• 제목/요약/키워드: $Cl_2$

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고밀도 플라즈마에 의한 BST 박막의 damage에 관한 연구 (Damages of etched BST films by high density plasmas)

  • 최성기;김창일;장의구;서용진;이우선
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2000년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.45-48
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    • 2000
  • High dielectric (Ba,Sr)TiO$_3$ thin films were etched in an inductively coupled plasma (ICP) as a function of C1$_2$/Ar gas mixing ratio. Under Cl$_2$(20)/Ar(80), the maximum etch rate of the BST films was 400$\AA$/min and selectivities of BST to Pt and PR were obtained 0.4 and 0.2, respectively. We investigated the etched surface of BST by x-ray photoelectron spectroscopy (XPS), atomic force microscopy (AFM) and x-ray diffraction (XRD). From the result of XPS analysis, we found that residues of Ba-Cl and Ti-Cl bonds remained on the surface of the etched BST for high boiling point. The surface roughness decreased as Cl$_2$ increases in Cl$_2$/Ar plasma because of non-volatile etching products. This changed the nature of the crystallinity of BST. From the result of XRD analysis, the crystalliility of etched BST film maintained as similar to as-deposited BST under Ar only and Cl$_2$(20)/Ar(80). However, (100) orientation intensity of etched BST film abruptly decreased at Cl$_2$ only plasma. It was caused that Cl compounds were redeposited on the etched BST surface and damaged to crystallinity of BST film during the etch process.

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증류수 혹은 0.25N NaClO$_2$에서 가열한 볏짚의 가금에서의 영양소이용성에 미치는 영향 (Effect of Rice Straw Heated in Water or 0.25N-NaClO$_2$ on the Nutrient Utilization of Diets in Chicks)

  • 고태송;김해수;김성규;라채영
    • 한국가금학회지
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    • 제12권1호
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    • pp.25-30
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    • 1985
  • 가금에서의 영양소리용성에 미치는 볏짚구성분의 영향을 고찰하기 위하여 증류수 혹은 0.25N NaClO$_2$ 800$m\ell$당 볏짚 100g의 비율로 침지하여 135$^{\circ}C$ 3.2kg/$\textrm{cm}^2$ 압력밑에서 각각 30, 60 및 120분 autoclave를 이용하여 가열하고 세척 건조(증류수 혹은 NaClO$_2$-30, 60 및 120-볏짚) NDF, ADF 및 리그닌량을 조사하였다. 갓부화한 단관백색 레그흔 숫병아리에 10일간 시판 병아리 사료를 급여하고 계속해서 8일간 밀기울(기초), 섬유소(선분), 무처리볏짚, 증류수-30-볏짚 및 NaClO$_2$-30-볏짚이 각각 17.0% 함유된 실험사료를 급여했다. 증류수-30, 60 및 120-볏짚의 건물손실율은 각각 9.7, 12.1 및 13.3%였으나, NaClO$_2$-30, 60 및 120-볏짚에서는 각각 8.8, 18.7 및 19.4%로, NaClO$_2$-60 및 120-볏짚에서는 증류수볏짚의 1.5배가 되었다. 증류수 및 NaClO$_2$ 볏짚의 건물손실은 주로 무처리볏짚의 세포내용물과 헤미셀루로스의 용출에 기인하는 것이었다. 증류수-30-볏짚을 급여한 병아리는 무처리 혹은 NaClO$_2$-30-볏짚을 급여한것에 비해서 증체량이 높고 사료요구량이 낮았다. 질소밸런스 및 축적율은 증류수-30-볏짚을 급여한것에서 무처리 및 NaClO$_2$-30-볏짚을 급여한것에 비해서 높았고, 조지방소화율은 높아지는 경향이 있었다. 무처리, 증류수-30 및 NaClO$_2$-30-볏짚을 급여한 병아리의 MEn/GE는 각각 71.9, 72.9 및 70.4%였으며, 대사체중(kg 0.75)당 MEn섭취량은 각각 307.3, 296.2 및 291.4 KCal가 되었다. 이때 kg 0.75당 1일 단백질축적량은 각각 1.647, 1.969 및 1.560g이었다. 한편 증류수-30-볏짚을 급여한 병아리의 단백질 1g 축적에 상당하는 MEn는 30.56Kcal로써 무처리 및 NaClO$_2$-30-볏짚을 급여한것의 36.90 및 37.58Kcal보다 낮았다. 따라서 무처리볏짚에는 에너지 이용성 혹은 단백질축적에 영향을 미치는 물질 혹은 성질이 존재하며, 이것은 볏짚을 끓임으로써 제거된다는 것을 시모고 있다.

