$Cl_2/BCl_3$ /Ar 플라즈마에서의 As-doped ZnO 박막의 식각 특성
(Etching Properties of As-doped ZnO Thin Films in $Cl_2/BCl_3$ /Ar Plasma)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2008년도 추계학술대회 초록집
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- pp.41-42
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- 2008