• 제목/요약/키워드: ${\mu}CM$

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0.65Pb(Zr1-xTix)O3-0.35Pb(Zn1/6Ni1/6Nb2/3)O3 세라믹의 압전 특성 및 압전 에너지 하베스터 적용 (Piezoelectric Properties of 0.65Pb(Zr1-xTix)O3-0.35Pb(Zn1/6Ni1/6Nb2/3)O3 Ceramics and Their Application to Piezoelectric Energy Harvester)

  • 조소라;김대수;조유리;손신중;강형원;남산;한승호
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제31권4호
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    • pp.216-220
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    • 2018
  • The piezoelectric properties of $0.65Pb(Zr_{1-x}Ti_x)O_3-0.35Pb(Zn_{1/6}Ni_{1/6}Nb_{2/3})O_3$ ($PZT_x-PZNN$) ceramics with $0.530{\leq}x{\leq}0.555$ were investigated for application to piezoelectric energy harvesters. Although a morphotropic phase boundary (MPB) was found at approximately x = 0.545, the ceramic with the highest figure of merit (FOM) ($d_{33}{\times}g_{33}$) was observed at a composition of x = 0.540. Values of this figure of merit, $d_{33}{\times}g_{33}$, of $19.6pm^2/N$ and $20.2pm^2/N$ were obtained from $PZT_{0.540}-PZNN$ ceramics sintered at $920^{\circ}C$ and $950^{\circ}C$, respectively. A high output power of $937{\mu}W$ and a high power density of $3.3mW/cm^3$ were obtained from unimorph-type piezoelectric energy harvesters fabricated using $PZT_{0.540}-PZNN$ ceramic sintered at $920^{\circ}C$ for 4h.

병풀(Centella asiatica) 엑스-베타시클로덱스트린 고체 분산체를 함유한 폴록사머 407 히드로겔 제조 및 피부투과 (Preparation and Skin Permeation of Poloxamer 407 Hydrogel with Extract of Centella $asiatica-{\beta}-Cyclodextrin$ Solid Dispersion System)

  • 김경국;곽은선;이계원;박진규;박목순;지웅길
    • Journal of Pharmaceutical Investigation
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    • 제28권1호
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    • pp.15-23
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    • 1998
  • Extract of Centella asiatica(ECA), which is poorly water-soluble extract from the Centella asiatica is known to express excellent wound healing properties. $ECA-{\beta}-cyclodextrin$ $(asiaticoside-{\beta}-cyclodextrin\;and\;genin-{\beta}-cyc1odextrin)$ solid dispersion system, which was prepared by freezedrying method, was formulated as gels containing poloxamer 407 and propylene glycol, and evaluated with respect to their viscosity, stability, skin permeation and drug amount in the skin of hairless mouse. The average molar ratio $asiaticoside-{\beta}-CD$ and $genin-{\beta}-CD$ was 1:1.7 and 1:22, respectively. When the molar ratio of genin and ${\beta}-CD$ was 1:5, madecassic acid made 100% solid dispersion system and asiatic acid about 65%. In dissolution study, >99% of asiaticoside from $asiaticoside-{\beta}-CD$ was dissolved in 5 minutes, and >99% madecassic acid and >64% asiatic acid from $genin-{\beta}-CD$. The apparent viscosity of poloxamer 407 gels with $ECA-{\beta}-CD$ solid dispersion system increased in proportion to poloxamer 407 and propylene glycol concentration. In the accelerated stability test, all $ECA-{\beta}-CD$ poloxamer 407 gels showed that asiaticoside was most stable and madecassic acid stable and asiatic acid similar to stability of gel with free ECA. The permeation amount of asiaticoside in poloxamer gels through hairless mouse skin decreased as the concentration of poloxamer 407 increased. When propylene glycol was added at the level of 10%, the permeation amount of asiaticoside at poloxamer gels through hairless mouse skin increased but from 15% it decreased. The permeation of asiaticoside into the skin of hairless mouse was estimated to be about $0.10\;{\mu}g/cm^2$.