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NaCl 첨가량에 따른 돈육 유화물의 이화학적 특성 (Effects of NaCl Concentration on Physicochemical Properties of Pork Emulsion)

  • 박신영;김학연
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제45권4호
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    • pp.551-556
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    • 2016
  • 본 연구는 돈육 유화물을 저염 육제품 개발의 기초자료로 활용하고자 돈육 유화물 제조 시 NaCl 첨가량에 따른 이화학적 특성을 조사하였고, 처리구별로 돈육 유화물 제조 시 NaCl 첨가량을 0%, 0.3%, 0.6%, 0.9%, 1.2%, 1.5% 첨가하여 6개의 처리구로 분류하여 제조하였다. 수분 함량은 NaCl 1.5% 첨가구가 대조구와 다른 처리구들에 비해 유의적으로 높은 값을 가졌다(P<0.05). 회분 함량은 NaCl 첨가율이 증가할수록 상승하는 추세를 보였으며, 단백질 함량은 NaCl 첨가에 따라 감소하는 경향을 나타내었다. 가열 전 pH는 NaCl 0.9%, 1.2%, 1.5% 첨가구가 유의적으로 낮았으며 (P<0.05), 가열 후에는 모든 NaCl 첨가구가 대조구에 비해 유의적으로 낮은 pH를 나타내었다(P<0.05). 색도 측정 결과 가열 전 명도는 모든 NaCl 처리구가 대조구에 비해 유의적으로 높은 수치를 나타내었으며(P<0.05), 적색도와 황색도는 대조구에 비해 유의적으로 낮은 수치를 나타내었다(P<0.05). 가열 후 명도와 황색도는 NaCl 첨가량이 증가할수록 감소하는 경향을 나타내었으며, 적색도는 증가 추세를 보였다. 보수력과 가열수율은 NaCl 첨가량이 증가함에 따라 증가하는 경향을 보였으며, 0.9% 처리구부터 유의적으로 높은 값을 나타내었다(P<0.05). 점도는 NaCl 1.2%, 1.5% 처리구가 69.60~71.41 Pa s로, 대조구와 NaCl 0.3% 처리구의 51.13~51.61 Pa s보다 높은 점도를 가진 것으로 나타내었다. 물성 측정 결과 탄력성과 응집성은 대조구와 처리구간에 유의적인 차이가 없었으며(P>0.05), 경도와 검성, 씹음성은 NaCl 1.5% 처리구가 대조구와 다른 처리구보다 유의적으로 높은 수치를 나타내었다(P<0.05). 이상의 연구 결과를 종합하면 돈육 유화물에 NaCl이 저염 수준인 0.9~1.2% 첨가되었을 때 NaCl 1.5% 첨가구와 이화학적으로 유사한 특성이 있는 것으로 나타나 돈육 유화물을 이용한 저염육제품 제조 시 염 농도를 0.9%, 1.2% 첨가하는 것이 바람직할 것으로 생각한다.

유도결합 C1$_2$/CF$_4$/Ar 플라즈마를 이용한 CeO$_2$ 박막 식각후 표면반응 (Surface Reactions after the Etching of CeO$_2$ Thin films using Inductively Coupled C1$_2$/CF$_4$/Ar Plasmas)

  • 이병기;김남훈;장윤성;김경섭;김창일;장의구
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제9권2호
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    • pp.27-31
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    • 2002
  • 본 연구에서는 ICP 식각장비에서 700 W의 RF전력과 -200 vo1t의 dc 바이어스 전압 및 15 mTorr의 반응로 압력에서 $Ar/CF_2$ 혼합가스에 $C1_2$가스를 첨가하면서 $CeO_2$ 박막을 식각하였다 최대식각 속도는 10%의 $C1_2$ 가스를 첨가하였을 시에 250 $\AA$/min이었고, 이 조건에서 SBT에 대한 식각 선택비는 0.4이었다. XPS를 이용하여 식각된 $CeO_2$ 박막의 표면반응을 검토하였다. Ce 피크는 대부분 $CeO_2$또는 $Ce_2O_3$형태로 Ce-O 결합상태임을 관찰할 수 있었다. 대부분의 Cl 피크는 CeClx 또는 $Ce_x/O_yCl_z$ 형태로 Ce 원자와 결합하고 있었다

