유도결합형 플라즈마에 의한 $PMN-PT(Pb(Mg_{1/3}Nb_{2/3})O_3-PbTiO_3)$ 박막의 건식식각 특성
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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- pp.223-223
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- 1999