$CH_4$ 와 $N_2$ 가스 혼합비에 따른 a-C:H:N 박막의 물성 연구
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 1998년도 제14회 학술발표회 논문개요집
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- pp.94-94
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- 1998