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Cl$_2$/Ar 가스 플라즈마에 $O_2$ 첨가에 따른 Pt 식각 특성 연구 (The Study on the Etching Characteristics of Pt Thin Film by $O_2$ Addition to $_2$/Ar Gas Plasma)

  • 김창일;권광호
    • 전자공학회논문지D
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    • 제36D권5호
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    • pp.29-35
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    • 1999
  • Pt박막의 ICP 식각을 위한 Cl\sub 2 \/Ar 가스 플라즈마에 O\sub 2\ 가스를 첨가하여 Pt 식각 메카니즘을 XPS와 QMS로 조사하였다. 또한 single Langmuir probe를 사용하여 이온전류밀도를 Ar/Cl\sub 2 \/O\sub 2\ 가스 플라즈마에서 측정하였다. O\sub 2\가스 첨가비가 증가할수록 Cl과 Ar species가 급격하게 감소하고 이온전류밀도 역시 감소함을 QMS와 single Langmuir probe로 확인하였다. Pt 식각율의 감소는 O\sub 2\가스 첨가비가 증가할수록 반응성 species와 이온전류밀도의 감소에 기인함을 의미한다. 150 nm/min의 치대 식각율과 2.5의 산화막식각 선택비가 50 sccm의 Ar/Cl\sub 2 \/O\sub 2\ 가수 유량, 600 W의 RF 전력, 125 V의 dc 바이어스 전압 및 10mTorr의 반응로 압력에서 얻었다.

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철 광물에 의한 염소계 유기화합물의 환원적분해 (Reductive degradation of Chlorinated compounds by using Iron Minerals)

  • 김성국;박상원
    • 한국지하수토양환경학회지:지하수토양환경
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    • 제9권2호
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    • pp.11-19
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    • 2004
  • 염소계 및 니트로계 유기 화합물은 발암물질 또는 돌연 변이성 유발물질로 인체에 매우 유독한 물질로 알려 져있다. 특히 사염화탄소,헥사클로로에탄 또는 니트로계 방향족 화합물은 자연계에서 분해되는 반감기는 수십 년이 걸린다. 이 연구에서는 염소계 유기화합물의 환원적 분해반응으로 무독화하는 것을 목적으로 한다. Fe$^{0}$ , FeS와 FeS$_2$를 반응 매개물로 이용해서 $CCl_4$, $C_2$Cl$_{6}$, $C_2$HCl$_{5}$ , $C_2$Cl$_{4}$$C_2$HCl$_3$의 환원적 분해반응에서 다음과 같은 결과를 얻었다. $CCl_4$ 는 FeS을 반응 매개물로 혐기성 조건에서 CHCl$_3$와 CH$_2$Cl$_2$로 환원적 분해반응을 하였다. $CCl_4$에서 CHCl$_3$으로 환원반응은 매우 빠르게 일어나는 반면 CHCl$_3$에서 CH$_2$Cl$_2$로 분해되는 반응속도는 매우 느리게 일어났다. $C_2$Cl$_{6}$$CCl_4$와 달리 복잡한 반응 경로로 환원적 분해 반응을 하였으며, 수소첨가 반응, 탈염소제거반응과 탈수소탈염소화반응으로 $C_2$HCl$_{5}$ , $C_2$Cl$_4$, $C_2$HCl$_3$와 cis-1,2-C$_2$H$_2$Cl$_2$의 환원 생성물로 분해되었다. 반응 초기에 소량의 $C_2$HCl$_{5}$ 생성물이 확인되었으며, 대부분 $C_2$HCl$_4$으로 환원반응 하였다. 특히 $C_2$HCl$_3$에서 환원반응 생성물로 cis-1,2C$_2$HCl$_2$만이 생성물로 나타났고, trans-1,2-C$_2$H$_2$Cl$_2$ 또는 1,1-C$_2$H$_2$Cl$_2$은 생성물로 나타나지 않았다.

$Ar/CF_{4}/Cl_{2}$ 유도결합 플라즈마에 의한 SBT 박막의 표면 손상 (The Surface Damage of SBT Thin Film Etched in $Ar/CF_{4}/Cl_{2}$ Plasma)

  • 김동표;김창일;이철인;김태형;이원재;유병곤
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2001년도 추계학술대회 논문집 Vol.14 No.1
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    • pp.26-29
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    • 2001
  • $SrBi_2Ta_2O_{9}$ thin films were etched at high-density $Cl_2/CF_4/Ar$ in inductively coupled plasma system. The etching of SBT thin films in $Cl_2/CF_4/Ar$ were chemically assisted reactive ion etching. The maximum etch rate was 1300 $\AA$/min at 900W in $Cl_2(20)/CF_4(20)/Ar(80)$. As rf power increase, radicals (F, Cl) and ion(Ar) increase. The influence of plasma induced damage during etching process was investigated in terms of the surface morphology and th phase of X-ray diffraction. The chemical residue was investigated with secondary ion mass sperometry.

