• Title/Summary/Keyword: ${\alpha}$(X)

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The Structures of Alditol Acetates (Alditol Acetates의 분자구조)

  • Park, Yeong Ja;Park, Myeong Hui;Sin, Jeong Mi
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.34 no.6
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    • pp.517-526
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    • 1990
  • The crystal structures of two alditol acetates, D-glucitol hexaacetate and xylitol pentaacetate, have been determined by diffraction methods with Mo-K$\alpha$radiation, using direct methods for phase determinations. The crystal data are: for D-glucitol hexaacetate, P2$_1$, with a = 10.275 (2), b = 8.363 (1), c = 12.560 (5) $\AA;\beta$ = 95.97 $(2)^{\circ}$, Z = 2; for xylitol pentaacetate, P2$_1$/C with a = 18.126 (1), b = 11.422 (2), c = 8.649 (1) $\AA$, $\beta = 95.03 (1)^{\circ}$, Z = 4. Both molecules have extended zigzag carbon chain conformations which differ from previous studies of the structures of D-glucitol and xylitol and also differ from NMR studies on alditol acetates. The bond lengths and angles are normal, with mean values over both structures of C($sp^3)-C(sp^3): 1.514 (10),\; C(sp^3)-O: 1.444 (6),\; C(sp^2)-O: 1.347 (9),\; C(sp^2)=O: 1.197 (6),\; C(sp^2)-C(sp^3): 1.479(9){\AA},\; C(sp^3)-C(sp^3)-C(sp^3): 114.6 (17),\; O-C(sp^3)-C(sp^3): 109.4 (23),\; C(sp^2)-O-C(sp^3): 117.4 (6),\; O=C(sp^2)-O: 122.6 (6),\; C(sp^3)-C(sp^2)-O: 111.8 (7),\; C(sp^3)-C(sp^2)=O: 125.5 (4)^{\circ}$. The atoms of acetate groups are in coplanar. There are no particularly short intermolecular contacts and the molecules are held together by van der Waals force only.

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Single-crystal Structure of Partially Dehydrated Partially Mg2+-exchanged Zeolite Y (FAU), |Mg30.5Na14(H2O)2.5|[Si117Al75O384]-FAU

  • Kim, Hu-Sik;Ko, Seong-Oon;Lim, Woo-Taik
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • v.32 no.10
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    • pp.3696-3701
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    • 2011
  • The single-crystal structure of partially dehydrated partially $Mg^{2+}$-exchanged zeolite Y, ${\mid}Mg{30.5}Na_{14}(H_2O)_{2.5}{\mid}$ [$Si_{117}Al_{75}O_{384}$]-FAU per unit cell, ${\alpha}$ = 25.5060(1) ${\AA}$, dehydrated at 723 K and $1{\times}10^{-4}$ Pa, has been determined by single-crystal X-ray diffraction techniques in the cubic space group Fd$\bar{3}$ m at 100(1) K. The structure was refined using all intensities to the final error indices (using only the 561 reflections with $F_{\circ}$ > $4{\sigma}(F_{\circ})$) $R_1$ = 0.0377 (Based on F) and $R_2$ = 0.1032 (Based on $F^2$). About 30.5 $Mg^{2+}$ ions per unit cell are found at four different crystallographic sites. The 14 $Mg^{2+}$ ions occupy at site I at the center of double 6-ring (Mg-O = 2.231(3) ${\AA}$, O-Mg-O = $89.15(11)^{\circ}$ and $90.85(11)^{\circ}$). Four $Mg^{2+}$ ions are found at site I' in the sodalite cavity; the $Mg^{2+}$ ions are recessed 1.22 ${\AA}$ into the sodalite cavity from their 3-oxygen plane (Mg-O = 2.20(3) ${\AA}$ and O-Mg-O = $92.3(14)^{\circ}$). Site II' positions (opposite single 6-rings in the sodalite cage) are occupied by 2.5 $Mg^{2+}$ ions, each coordinated to an $H_2O$ molecule (Mg-O = 2.187(20) ${\AA}$ and O-Mg-O = $114.2(16)^{\circ}$). The 10 $Mg^{2+}$ ions are nearly three-quarters filled at site II in the supercage, being recessed 0.12 ${\AA}$ into the supercage (Mg-O = 2.123(4) A and O-Mg-O = $119.70(19)^{\circ}$). About 14 $Na^+$ ions per unit cell are found at one crystallographic site; the $Na^+$ ions are located at site II in the supercage (Na-O = 2.234(7) ${\AA}$ and O-Mg-O = $110.5(4)^{\circ}$).