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하계 독도연안의 수심별 수환경과 식물플랑크톤의 종조성 변화 (Water Environments and Species Compositions of Phytoplankton at the Depths during Summer in the Coast of Dokdo, Korea)

  • 김미경;박정원
    • 환경생물
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    • 제27권1호
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    • pp.48-57
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    • 2009
  • The characteristics of physico-chemical factors and the species compositions of phytoplankton were investigated to analyze the marine ecosystem at the depths during summer in the coast of Dokdo (stations DOK1$\sim$3). The mean values of conductivity (32 mS cm$^{-1}$), total dissolved solids (45 mg L$^{-1}$), salinity (35.5 psu), total suspended solids (39 mg L$^{-1}$) were the highest in DOK1. The biomass (chl-${\alpha}$) of phytoplankton was the highest in the surface of station DOK1 (3.1 ${\mu}g$ L$^{-1}$). By means of physico-chemical factors (salinity, turbidity, chl-${\alpha}$, T-N, T-P and Si), the coast of Dokdo was estimated to be more polluted than the previous results in 2000. A total of 72 species in Dokdo were composed of 54 species (76.1%) for Bacillariophyceae and 13 species (18.3%) for Dinophyceae, 3 species (4.2%) for Chrysophyceae and 1 species (1.4%) for Cyanophyceae. The standing crops of phytoplankton were the highest (8.5 $\times$ 10$^4$ cells L$^{-1}$) at 20 m of station DOK1, while they were the lowest (1.65 $\times$ 10$^4$ cells L$^{-1}$) at 30 m of station 1. The dominance index was maximum (0.73) at 10 m of station DOK1 and was minimum (0.4) at 30 m of station 1. The diversity index was the highest (2.92) in the surface of station 2, while it was the lowest at 20 m (1.58). The dominant species of phytoplankton were Chaetoceros affinis (3.3 $\times$ 10$^4$ cells L$^{-1}$) at 20 m, Climacosphenia moniligera (2.8 $\times$ 10$^4$ cells L$^{-1}$) at 40 m and Melosira juergensii (1.7 $\times$ 10$^4$ cells L$^{-1}$) at 10 m of station DOK1. At the surface of station DOK2, the dominant species were Bacillaria paxillifer and Richelia intracellularis (1.4 $\times$ 10$^4$ cells L$^{-1}$, respectively), while it was Paralia sulcata (1.6 $\times$ 10$^4$ cells L$^{-1}$) at the surface of station DOK3. The station DOKl, where affected by upwelling, turbulence and convection due to the East Korean Warm Current, was the most eutrophicated water body in three stations. The monitoring of marine ecosystem in the coast of Dokdo should be continued to show the alternatives for water and species conservation and to purify the eutrophicated water body due to artificial pollutants as well as physico-chemical factors by the global warming, the climatic change, CO$_2$ etc.

제주도내 하천의 부착규조 군집 (Epilithic Diatom Communities in Streams of Jeju Island)

  • 정명화;조현진;윤정하;이학영
    • 환경생물
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    • 제32권1호
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    • pp.16-25
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    • 2014
  • 본 연구는 제주도내 위치하는 상시 유수가 흐르는 6개의 하천을 선정하여 이화학적 요인과 부착 규조류 군집의 분포를, 2008년에서 2012년까지 연 2회 조사하였다. BOD는 0.0~1.6 mg $L^{-1}$의 범위로 높은 수질 상태를 나타냈으며, TN, $NH_3-N$, $NO_3-N$, TP와 $PO_4-P$는 각각 평균 4.432 mg $L^{-1}$, 0.069 mg $L^{-1}$, 3.822 mg $L^{-1}$, 0.092 mg $L^{-1}$, 0.071 mg $L^{-1}$으로 비교적 높은 영양염의 농도를 나타냈다. 조사기간 동안 출현한 부착 규조류는 총 171종으로 2목 4아목 10과 28속 150종 17변종 2품종 2아종으로 구성되어 있었으며, 주요 우점종은 광적응성종인 Achnan-thes lanceolata, Melosira varians, 호청수성종인 Gomphonema pumilum, 호오탁성종인 Navicula minima, Nitzschia palea 등으로 나타났다. DAIpo와 TDI를 이용한 생물학적 수질 평가에서는 각각 평균 56.0 (보통, C등급), 70.4 (불량, D등급)으로 제주도내 하천의 수생태건강성은 낮은 것으로 나타났다.