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야생(野生)버섯의 기생균(寄生菌)인 이분지털곰팡이의 출현(出現)과 배양(培養) 특성(特性) (Occurrence of Syzygites Megalocarpus on Wild Mushrooms and Its Cultural Characteristics)

  • 가강현;박현;윤갑희;박원철
    • 한국산림과학회지
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    • 제89권5호
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    • pp.691-696
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    • 2000
  • 이분지털곰팡이(Syzygites megalocarpus)는 송이, 껄껄이그물버섯, 노란분말그물버섯, 냄새무당버섯, 암회색광대버섯아재비에서 출현하고 있었다. 이분지털곰팡이는 Malt Extract Agar, Mueller Hinton Medium, Potato Dextrose Agar에서 잘 자랐으며, 생육 최적온도는 $23^{\circ}C$ 내외, 최적 pH는 6.0 이었다. PDA배지에서 이분지털곰팡이는 2일째에 NaCl이 포함되지 않은 대조구에 비하여 5% NaCl에서는 생장이 36.5% 억제되었고 8% 이상 NaCl에서는 생장이 거의 없었다. 그러나 5일째에는 10% NaCl에서도 1.1cm 생장을 하는 것으로 관찰되었다. 송이균은 NaCl의 농도가 증가할수록 생장이 감소되어 2.5%에는 거의 생장하지 않았다. 따라서 이분지털곰팡이는 고농도의 NaCl에서도 생육이 가능하므로 송이 버섯에서 발생한 이분지털곰팡이를 NaCl 처리로 방제하기는 어려울 것으로 판단되었다.

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유기수은의 세포면역독성과 이에 대한 아연의 방어효과 및 기전 (A Study on the Protective Effect and Its Mechanism of Zinc against Immuno-cytotoxicity of Methylmercury)

  • 고대하;염정호;오경재
    • 한국환경보건학회지
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    • 제27권2호
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    • pp.82-91
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    • 2001
  • This study was carried out to elucidate the protective effect of zinc chloride(ZnCl$_2$) and its mechanism against the immuno-cytotoxicity of methylmercury chloide($CH_3$HgCl). This study was observed in the culture of EMT-6 cells which are originated from mammary adenocarcinoma of Balb/c mouse. Cytotoxicity of metals was measured by cell viability and NO$_2$$^{[-10]}$ , and mitochondrial function was evaluated by adenosine triphosohate (ATP) production. $CH_3$HgCl significantly decreased the sythesis of nitric oxide(NO), ATP and glutathione(GSH) in a dose-dependent manner. ZnCl$_2$ significantly increased the synthesis of GSH in a dose-dependent manner, but synthesis of NO and ATP were not changed. The immuno-cytotoxicity of $CH_3$HgCl was not fully protected when combined addition of ZnCl$_2$, whereas ZnCl$_2$ prior to addition of $CH_3$HgCl completly protected the Hg-induced immuno-cytotoxicity. Similarly, intracellular accumulation of mercury significantly decreased by ZnCl$_2$. Degree of diminution of intracellular mercury was larger in ZnCl$_2$ prior to addition of $CH_3$HgCl than in combined addition of ZnCl$_2$ and $CH_3$HgCl.. Dithiothreitol(DTT) or buthionine sulfoximine(BSO) addition at 50$\mu$M or less, which was not toxic to the cells, did not affect synthesis of NO and ATP. DTT increased intracellular GSH level and DTT pretreatment protected toxicity induced by $CH_3$HgCl as shown complete recover in the NO and ATP values. BSO decreased intracellular GSH level and BSO pretreatment exaggerated toxicity induced by $CH_3$HgCl as shown synergistic reduction in the NO and ATP values. These results indicated that the protective effects of zinc against immuno-cytotoxicity of methylmercury associated with increasing cellular level of GSH. Increased intracellular GSH transports methylmercury to out of cells. In accordance with intracellular level of mercury decreased, immuno-cytotoxicity of methylmercury decreased. These result also suggest that the protective mechanism of zinc against the mercury toxicity would be exerted in the immune system in vivo.

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