As device dimensions approach submicrometer size in ULSI, the demand for interlayer dielectric materials with very low dielectric constant is increased to solve problems of RC delay caused by increase in parasitic resistance and capacitance in multilevel interconnectins. Fluorinated amorphous carbon in one of the promising materials in ULSI for the interlayer dielectric films with low dielectric constant. However, poor thermal stability and adhesion with Si substrates have inhibited its use. Recently, amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) film as a buffer layer between the Si substrate and a-C:F has been introduced because it improves the adhesion with Si substrate. In this study, therfore, a-C:F/a-C:H films were deposited on p-type Si(100) by ECRCVD from $C_2F_6, CH_4$and $H_2$gas source and investigated the effect of forward power and composition on the thickness, chemical bonding state, dielectric constant, surface morphology and roughness of a-C:F films as an interlayer dielectric for ULSI. SEM, FT-IR, XPS, C-V meter and AFM were used for determination of each properties. The dielectric constant in the a-C:F/a-C:H films were found to decrease with increasing fluorine content. However, the dielectric constant increased after furnace annealing in $N_2$atomosphere at $400^{\circ}C$ for 1hour due to decreasing of flurorine content. However, the dielectric constant increased after furnace annealing in $N_2$atmosphere at $400^{\circ}C$ for 1hour due to decreasing of fluorine concentration.
In vivo and in vitro digestibility of 6 diets with a forage to concentrate ratio (F/C) ranging from 100 to 50:50 (diet 1: all hay, diet 2: 90:10, diet 3: 80:20, diet 4: 70:30, diet 5: 60:40, diet 6: 50:50) were investigated using 6 buffaloes in a $6{\times}6$ Latin square design. For the in vivo trial, the individual faeces of buffaloes were collected 3 times per day for 7 days. Individual pooled faeces and samples of each diet were analysed for chemical composition and insoluble acid ash (AIA) contents in order to estimate the coefficient of apparent digestibility (ADC). On the last day of the in vivo trial a sample of faeces was collected from each animal and used as inoculum for the in vitro test, using the gas production technique (IVGPT). The in vivo organic matter digestibility (ADC) rose as the percentage of concentrate increased up to the 70:30 (F/C) diet (67.01, 73.03, 78.06 and 79.05, respectively for diets 1, 2, 3 and 4); the other two diets (60:40 and 50:50 F/C) unexpectedly did not follow this trend (75.11 and 79.06, respectively for diet 5 and 6). However, these data agree with the results of the in vitro trial. The ADC was positively correlated with the dOM (p<0.001), but not with the gas production at different times; cumulative gas production recorded at the end of incubation (OMCV) showed an irregular trend and was not closely correlated to degraded OM. Estimation of in vivo digestibility from in vitro fermentation data was acceptable, despite leaving room for improvement.
Cuticular hydrocarbons of antenna, legs and wings from two species of honeybee worker of Apis mellifera L. and Apis cerana F. can be analyzed directly with gas chromatograph and GC/MS without solvent extraction. The saturated hydrocarbons identified in selected part of both species were nC22, nC23, nC25-nC3O, nC32 and nC34 except nC24. Two saturated hydrocarbons, nC26 (23.0-42.6%) and nC28 (16.8-54.8%), were major compounds in both species and others were minor compounds. A. mellifera can be distinguished from A. cerana F. by having higher proportion of nC30, nC32 and nC34 by having lower proportion of nC25 from three selected part of both species.
The retention behaviors of natural gas components were studied on a single column by gas chromatography. The dead time, $t_0$ was obtained by using extrapolation of homologous series to determine capacity factors. The plots of retention data for homologous series and carbon number at different temperatures were shown to converge into a single point, which point was determined as a dead time. The results of the effect of temperature on the column efficiency for n-butane exhibited the plate number, N incerased with temperature, but the resolution among the fast eluted components decreased. The adsorption enthalpy (${\Delta}H^0{_{ads}}$) for each component on 28% DC 200 stationary phase was determined, and in order to investigate the retention behaviors of natural gas components the regression analysis of log $t_R$, log k' and log ${\alpha}$ vs. van der Waals volume(Vw), molecular connectivity index(X) and hydrophobic fragmental constant(f) were carred out. Good correlation was found between log k' vs. Vw, and log k' vs. f. The correlations between the physical properties of natural gas and the physical parameters were investigated by the linear regression analysis. The relationships between Vw vs. molecular weight and heating value(${\Delta}H_{comb}$), X vs. boiling point, and f vs. molecular weight, boiling point and heating value exhibited the high correlation coefficient more than 0.99. Using the regression equation between the heating value of natural gas and Vw the predicted heating values from $C_6$ to $C_{10}$ showed good agreement with those reported in the literature within 0.2% relative error.