함평만 갯벌 저서규조류의 다양성과 생물량 (Diversity and Biomass of Benthic Diatoms in Hampyeong Bay Tidal Flats)

  • 이학영
    • 환경생물
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    • 제31권4호
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    • pp.295-301
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    • 2013
  • 함평만 갯벌에서 2005년부터 2013년까지의 조사를 통해 동정된 저서규조류 중 가장 우점도가 높은 종은 Paralia sulcata였으며 연간 40종에서 77종의 범위로 동정되었다. 조사가 이루어진 8년 동안 출현종의 분석에서 완만하지만 지속적으로 다양도가 감소하는 경향을 나타냈다. 조사시기에 따른 출현종 분포에서는 전 지점에서 5월과 7월에 비교적 다양했고 3월에 종조성이 가장 단순한 것으로 나타났으나, 유의성이 없는 것으로 분석되었다. 표층 퇴적물의 연 평균 엽록소 a 농도는 21~65 mg $m^{-2}$이었으며 2006년 이후 지속적으로 감소하는 경향을 나타내다가 2011년에는 세 지점 모두에서 일시 증가한 후 다시 감소하는 것으로 나타났다. 계절 분포에서는 봄철에 가장 높고 여름에서 가을로 접어드는 시점에 가장 낮은 것으로 나타났다. 단위면적당 출현 개체수도 세 지점 모두에서 점진적으로 감소하는 경향을 나타냈고, 생물량도 감소하는 경향을 보여주었다. 온도에 따른 저서규조류 출현종수 $Y=-0.0208X^2+0.5264X+19.529(r^2=0.0269)$의 식으로 표현되어 최고의 종 다양도는 $15^{\circ}C$에서 23.1종인 것으로 나타났고, 저서규조류 생물량 $Y=-0.9181X^2+27.011X+310.07(r^2=0.0797)$의 식으로 표현되어 최고의 생물량은 $15^{\circ}C$에서 502.38 ${\mu}m^3cm^{-2}$인 것으로 나타났다.

Halogen-Free 난연제를 포함하는 파우더 코팅소재 제조 및 화재안전성 연구 (A Study on the Preparation of Powder Coatings Containing Halogen-Free Flame Retardant and Fire Safety)

  • 이순홍;정화영;김대인;노태준
    • 한국안전학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.47-58
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    • 2011
  • Halogen free intumescent flame retardants(IFRS), such as the mixture of melamine phosphate(MP) and char forming agents(pentaerythritol(PER), di-pentaerythritol(DiPER), tris(2-hydroxyethyl) isocyanurate(THEIC)), were prepared and characterized. Polypropylene(PP)/$IFR_S$ composites were also prepared in the presence of ethylene diamine phosphate(EDAP) as a synergist and used into flame retardant PP powder coatings. Thermoplastic PP powder coatings at 20 wt% flame retardant loading were manufactured by extruded and then mechanical cryogenic crushed to bring them in fine powder form. These intumescent flame retardant powder coatings($IFRPC_S$) were applied on mild steel surface for the purpose of protection and decorative. It is a process in which a $IFRPC_S$ particles coming in contact with the preheated mild steel surface melt and form a thin coating layer. The obtained MP flame retardant was analyzed by utilizing FTIR, solid-state $^{31}P$ NMR, ICP, EA and PSA. The mechanical properties as tensile strength, melt flow index(MFI) and the thermal property as TGA/DTA and the fire safety characteristics as limiting oxygen index(LOI), UL94 test, SEM were used to investigate the effect of $IFRPC_S$. The experimental results show that the presence of $IFR_S$ considerably enhanced the fire retardant performances as evidenced by the increase of LOI values 17.3 vol% and 32.6 vol% for original PP and $IFRPC_S$-3(PP/MP-DiPER/EDAP), respectively, and a reduction in total flaming combustion time(under 15 sec) in UL94 test of $IFRPC_S$. The prepared $IFRPC_S$-3 have good comprehensive properties with fire retardancy 3.2 mm UL94 V-0 level, LOI value 32.6%, tensile strength $247.3kg/cm^2$, surface roughness Ra $0.78{\mu}m$, showing a better application prospect. Through $IFRPC_S$-2(PP/MP-PER/EDAP) and $IFRPC_S$-3 a better flame retardancy than that of the $IFRPC_S$-1(PP/MP/EDAP) was investigated which was responsible for the formed more dense and compact char layer, improved synergy effect of MP and PER/DiPER.

