$CH_4$ /Ar 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 식각특성 연구
(The etch characteristics of TiN thin films using in $CH_4$ /Ar plasma)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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- pp.247-248
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- 2008