/N : 200(Td) for a case of the equilibrium region in the mean electron energy. The measured results and the calculated results have been compared each other.

• E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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• 제7권6호
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• pp.462-472
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• 1994

In this paper, electron drift velocity is experimentally measured in SF$_{6}$+N$_{2}$ Gas by induced cur-rent method and quantitaive production of electron transport coefficient is calculated by backward-prolongation of Boltzmann equation. Then electron energy distribution function and attachment coefficients are calculated. This paper can use the electron drift velocity by experimentally and the electron transport coefficient by calculated as a basic data of mixed Gas by comparing and investigating.g.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제13권4호
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• pp.359-364
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• 2000

The paper describes the electron transport characteristics in SP$_{6}$+He gas calculated E/N values 0.1~700[Td] by the Monte Carlos simulation and Boltzmann equation method using a set of electron collision cross sections determined by the authors and the values of electron swarm parameters obtained by TOF method. This study gained the values of the electron swarm parameters such as the electron drift velocity the electron ionization or attachment coefficients longitudinal and transverse diffusion coefficients for SF$_{6}$+He gas at a range of E/N.E/N.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2007년도 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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• pp.194-195
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• 2007

$SF_6$ gas used widely as insulating component in electric power industry has excellent in insulation and arc extinguishing performance in gas-insulated switchgear. However, the concern about eco-friendly alternative gas is currently rising because $SF_6$ gas is one of the main greenhouse gases. In this paper, dry-air and composite-insulation (dry-air+epoxy) as the alternative technology for $SF_6$ gas insulation is studied. Under the gas pressure ranged from 0.1 to 0.6MPa, the breakdown voltage of dry-air were measured in AC electric field. The data of composite-insulation were acquired by changing the thickness of epoxy used in each composite-insulation under the same condition.

• 한국진공학회지
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• 제4권1호
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• pp.91-103
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• 1995

SF6 플라즈마를 이용한 텅스템 실리사이드 식각공정에서 전력, 압력, 전극간 거리, 기판온도 등의 공정변수와 CI2 첨가 기체가 식각율, 이방성, RIE Lag 등의 식각특성에 미치는 영향을 살펴보았다. 입력 전력이 증가할수록 식각율이 증가하였고 RIE Lag는 감소하였다. 식각율은 150mtorr에서 최대가 되었는데 이는 이온과 반응성 라디칼의 공동작용효과가 가장 크게 나타나기 때문으로 생각된다. 또한 압력이 작아질수록 이온의 에너지가 증가하고 이온의 분산현상이 감소하여 RIE Lag이 감소되었다. 전극간 거리가 감소할수록 식각율은 증가하고 RIE Lag은 감소되었으나 이방성은 악화되는 것으로 나타났다. 기판 온도가 증가할수록 표면 반응이 활발해져 총 식각율은 증가하였으며 반응성 라디칼의 도랑 내부로의 확산이 용이하게 이루어져 RIE Lag가 감소하였으나 화학적 식각의 증가로 이방성은 악화되었다. 염소의 첨가량이 증가할수록 도랑 벽면에 보호막이 형성되어 식각율 및 RIE Lag은 감소하였으며 이방성은 향상되는 것으로 나타났다.

• 한국조명전기설비학회:학술대회논문집
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• 한국조명전기설비학회 2005년도 춘계학술대회논문집
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• pp.342-345
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• 2005

This paper describes the electron energy distribution function characteristics in $SF_6-He$ gas calculated for range of E/N values from $50{\sim}700[Td]$ by the Monte Carlo simulation(MCS) and Boltzmann equation(BE) method using a set of electron collision cross sections determined by the authors and the values of electron swarm parameters are obtained by time of flight(TOF) method. The results gained that the values of the electron swarm parameters such as the electron drift velocity, the electron ionization or attachment coefficients, longitudinal and transverse diffusion coefficients agree with the experimental and theoretical for a range of E/N. The results of Boltzmann equation and Monte carlo simulation have been compared with experimental data by Pollock, Ohmori, cottrell and Walker.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1988년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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• pp.249-251
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• 1988

In this paper, the negative ion mobility of $SF_6$ is determined using as a negative ion detector the burst pulse which is triggered in a positive point-plane gap by electrons detached from negative ions near the anode point. The result obtained for the negative ion mobility for zero field at atmospheric pressure is $0.57cm^2v^{-1}s^{-1}$.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1998년도 추계학술대회 논문집
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• pp.159-162
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• 1998

This paper describes the electron transport characteristics in $SF_6$+He gas calculated for range of E/N values from 50~700[Td] by the Monte Carlo simulation and Boltzrnann equation method using a set of electmn collision cross sections determined by the authors and the values of electron swarm parameters are obtained by M F method. The results gained that the values of the electron swarm parameters such as the electron drift velocity, the electron ionization or attachment coefficents, longitudinal and h-ansverse diffusion coefficients agree with the experimental and theoretical for a range of E/N.