소결한 $(Bi_xLa_{1-x})Ti_3O_{12}$ 강유전체에서 조성 및 첨가물질에 따른 미세구조 및 전기적 특성 평가

  • 김영민;강일;류성림;권순용;장건익
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.279-279
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    • 2007
  • 비휘발성 메모리 Fe-RAM은 빠른 정보처리 속도와 전원공급이 차단되었을 때도 계속 정보를 유지할 수 있는 비휘발성 특징과 더불어 저전압, 저전력 구동의 장점이 있어서, 차세대 메모리로 많은 주목을 받고 있다. FeRAM에 사용되는 강유전체는 주로 Pb(Zr,Ti)$O_3$가 적용되었는데, 최근에는 비납계 강유전체의 연구도 활발히 이루어지고 있다. 이러한 비납계 강유전체 중에서 가장 특성이 우수한 물질은 $(Bi,La)_4Ti_3O_{12}$ (BLT) 이다. 그런데 BLT는 결정 방향에 따른 강한 이방성의 강유전 특성을 나타내기 때문에 BLT 박막을 이용하여 Fe-RAM 소자 등을 제작하기 위해서는 결정의 방향성을 세심하게 제어하는 것이 매우 중요하다. 지금까지 연구된 BLT 박막의 방향성 조절결과를 보면, BLT 박막을 스핀 코팅 법 (spin coating method)으로 증착하고, 핵생성 열처리 단계를 조절하여 무작위 방향성을 갖는 박막을 제조하는 방법이 일반적이었다. 그런데 이러한 스핀 코팅법에서의 핵생성 단계의 제어는 공정 조건 확보가 너무 어려운 단점이 있다. 이러한 어려움을 극복할 수 있는 대안은 스퍼터링 증착법(sputtering deposition method), PLD (pulsed laser deposition)법 등과 같은 PVD (physical vapor deposition) 법의 증착방법을 적용하는 것이다. PVD 법으로 증착하는 경우에는 이미 박막 내에 무수한 결정핵이 존재하기 때문에 핵생성 단계가 필요가 없게 된다. PVD 증착법의 적용을 위해서는 타겟의 제조 및 평가 실험이 선행되어야 한다. 그런데 벌크 BLT 재료의 소결공정 조건과 전기적 특성에 관한 연구 결과는 거의 발표가 되지 않고 있다. 본 실험에서는 $Bi_2O_3,\;TiO_2,\;La_2O_3,\;Nb_2O_5\;and\;Al_2O_3$ 분말들을 이용하여 최적의 조성을 구하기 위하여 $Nb^{+5}$$Al^{+3}$$Ti^{+4}$ 자리에 소량 치환시켜 제조하였다. 혼합된 분말을 하소 후 pellet 형태로 성형하여 소결을 실시하였다. 시편을 1mm 두께로 연마하고, 양면에 silver 전극을 인쇄하여 전기적 특성을 측정하였다. 측정결과 $Ti^{+4}$ 자리에 $Nb^{+5}$를 치환하여 제조한 시편에서 $2P_r{\sim}31\;{\mu}c/cm^2$정도의 매우 우수한 특성을 얻었다.

