Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.02a
- /
- Pages.328-329
- /
- 2012
RIE에서 $C_3F_6$ 가스를 이용한 $Si_3N_4$ 식각공정 개발
- Jeon, Seong-Chan ;
-
Gong, Dae-Yeong
;
-
Jeong, Dong-Geon
;
-
Choe, Ho-Yun
;
-
Kim, Bong-Hwan
;
-
Jo, Chan-Seop
;
-
Lee, Jong-Hyeon
- 전성찬 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
-
공대영
(경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
-
정동건
(경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
-
최호윤
(원익머트리얼즈(주)) ;
-
김봉환
(대구가톨릭대학교 전자공학과) ;
-
조찬섭
(경북대학교 산업전자전기공학부) ;
-
이종현
(경북대학교 전자전기컴퓨터학부)
- Published : 2012.02.08
Abstract