Kang, Dong-Hyun;Pak, Soo-Kyung;Park, George O.;Hong, Sang-Jeen
한국진공학회:학술대회논문집
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한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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pp.433-433
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2012
As the requirement in patterning geometry continuously shrinks down, the termination of etch process at the exact time became crucial for the success in nano patterning technology. By virtue of real-time optical emission spectroscopy (OES), etch end point detection (EPD) technique continuously develops; however, it also faced with difficulty in low open ratio etching, typically in self aligned contact (SAC) and one cylinder contact (OCS), because of very small amount of optical emission from by-product gas species in the bulk plasma glow discharge. In developing etching process, one may observe that coupon test is being performed. It consumes costs and time for preparing the patterned sample wafers every test in priority, so the coupon wafer test instead of the whole patterned wafer is beneficial for testing and developing etch process condition. We also can observe that etch open area is varied with the number of coupons on a dummy wafer. However, this can be a misleading in OES study. If the coupon wafer test are monitored using OES, we can conjecture the endpoint by experienced method, but considering by data, the materials for residual area by being etched open area are needed to consider. In this research, we compare and analysis the OES data for coupon wafer test results for monitoring about the conditions that the areas except the patterns on the coupon wafers for real-time process monitoring. In this research, we compared two cases, first one is etching the coupon wafers attached on the carrier wafer that is covered by the photoresist, and other case is etching the coupon wafers on the chuck. For comparing the emission intensity, we chose the four chemical species (SiF2, N2, CO, CN), and for comparing the etched profile, measured by scanning electron microscope (SEM). In addition, we adopted the Dynamic Time Warping (DTW) algorithm for analyzing the chose OES data patterns, and analysis the covariance and coefficient for statistical method. After the result, coupon wafers are over-etched for without carrier wafer groups, while with carrier wafer groups are under-etched. And the CN emission intensity has significant difference compare with OES raw data. Based on these results, it necessary to reasonable analysis of the OES data to adopt the pre-data processing and algorithms, and the result will influence the reliability for relation of coupon wafer test and whole wafer test.
톱밥 및 왕겨를 주 바이오매스 원으로 선정하여 열분해 특성을 고찰하였다. 열 중량 분석기를 이용하여 승온 속도를 달리하여 질소 분위기의 비등온 조건에서 열분해 분석을 수행하였다. 시료의 열분해 반응은 holocellulose가 주 열분해 대상인 저온 반응 영역과 lignin이 열분해 대상이 되는 고온 반응 영역으로 구분되며 이를 2단계 연속 반응 모델을 사용하여 해석하였다. 각 영역에 따라 1st order reaction model과 3-way transport model을 적용하여 톱밥 및 왕겨의 활성화 에너지를 저온 영역에서 82.5 kJ/mol, 85.1 kJ/mol 그리고 고온 영역에서 19.7 kJ/mol, 22.0 kJ/mol로 결정하였다. 승온 속도를 달리하여 결정된 반응 속도 상수는 Gaur-Reed의 제안 식에 따라 kinetic compensation relation을 통해 해석할 수 있었으며 이를 통해 임의의 승온 속도에서의 열분해 속도 상수를 잘 예측할 수 있었다.
발아현미의 대표적 기능성 성분인 GABA의 함량을 증진시키기 위한 적정 전처리 조건을 확립하기 위하여 여러 가지 침지조건을 검토하였다. 현미를 $40^{\circ}C$에서 침지하였을 때 침지시간이 경과함에 따라 GABA 함량이 계속 증가하여 8시간 후 GABA 함량이 3.33mg/100g으로 가장 크게 증가하였으며, 침지용액의 pH를 변화하였을 때 pH 4-7 범위에서는 GABA 함량이 큰 차이를 나타내지 않은 반면 pH 8에서는 GABA 함량이 유의적으로 감소하는 것으로 나타났다. 또한 glutamate 용액을 침지용액으로 사용하였을 때 200-300ppm의 농도에서 GABA 함량이 $0.49{\pm}0.48-4.11{\pm}0.47mg/100g$으로 glutamate 무첨가구에 비해 크게 증가한 값을 나타내었다. 현미를 침지후 질소가스로 충진하여 GABA 생성에 대한 혐기처리의 효과를 조사한 결과 $4.70{\pm}0.49-4.92{\pm}0.83mg/100g$의 GABA 함량을 나타내어 혐기처리의 효과가 상당히 큰 것으로 나타났다. 이를 발아시켰을 때 $5.92{\pm}0.72mg/100g$의 GABA 함량을 나타내어 실온에서 물 침지하여 발아시킨 경우의 3.05mg/100g에 비해 약 2배의 높은 GABA 함량을 나타내어 확립된 전처리 조건이 발아현미의 GABA 함량 증진에 상당히 기여함을 확인할 수 있었다.