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가든식물 수호초(Pachysandra terminalis)로부터 Paraconiothyrium brasiliense의 분리 및 동정 (Identification and Characterization of Paraconiothyrium brasiliense from Garden Plant Pachysandra terminalis)

  • 최민아;박승준;안금란;김성환
    • 한국균학회지
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    • 제42권4호
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    • pp.262-268
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    • 2014
  • 수호초로부터 분리된 DUCC5000 균주를 형태적, 분자생물학적 분류를 통해 Paraconiothyrium brasiliense로 동정하였다. 본 균은 기존에 알려진 P. brasiliense 균주의 ITS 염기서열과 100%의 상동성을 보였다. 계통유전학적 분석 결과 P. brasiliense 균주와 같은 clade를 형성하였다. 서로 다른 영양 배지와 pH 조건 하에서 균사생육 특성을 조사한 결과 oatmeal agar 배지와 pH 9에서 최적의 생장을 보였다. 배지 종류에 따라 그리고 pH 조건에 따라 균총 형태가 달라지는 특성을 지니고 있었다. Chroma 반응배지를 이용하여 7가지 세포외 효소의 분비 능력을 조사한 결과 ${\beta}$-glucosidase 활성이 가장 활발하였고 CM-cellulase와 xylerase에서는 활성이 미약하였다. 인공 접종하였으나 수호초에 대한 병원성은 나타내지 않았다. 본 균은 수호초에서는 국제적으로 처음 보고되는 균이다.

CMOS 소자 응용을 위한 Plasma doping과 Silicide 형성

  • 최장훈;도승우;서영호;이용현
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.456-456
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    • 2010
  • CMOS 소자가 서브마이크론($0.1\;{\mu}m$) 이하로 스케일다운 되면서 단채널 효과(short channel effect), 게이트 산화막(gate oxide)의 누설전류(leakage current)의 증가와 높은 직렬저항(series resistance) 등의 문제가 발생한다. CMOS 소자의 구동전류(drive current)를 높이고, 단채널 효과를 줄이기 위한 가장 효율적인 방법은 소스 및 드레인의 얕은 접합(shallow junction) 형성과 직렬 저항을 줄이는 것이다. 플라즈마 도핑 방법은 플라즈마 밀도 컨트롤, 주입 바이어스 전압 조절 등을 통해 저 에너지 이온주입법보다 기판 손상 및 표면 결함의 생성을 억제하면서 고농도로 얕은 접합을 형성할 수 있다. 그리고 얕은 접합을 형성하기 위해 주입된 불순물의 활성화와 확산을 위해 후속 열처리 공정은 높은 온도에서 짧은 시간 열처리하여 불순물 물질의 활성화를 높여주면서 열처리로 인한 접합 깊이를 얕게 해야 한다. 그러나 접합의 깊이가 줄어듦에 따라서 소스 및 드레인의 표면 저항(sheet resistance)과 접촉저항(contact resistance)이 급격하게 증가하는 문제점이 있다. 이러한 표면저항과 접촉저항을 줄이기 위한 방안으로 실리사이드 박막(silicide thin film)을 형성하는 방법이 사용되고 있다. 본 논문에서는 (100) p-type 웨이퍼 He(90 %) 가스로 희석된 $PH_3$(10 %) 가스를 사용하여 플라즈마 도핑을 실시하였다. 10 mTorr의 압력에서 200 W RF 파워를 인가하여 플라즈마를 생성하였고 도핑은 바이어스 전압 -1 kV에서 60 초 동안 실시하였다. 얕은 접합을 형성하기 위한 불순물의 활성화는 ArF(193 nm) excimer laser를 통해 $460\;mJ/cm^2$의 에니지로 열처리를 실시하였다. 그리고 낮은 접촉비저항과 표면저항을 얻기 위해 metal sputter를 통해 TiN/Ti를 $800/400\;{\AA}$ 증착하고 metal RTP를 사용하여 실리사이드 형성 온도를 $650{\sim}800^{\circ}C$까지 60 초 동안 열처리를 실시하여 $TiSi_2$ 박막을 형성하였다. 그리고 $TiSi_2$의 두께를 측정하기 위해 TEM(Transmission Electron Microscopy)을 측정하였다. 화학적 결합상태를 분석하기 위해 XPS(X-ray photoelectronic)와 XRD(X-ray diffraction)를 측정하였다. 접촉비저항, 접촉저항과 표면저항을 분석하기 위해 TLM(Transfer Length Method) 패턴을 제작하여 I-V 특성을 측정하였다. TEM 측정결과 $TiSi_2$의 두께는 약 $580{\AA}$ 정도이고 morphology는 안정적이고 실리사이드 집괴 현상은 발견되지 않았다. XPS와 XRD 분석결과 실리사이드 형성 온도가 $700^{\circ}C$에서 C54 형태의 $TiSi_2$ 박막이 형성되었고 가장 낮은 접촉비저항과 접촉저항 값을 가진다.

