This study is aimed at preparing and evaluating the plasma resistance of YAS (Y2O3-Al2O3-SiO2) coating layer with crystalline YAG phase contents. For this purpose, YAS frits with controlled phase contents are prepared and melt-coated on sintered Al2O3 ceramics. Then, the results of phase analysis of crystalline YAS coating layer are compared to that of YAS frits, and discussed with regard to the plasma resistance of the YAS coating layer. The phase contents of the YAS frit change in a manner different from that of the prepared YAS coating layer, presumably owing to the composition change of YAS frit during the melt-coating process. The plasma resistance of the YAS coating layer is shown to increase with the YAG phase contents in the coating layer. Comparing the weight loss of YAS coating layer with those of commercial Y2O3, Al2O3, and quartz ceramics, the plasma resistance of the prepared YAS coating layer is 8 times higher than that of quartz and 3 times higher than that of Al2O3; this layer shows 70 % of the resistance of Y2O3.
Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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2003.12a
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pp.42-44
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2003
최근 logic 소자의 gate oxide로 기존의 $SiO_2$, SiON보다 고유전, 작은 누설전류를 가지는 물질의 개발이 중요한 이슈가 되고 있다. 본 실험실에서는 Si 기판위에 $HfO_2$ 를 바로 증착하는 경우, 기판의 Si 이박막내로 확산하여 유전율이 저하되는 문제점을 인식하고, 기판과 $HfO_2$ 사이에 $AlO_x$를 방지막으로 사용하였다. 이 때, $AlO_x$의 Al precursor 는 TMA 로 고정하고, 산화제로는 $H_2O, O_2$-plasma, O_3$ 를 각각 사용하였다. 모든 $AlO_x/HfO_y$ 박막에서 매우 우수한 누설전류특성을 얻을 수 있었는데, 특히 $O_3$ 를 산화제로 사용한 $AlO_x$ 방지막의 경우 가장 우수한 특성을 보였다. 또한 질소 분위기에서 $800^{\circ}C$ 10 분간 열처리한 후, 방지막을 사용한 모든 경우에서 보다 향상된 열적 안정성을 관찰할 수 있었다.
$(Ba_{0.6-x}Sr_{0.4}Ca_x)TiO_3+yAl_2O_3$ wt% (x=0.10, 0.15, 0.20, y=0.5 $\sim$ 3.0) specimens were fabricated by the mixed-oxide method and then the structural properties as a function of the composition ratio and $Al_2O_3$ contents were studied. All BSCT specimens showed dense and homogeneous structure without the presence of the seconds phase. The sintered density was decreased with increase ad $Al_2O_3$ content. The Curie temperature and dielectric constant at room temperature decreased with increasing $Al_2O_3$ content. The dielectric constant and dielectric loss of the doped-0.5 wt% $Al_2O_3$ BSCT(50/40/10) specimen were about 3131 and 0.932% at 1KHz, respectively.
A variety of metal oxides were coated by sol-gel process from their metal alkoxides on the ribbons of Co-based and Fe-based amorphous alloys, and the effects of surface oxide coating on the magnetic properties of the alloy are investigated. The core loss is found to be reduced significantly by the oxide coating, the loss reduction becoming more prominent at higher frequencies. The shape of the hystersis loop is also dependent upon the kind of the coated metal oxide. The coatings of MgO, SiO2, MgO·SiO2 and MgO·Al2O3 induce tensile stress into the Fe-based ribbon whereas those of BaO, Al2O3, CaO·Al2O3, SrO·Al2O3 and BaO·Al2O3 induce compressive stress. These results may be explained by the modification of domain structures via magnetoelastic interactions with the shrinkage stress induced by the sol-gel coating.
Proceedings of the Korean Powder Metallurgy Institute Conference
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2006.09a
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pp.543-544
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2006
The effect of the additives, $Y_2O_3$ and MgO, on the sintering and properties of $Al_2O_3-TiC$ composites was investigated. It is known that MgO is used as additive for improving densification and $Y_2O_3$ is applied as sintering aid. In this study, the amounts of TiC were varied in the range of 30-47 wt%. The 0.5 wt% MgO and also varied amounts of $Y_2O_3$ from 0.3 to 1 wt% were added into the composites. The sintering of $Al_2O_3-TiC$ composites was performed in a graphite-heating element furnace at different sintering temperature, 1700 and $1900\;^{\circ}C$, for 2 hr under an argon atmosphere. The results demonstrated that the properties of the composites sintered at $1700\;^{\circ}C$ were much better than those sintered at $1900\;^{\circ}C$. The comparisons on physical properties, mechanical properties and microstructure of composites with and without additives were reported. Comparing with other samples, $Al_2O_3-30wt%TiC$ composites with 0.5wt% MgO and $1\;wt%Y_2O_3$ exhibited the highest density of approximately 98% of theoretical and flexural strength of 302 MPa.
Self propagating synthesis and thermal explosion of combustion reactions were applied to Al/K2Cr2O7/Al2O3 system as the first stage for a production of magnesia-chromium refractory. Several factors related to products made by two combustion reactions were considered and properties of products were characterised. Two processes were required to preheat upto at least 80$0^{\circ}C$ for the thermal explosion and the self propagating synthesis. These processes were so violent and explosive that alumina as diluent was added to the system in order to absorb the reaction heat and reduce the reaction rate. The products consisted of crystal phases of KAl5O8, Cr2O3, Al2O3, K2CrO4, and K2Al2O4.3H2O. The amount of KAl5O8 and K2Al2O4.3H2O crystal phases of products were decreased with further addition of alumina.