기후변화협약 제16차 당사국총회에서 결정된 칸쿤합의문은 선진국의 지원을 받는 REDD+ 활동의 이행 조건으로 개발도상국에게 REDD+ 국가 전략 또는 실행 계획의 수립을 요구하였다. 또한 개발도상국이 REDD+ 국가전략을 수립할 때 산림전용 및 산림황폐화의 원인 구명, 국가 산림자원조사로 대표되는 MRV 체계 구축 및 형평성보장, 공동편익, 천연림 및 생물다양성의 보전 등과 같은 안전장치를 포함할 것을 요구하였다. 인도네시아는 2010년 5월 노르웨이와 'EDD+ 협력에 관한 양국 간 의향서'를 체결하고 REDD+ 국가 전략의 수립을 약속하였다. 노르웨이는 인도네시아의 천연림과 이탄지에 대한 신규 산림허가권의 2년간 유예와 REDD+ 국가 전략 수립 등을 이행 조건으로 인도네시아에 최대 10억불의 지원을 약속하였다. 2012년 6월에 수립된 인도네시아의 REDD+ 국가 전략은 양국 간 의향서에 포함된 노르웨이의 요구사항을 반영하였다. 반면 기후변화협약에서 요구하는 산림전용 및 산림황폐화의 원인 구명 및 실질적인 온실가스 감축 보장에 대한 요구사항은 반영되지 않았다. 인도네시아는 법적 구속력이 약한 이상적인 기후변화협약의 요구사항보다 명확한 재정 기여가 예상되는 노르웨이의 현실적인 요구사항을 보다 중시하였다.
최근 반도체 세정에 있어서 지난 40년 동안 지속적으로 사용되고 있는 알칼라인 기반의 RCA 세정법은 많은 초순수 및 화학액 소모량과 세정시 불필요한 박막의 손실, 환경적인 문제로 인하여 이를 대체하고자 하는 새로운 새정액 및 세정 방법에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 특히 초순수에 가스를 혼합하여 메가소닉을 이용한 기능수 세정은 기존 RCA 세정액의 문제점들을 해결하기 위한 세정액으로 최근 반도체 제조 공정 뿐만 아니라 Photo mask, FPD 세정 공정에서 널리 이용되고 있다. 하지만 기능수에 대한 기초적인 특성 연구와 메가소닉에 의한 세정력 변화에 대한 연구는 부족한 상태이다. 본 연구에서는 고순도의 수소가스(99.999%)를 가스 접촉기, pHasorII (Entigris, USA) 와 순환 속도의 조절이 가능한 펌프, BPS-3 (Levitronix, USA) 를 이용하여 지속적으로 초순수와 수소가스를 혼합하는 방법으로 수소수를 제조하였으며, 용존 수소 농도계, DHDI-1 (TOA-DKK, Japan)으로 수소수의 농도를 확인하였다. 0.1 MPa 압력과, 3 LPM의 수소가스 유출속도에서 최대 2.0 ppm의 수소수를 얻을 수 있었으며, 수소수의 기초 특성을 평가하기 위하여 수소 농도 변화에 따른 pH, 표면 에너지를 측정하였다. 또한 압력 변화에 따른 반감기를 측정하여 bath형태의 세정기에서 적용 가능성을 평가하였다. 수소수의 세정력은 $Si_3N_4$ 입자가 임의로 오염된 실리콘 웨이퍼를 이용하여 bath 및 매엽식 세정기에서 수소수 농도와 메가소닉 형태 및 첨가제 변화에 따른 세정효율을 기존의 SC-1 세정액과 각각 비교 평가하였다. 기능수 발생장치에서 압력이 제거된 상태에서는 평균 20분의 반감기를 갖는 것이 관찰되었고, 압력이 유지된 상태에서는 수소수의 농도가 유지되는 것을 확인하였으며, pH의 경우 수소수의 농도가 점차 증가함에 따라 감소하여 2.0 ppm의 농도에서 pH 5.3정도의 값을 나타내었다. 표면 장력은 초순수와 비교했을 때 큰 변화가 없음을 확인할 수 있었다. Bath 형태의 세정기에서 메가소닉을 인가하여 수소수의 세정효율을 측정한 결과, 같은 조건에서 실험한 초순수와는 비슷하며, SC-1보다는 낮은 세정효율이 측정되었다. 반면 매엽식 세정기에서 동등한 조건의 실험을 실시한 결과, 수소수 세정에서 첨가제에 의한 영향으로 SC-1을 대체할 수 있는 높은 입자 제거효율을 가짐을 확인할 수 있었다.