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Terahertz Generation and Detection Using InGaAs/InAlAs Multi Quantum Well

  • 박동우;한임식;노삼규;지영빈;오승재;서진석;전태인;김진수;김종수
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.205-205
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    • 2013
  • 테라헤르쯔(terahertz: THz)파는 0.1~10 THz 의 범위로 적외선과 방송파 사이에 광대역 주파수 스펙트럼을 차지하고 있으며 직진성, 투과성, 그리고 낮은 에너지 (meV)를 가지고 있어 비 파괴적이고 무해한 장점을 지니고 있다. Ti:sapphire laser와 같은 femto-pulse source 등이 많은 발전이 되어 현재 많은 연구와 발전이 이루어지고 있다. femto-pulse source를 이용한 THz 응용에서는 높은 저항, 큰 전자 이동도, 그리고 아주 짧은 전하수명의 기판을 요구하는데 저온에서 성장한 (low-temperature grown : LT) GaAs는 격자 내에 Gallium 자리에 Arsenic이 치환 하면서 AsGa antisite가 발생하여 전하수명을 짧아지는 것을 응용하여 가장 많이 이용되고 있다. 현재 THz 응용분야에서 보다 작고 가격경쟁력이 있는 광통신을 이용한 THz photomixer등이 활발히 연구 하고 있다. 광섬유 내에서 손실과 분산이 최소값을 가지는 부분이 1.55 ${\mu}m$ 부근이고 In0.53Ga0.47As 기판을 이용하였을 때 여기에 완벽하게 만족하게 된다. 하지만 LT-InGaAs 의 경우 AsGa antisite로 인하여 carrier lifetime은 짧아지지만 높은 n-type 전하밀도를 가지게 된다. 이때 Be을 doping하여 전하밀도를 보상하여 높은 저항을 유지해야 하는데 Be의 활성화를 위해서는 열처리를 필요로 한다. 하지만 열처리를 하면 carrier lifetime이 길어지기 때문에 carrier lifetime과 저항을 적절히 조율해야 한다. 이는 물질자체의 특성이기 때문에 InGaAs는 GaAs보다 낮은 amplitude와 짧은 cut-off frequency를 가진다. 본 연구에서는 보다 높은 저항을 얻기 위하여 molecular beam epitaxy를 이용하여 semi-insulating InP:Fe 기판위에 격자 정합된 InGaAs:Be/InAlAs multi quantum well (MQW)를 온도별 ($250{\sim}400^{\circ}C$), 주기별 (50~150)로 성장을 하였고 이때 InGaAs layer의 Be doping level은 $2{\times}1018\;cm^{-3}$, Ex-situ annealing은 $550^{\circ}C$에서 10분으로 고정 하였다. THz 발생 실험에서는 InGaAs/InAlAs MQW은 4000 pA로 1,000 pA를 가지는 InGaAs epilayer보다 4배 높은 전류 신호를 얻을 수 있었고 모든 샘플이 2 THz에서 cut-off frequency를 가지고 있었다. THz 검출 실험에서는 LT-InGaAs:Be epilayer LT-InGaAs:Be/InAlAs, HT-InGaAs/InAlAs 샘플이 각각 180, 9000, 12000 pA의 전류신호를 가지고 있었고 모든 샘플이 2 THz에서 cut-off frequency를 가지고 있었다. HT-InGaAs/InAlAs MQW를 이용한 검출실험에서는 InGaAs layer가 defect free이지만 LT-InGaAs:Be/ InAlAs MQW 보다 높은 전류 신호를 얻을 수 있었다. 이는 InAlAs layer가 저항만 높이는 것뿐만 아니라 carrier trapping layer로써의 역할도 하는 것으로 사료된다.

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