In chemical-looping combustion, pure oxygen is transferred to fuel by solid particles called as oxygen carrier. Chemical-looping combustion process usually utilizes a circulating fluidized-bed process for fuel combustion and regeneration of the reduced oxygen carrier. The performance of an oxygen carrier varies with the active metal oxide and the raw support materials used. In this work, spraydried Mn-based oxygen carriers were prepared with different raw support materials and their physical properties and oxygen transfer performance were investigated to determine that the raw support materials used are suitable for spray-dried manganese oxide oxygen carrier. Oxygen carriers composed of 70 wt% $Mn_3O_4$ and 30 wt% support were produced using spray dryer. Two different types of $Al_2O_3$, ${\gamma}-Al_2O_3$ and ${\alpha}-Al_2O_3$, and $MgAl_2O_4$ were applied as starting raw support materials. The oxygen carrier prepared from ${\gamma}-Al_2O_3$ showed high mechanical strength stronger than commercial fluidization catalytic cracking catalyst at calcination temperatures below $1100^{\circ}C$, while the ones prepared from ${\alpha}-Al_2O_3$ and $MgAl_2O_4$ required higher calcination temperatures. Oxygen transfer capacity of the oxygen carrier prepared from ${\gamma}-Al_2O_3$ was less than 3 wt%. In comparison, oxygen carriers prepared from ${\alpha}-Al_2O_3$ and $MgAl_2O_4$ showed higher oxygen transfer capacity, around 3.4 and 4.4 wt%, respectively. Among the prepared Mn-based oxygen carriers, the one made from $MgAl_2O_4$ showed superior oxygen transfer performance in the chemical-looping combustion of $CH_4$, $H_2$, and CO. However, it required a high calcination temperature of $1400^{\circ}C$ to obtain strong mechnical strength. Therefore, further study to develop new support compositions is required to lower the calcination temperature without decline in the oxygen transfer performance.
$Al_2O_3$-copper alloy has been successfully made by gas atomization, mechanical alloying and hot pressing. In order to investigate microstructure and phase, it has been studied by using scanning electron microscope, transmission electron microscope and X-ray diffractometor. Mechanical properties have been examined using hardness tester and compressive tester according to annealing temperature. Although comparatively large Cu-Al powders are milled, the reaction between Cu-Al and $Cu_2O$ occurs and very fine $Al_2O_3$ particles in the matrix particles (5-10nm) are obtained. Compressive strength of this alloy is more than that of GlidCop Al60.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2003.11a
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pp.267-270
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2003
We have studied the interfacial diffusion phenomena and the role of ${\alpha}-Al_2O_3$ buffer layer as a diffusion barrier in the $Ba-ferrite/SiO_2$ magnetic thin films for high-density recording media. In the interface of amorphous Ba-ferrite ($1900-{\AA}-thick)/SiO_2$ thin film during annealing, the interfacial diffusion started to occur at ${\sim}700^{\circ}C$. As the annealing temperature increased up to $800^{\circ}C$, the interfacial diffusion abruptly proceeded resulting in the high interface roughness and the deterioration of the magnetic properties. In order to control the interfacial diffusion at the high temperature, we introduced ${\alpha}-Al_2O_3$ buffer layer ($110-{\AA}-thick$) in the interface of $Ba-ferrite/SiO_2$ thin film. During the annealing of $Ba-ferrite/{\alpha}-Al_2O_3/SiO_2$ thin film even at ${\sim}800^{\circ}C$, the interface was very smooth. The smooth interface of the film was also clearly shown by the cross-sectional FESEM. The magnetic properties, such as saturation magnetization 3nd intrinsic coercivity, were also enhanced, due to the inhibition of interfacial diffusion by the ${\alpha}-Al_2O_3$ buffer layer. Our study suggests that the ${\alpha}-Al_2O_3$ buffer layer act as a useful interfacial diffusion barrier in the $Ba-ferrite/SiO_2$ thin films.
In this study, nano-crystallized $Al_2O_3$ was coated on the surface of $LiFePO_4$ powders via a novel dry coating method. The influence of coated $LiFePO_4$ upon electrochemical behavior was discussed. Surface morphology characterization was achieved by transmission electron microscopy (TEM), clearly showing nano-crystallized $Al_2O_3$ on $LiFePO_4$ surfaces. Furthermore, it revealed that the $Al_2O_3$-coated $LiFePO_4$ cathode exhibited a distinct surface morphology. It was also found that the $Al_2O_3$ coating reduces capacity fading especially at high charge/discharge rates. Results from the cyclic voltammogram measurements (2.5-4.2 V) showed a significant decrease in both interfacial resistance and cathode polarization. This behavior implies that $Al_2O_3$ can prevent structural change of $LiFePO_4$ or reaction with the electrolyte on cycling. In addition, the $Al_2O_3$ coated $LiFePO_4$ compound showed highly improved area-specific impedance (ASI), an important measure of battery performance. From the correlation between these characteristics of bare and coated $LiFePO_4$, the role of $Al_2O_3$ coating played on the electrochemical performance of $LiFePO_4$ was probed.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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