Chemical bath deposition 방법으로 다결정 CdS 박막을 세라믹 기판 위에 성장시킨 다음 온도를 변화시켜 열처리하고 X-선 회절무늬를 측정하여 결정구조를 밝혔다. $550^{\circ}C$로 열처리한 시료의 경우 X-선 회절무늬로부터 외삽법에 의해 $a_{o}$와 $c_{o}$는 각각 $4.1364{\AA}$과 $6.7129{\AA}$인 육방정계임을 알았다. 이 때 낱알크기는 약 $0.35{\mu}m$이었다. Van der Pauw 방법으로 Hall 효과를 측정하여 운반자 농도와 이동도의 온도의존성을 연구하였다. 이동도는 33 K에서 150 K까지는 압전산란에 의하여, 150 K에서 293 K 까지는 곽성광학산란에 의하여 감소하는 경향을 나타냈다. 광전도 셀의 특성으로 스펙트럼 응답, 감도(${\gamma}$), 최대허용소비전력 및 응답 시간을 측정하였다.
Chemical bath deposition 방법으로 다결정 CdSe 박막을 세라믹 기판 위에 성장시킨 다음 온도를 변화시켜 열처리하고 X-선 회절무늬를 측정하여 결정구조를 밝혔다. $450^{\circ}C$로 열처리한 시료가 X-선 회절무늬로 부터 외삽법에 의해 $a_{o}$와 $c_{o}$는 각각 $4.302{\AA}$과 $7.014{\AA}$인 육방정계임을 알았다. 이 때 낱알크기는 약 $0.3{\mu}m$이었다. Van der Pauw 방법으로 Hall 효과를 측정하여 운반자 농도와 이동도의 온도의존성을 연구하였다. 이동도는 33 K에서 200 K까지는 압전산란에 의하여, 200K에서 293 K까지는 극성광학산란에 의하여 감소하는 경향을 나타냈다. 광전도 셀의 특성으로 스텍트럼 응답, 감도(${\gamma}$), 최대허용소비전력 및 응답 시간을 측정하였다.