The gas phase identity nucleophilic substitution reactions of halide anions (X = F, Cl, Br) with cyclopentadienyl halides (1) are investigated at the B3LYP/6-311+G**, MP2/6-311+G** and G2(+)MP2 levels involving five reaction pathways: σ-attack $S_N2$, β-$S_N$2'-syn, β-$S_N$2'-anti, γ-$S_N$2'-syn and γ-$S_N$2'-anti paths. In addition, the halide exchange reactions at the saturated analogue, cyclopentyl halides (2), and the monohapto circumambulatory halide rearrangements in 1 are also studied at the same three levels of theory. In the σ-attack $S_N2$ transition state for 1 weak positive charge develops in the ring with X = F while negative charge develops with X = Cl and Br leading to a higher energy barrier with X = F but to lower energy barriers with X = Cl and Br than for the corresponding reactions of 2. The π-attack β-$S_N$2' transition states are stabilized by the strong $n_C-{\pi}^{*}_{C=C}$ charge transfer interactions, whereas the π-attack γ-$S_N$2' transition states are stabilized by the strong $n_C-{\sigma}^{*}_{C-X}$ interactions. For all types of reaction paths, the energy barriers are lower with X = F than Cl and Br due to the greater bond energy gain in the partial C-X bond formation with X = F. The β-$S_N$2' paths are favored over the γ-$S_N$2' paths only with X = F and the reverse holds with X = Cl and Br. The σ-attack $S_N2$ reaction provides the lowest energy barrier with X = Cl and Br, but that with X = F is the highest energy barrier path. Activation energies for the circumambulatory rearrangement processes are much higher (by more than 18 kcal $mol^{-1}$) than those for the corresponding $S_N2$ reaction path. Overall the gas-phase halide exchanges are predicted to proceed by the σ-attack $S_N2$ path with X = Cl and Br but by the β-$S_N$2'-anti path with X = F. The barriers to the gas-phase halide exchanges increase in the order X = F < Br < Cl, which is the same as that found for the gas-phase identity methyl transfer reactions.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
/
2012.02a
/
pp.328-329
/
2012
$SF_6$ gas는 반도체 및 디스플레이 제조공정 중 Dry etch과정에서 널리 사용되는 gas로 자연적으로 존재하는 것이 아닌 사용 목적에 맞춰 인위적으로 제조된 gas이다. 디스플레이 산업에서 $SF_6$ gas가 사용되는 Dry etch 공정은 주로 ${\alpha}$-Si, $Si_3N_4$ 등 Si계열의 박막을 etch하는데 사용된다. 이러한 Si 계열의 박막을 식각하기 위해서는 fluorine, Chlorine 등이 사용된다. fluorine계열의 gas로는 $SF_6$ gas가 대표적이다. 하지만 $SF_6$ gas는 대표적인 온실가스로 지구 온난화의 주범으로 주목받고 있다. 세계적으로 온실가스의 규제에 대한 움직임이 활발하고, 대한민국은 2020년까지 온실가스 감축목표를 '배출전망치(BAU)대비 30% 감축으로' 발표하였다. 따라서 디스플레이 및 반도체 공정에는 GWP (Global warming Potential)에 적용 가능한 대체 가스의 연구가 필요한 상황이다. 온실가스인 $SF_6$를 대체하기 위한 방법으로 GWP가 낮은 $C_3F_6$가스를 이용하여 $Si_3N_4$를 Dry etching 방법인 RIE (Reactive Ion Etching)공정을 한 후 배출되는 가스를 측정하였다. 4인치 P-type 웨이퍼 위에 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)장비를 이용하여 $Si_3N_4$를 200 nm 증착하였고, Photolithography공정을 통해 Patterning을 한 후 RIE공정을 수행하였다. RIE는 Power : 300 W, Flow rate : 30 sccm, Time : 15 min, Temperature : $15^{\circ}C$, Pressure : Open과 같은 조건으로 공정을 수행하였다. 그리고 SEM (Scanning Electron Microscope)장비를 이용하여 Etching된 단면을 관찰하여 단차를 확인하였다. 또한 Etching 전후 배출가스를 포집하여 GC-MS (Gas Chromatograph-Mass Spectrophotometry)를 측정 및 비교하였다. Etching 전의 경우에는 $N_2$, $O_2$ 등의 가스가 검출되었고, $C_3F_6$ 가스를 이용해 etching 한 후의 경우에는 $C_3F_6$ 계열의 가스가 검출되었다.