Purpose: To determine the effect of zinc deficiency on fecal protein, electrolyte, and short-chain fatty acid levels in both heat-stable (ST) and heat-labile (LT) enterotoxigenic Escherichia coli (ETEC)-induced diarrhea in rats. Methods: Albino rats, weighing 100 to 150 g, were divided into 2 groups, with 15 animals each: non-zinc and zinc-deficient. These two groups were sub-divided into three sub-groups with five rats each: control (saline); LT-ETEC; and ST-ETEC. Sodium phytate (30 mmol/L) was added to the animals' water to induce zinc deficiency, while diarrhea was induced using 5×109 ETEC cells/mL. Fecal protein levels were estimated using the Bradford method, while sodium and potassium levels were determined using atomic absorption spectrophotometry. Short-chain fatty acids were measured using gas chromatography-mass spectrometry. Results: Among the non-zinc and zinc-deficient groups, there were significant increases (p=0.04), (p=0.03) in fecal protein concentrations (mg/mL) in the LT-ETEC- (4.50±0.33), (6.50±0.26) and ST-ETEC- (3.85±0.19), (5.98±0.32) induced groups compared to the control groups (2.60±0.52), (3.50±0.11) respectively. Fecal sodium and potassium levels (mg/L) were significantly (p=0.029) increased in non-zinc-deficient rats induced with LT-ETEC (9.35±0.95, 1.05±0.48), and ST-ETEC (9.96±1.02, 1.21±0.45) compared with the control group (8.07±0.44, 0.47±0.17) but the increase were not statistically significant (p=0.059) in the zinc deficient rat groups. Fecal acetate and propionate levels (mg/g) significantly (p=0.032) increased when induced with LT-ETEC and ST-ETEC in non-zinc and zinc-deficient groups compared with the control groups. Conclusion: Zinc deficiency among rats with ETEC-induced diarrhea elevated fecal protein loss but may not have an effect on fecal sodium, potassium and short-chain fatty acid levels.
넓은 잎 벌로랑이의 이용에 있어서 초기생육 부진이 가장 심각한 문제점으로 대두되고 있다. 따라서 유식물 활력증진을 위한 육종의 기초자료로 이용하기 위하여 종자가 작은 MO-20과 종자가 큰 302921 두 채통을 $15^{\circ}C$와 $25^{\circ}C$의 생육상에서 재배하여 유식물 활력을 비교 검토하였다. 이산화탄소 교환솔(CER)은 적외선 가스분석기를 이용하여 closed system으로 측정하였다. 암호흡솔은 Gilson 호흡계로 측정하였으며 일당 순탄소 축적솔과 유식물 생장분석도 조사하였다. 302921은 MO-20에 비해 종자크기는 약 3.5배 가량이, 최대 신장 자엽 면적은 약 2배 가량이 더 컸다. $25^{\circ}C$에서 출현후 3주까지는 302921의 초기 유식물 생장이 더 양호하였으나 3주 이후부터 시험종료시 까지는 오히려 MO-20이 302921보다 연면적당 CER이 더 높고 건물축적솔도 더 많았다. 반면 $15^{\circ}C$에서는 MO-20이 302921보다 생장이 더 억압 받았다. MO-20의 암호흡솔은 302920보다 약간 높았으나 일당 순이산화탄소 교환솔은 MO-20이 $25^{\circ}C$에서 높았고 $15^{\circ}C$에서는 낮았다. MO-20의 상대생장솔은 $25^{\circ}C$에서는 높은 순동화솔로 인하여 302921보다 높았으나 $15^{\circ}C$에서는 계통간 차이가 별로 없었다.
산 매질 조건에서 다양한 할로겐산화물을 이용하여 황 원소를 포함한 유기물(thiourea, methionine)과 무기물(sulfate, thiophosphate)의 산화에 관한 연구를 수행하였다. 산화반응의 최적조건은 3 M 질산용액 매질에서 bromate (${BrO_3}^-$)를 산화제로 사용했을 때 얻어졌다. 유기 황 화합물인 thiourea에서는 100%의 산화 수율을 확인하였으며, methionine을 사용한 결과는 87%이었다. 또한 무기 황 화합물인 thiophosphate와 sulfate의 산화는 각각 80%와 100%의 산화 수율을 얻었으며, 5%의 상대표준표차(RSD)가 있음을 확인하였다. Thiourea의 산화는 1.6배의 bromate가 필요하였으며, methionine과 thiophosphate의 경우에는 20배 이상이 필요함을 관찰하였다. 황산염 이온은 황산 바륨($BaSO_4$)으로 침전을 확보하였으며, 이때 얻어진 방사성 황산 바륨($Ba^{35}SO_4$)은 기체비례계수기(gas proportional counter, GPC)을 이용하여 정량적으로 측정하였다. $^{35}S$ 계측을 위한 소광보정곡선은 무게 차이를 이용하여 작성되었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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