Theoretical models of reionization require that approximately 10% of the Lyman Continumm (LyC) photons escape from their host dark matter haloes and re-ionize neutral hydrogen in the Universe. However, observations of Lyman break galaxies (LBGs) at z~3 report much lower escape fractions of $f_{esc}{\sim}1%$. In an attempt to understand the discrepancy, we perform radiation-hydrodynamics simulations of isolated disk galaxies using RAMSES-RT with high resolution (maximum ~ 9 pc). We find that $f_{esc}$ is ~6% on average for the reference run ($Z=0.1Z{\odot}$), whereas the fraction decreases to ~1% in the case of metal-rich disk ($Z=1Z{\odot}$). This happens because dense metal-poor gas clumps are disrupted early due to strong Lya pressure and supernova explosions, while star particles are trapped for a longer period of time in the metal-rich environments. We also find that $f_{esc}$ is still significant (~4%) even when the amount of metal-poor gas is increased by a factor of 5. Our preliminary results suggest that the low escape fractions in LBGs may be better explained by (locally) metal-enriched gas near young stars than high gas fractions in galaxies.
반도체 에칭분야에 많이 이용되고 있는 $CF_4$, $C_{2}F_6$, $C_{3}F_8$가스들의 전자수송계수들을 볼츠만 방정식을 이용하여 해석하고자 한다. 특히 혼합가스를 이용하여 확산방전스위치에서 요구되어지는 특성을 파악하고자 할 때 시뮬레이션에 의한 적절한 혼합비 구현을 위하여 이들 순수가스들이 가지고 있는 전자충돌단면적을 해석하고, 전자이동속도와 부착계수 값을 2항과 다항근사 볼츠만 해석을 통해 $0.1{\sim}300$ Td에 걸친 광범위 표에서 해석하고자 한다.
In the $Al(OH)_3-SiO_2-AlF_3$ system, leaf-shaped fluorotopaz was first formed at $800^{\circ}C$ and mullite whisker was formed at $1,100^{\circ}C$. The mass transportation of Al and Si as gas phase, the fast reaction and growth, and the absence of liquid phase existence in mullite whisker showed that the formation and growth of mullite was from the solid-vapor reaction.
Highly sensitive and mechanically stable gas sensors have been fabricated using the microfabrication and micromaching techniques. The sensing material used to detect the offensive trimethylarnine ((CH$_{3}$)$_{3}$N) gas is 6 wt% $Al_{2}$O$_{3}$-doped, 1000.angs.-thick ZnO deposited by r. f. magnetron sputtering. The optimum operating temperature of the sensor is 350.deg.C and the corresponding heater power is about 85mW. Excellent thermal insulation is achieved by the use of a double-layer structure of 0.2.mu.m -thick silicon nitride and 1.4.mu.m-thick phosphosilicate glass(PSG) prepared by low pressure chemical vapor deposition(LPCVD) and atmospheric pressure chemical vapor deposition(APCVD), respectively. The sensors are mechanically stable enough to endure at least 43, 200 heat cycles between room temperature and 350.deg. C.
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.