The Study on the Factors which are Related to Bone Mineral Density of Female (여성 골밀도와 관련 요인에 대한 연구 - 전라북도 거주 건강검진대상자를 중심으로 -)

  • Lee, Bu-Young;Song, Beom-Yong;Yook, Tae-Han
    • Journal of Acupuncture Research
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    • v.25 no.5
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    • pp.167-189
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    • 2008
  • This study was conducted to investigate the factors which are related to Bone Mineral Density(BMD) of female for prevention of osteoporosis. We measured the BMD of lumbar spine(L2-L4) and femoral neck in 4802 female, using dual energy X-ray absorptionmetry(DEXA; DPX-alpha. Lunar, U.S.A.). and then analysed the 9 factors-age group, body mass index(BMI), amount of smoking, drinking, exercise, sleep, and fast blood sugar-which are related to BMD of female. The following results were obtained : 1. In age group, T-score was the highest at 36-42(六七) years group in lumbar spine(L2-L4) and at 15-21(三七) years group in femoral neck. and then it was decreased rapidly after 43-49(七七) years group in both lumbar spine(L2-L4) and femoral neck. Therefore we concluded that T-score of female in lumbar spine(L2-L4) and femoral neck change according to age group in $\ll$Hwangjaenaekyong Somun; 黃帝內經 素問$\gg$. 2. In BMI, T-score of lumbar spine(L2-L4) and femoral neck were increased according to BMI increase. 3. In amount of drinking and smoking, T-score was highest in heavy groups(women who have drunk soju more than 4 bottles for a week) in both lumbar spine(L2-L4) and femoral neck. But there t was no significant difference in comparison according to age group. 4. In exercise, T-score was higher in exercising group than non exercising group. And it appeared that women who have taken proper exercise had higher T-score than women who have taken exercise daily. 5. T-score was higher in women who ordinarily sleep well in both lumbar spine(L2-L4) and femoral neck than sleep badly. And there was significant difference in 43-56 years group. 6. T-score was low in the group that exceed 110mg/dl in fast blood sugar. Conclusions : The age group in $\ll$Hwangjaenaekyong Somun; 黃帝內經 素問$\gg$ is related to BMD of women. And risk factors-BMI, exercise, sleep, fast blood sugar, thyroid disease-are related to BMD of women. Therefore we expect that this study will help for prevention of osteoporosis of women, and further study will be achieved.

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The Effects of Exercise Therapy Applied in an Efficacy Expectation Promoting Program on Self-Efficacy and Metabolism.- in NIDDM(Non-Insulin Dependent Diabetes Mellitus) Patients - (효능기대증진프로그램을 적용한 운동요법이 자기효능과 대사에 미치는 영향-인슐린 비의존성 당뇨병 환자를 중심으로-)

  • 김춘자
    • Journal of Korean Academy of Nursing
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    • v.28 no.1
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    • pp.132-142
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    • 1998
  • This study was conducted to investigate whether exercise therapy applied in an efficacy expectation promoting program based on the self-efficacy theory of Bandura(1977) would increase self-efficacy and metabolism in NIDDM patients. The study design was a nonequivalent control group pre-test post-test quasi-experimental desist The exercise therapy applied in the efficacy expectation promoting program was composed of a staged exercise program, a small booklet relating personal experience with diabetes mellitus and a telephone coaching program on performance accomplishment. vicarious experience and verbal persuasion, which are all induction modes of efficacy expectation. The subjects of the study were twenty eight NIDDM patients who received follow-up care regularly through the out-patient department of endocrine medicine in one general hospital which had a diabetic clinic. Fourteen were assigned to the experimental group and fourteen to the control group. The experimental group participated in the exercise therapy applied in the efficacy expectation promoting program from three to five times per week for four weeks and the control group did not have the program. The collected data were analyzed using the X²-test, t-test, paired t-test, and Cronbach's Alpha using SPSS /PC/sup +/. The results are summarized as follows 1. Experimental group had higher efficacy score than control group(t=5.98, p=.00). And. There was a significant different in the efficacy score before exercise therapy applied in the efficacy expectation promoting program and after in experimental group(t=-6.42, p=.00). 2. Experimental group did not have lower level of glucose metabolism than control group(FBS : t=.32, p=.75, HbAlC : t=.60, p=.55, pc 2hrs. glucose : t=-.29, p=.78). But, There was a significant different in the aunt of glucose metabolism before exercise therapy applied in the efficacy expectation promoting program and after in experimental group(FBS : t=3.63, p=.003, HbAlC t=4.20, p=.00, pc 2hrs. glucose : t=1.93, p=.001). 3. Levels of lipid metabolism were partly a significant different between Experimental group and control group(triglyceride t=-1.87, p=.07, HDL cholesterol : t=-.29, p=.77. body weight : t=1.78, p=.09, Total cholesterol : t=-2.17, p=.04). And, There was partly a significant different in the amount of lipid metabolism before exercise therapy applied in the efficacy expectation promoting program and after in experimental group(triglyceride : t=2.50, p=.03, HDL cholesterol : t=-.43, p=.67, body weight : t=5.34. p=.00, Total cholesterol : t=2.26, p=.04). In conclusion, it was found that exercise therapy applied in an efficacy expectation promoting program was an effective nursing intervention for increasing self-efficacy and metabolism.

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Fabrication and Magnetic Properties of Ba Ferrite Powders by Sol-gel Process (졸겔법에 의한 Ba-ferrite분말의 제조 및 자기적 특성 연구)

  • An, Sung-Yong;Lee, Sang-Won;Choi, Dong-Hyeok;Shim, In-Bo;Kim, Chul-Sung
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.13 no.4
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    • pp.165-170
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    • 2003
  • M-type hexagonal BaFe$\sub$12/O$\sub$19/ ferrite powder was prepared by sol-gel process. The M-type hexagonal structure with ${\alpha}$ = 5.882 and c = 23.215 ${\AA}$ and its Curie temperature T$\sub$C/ was determined 780${\pm}$3 K. The isomer shifts of ,4f$_2$, 2a. 4f$_1$, 12k, and 2b were indicated 0.26, 0.24, 0.15, 0.25, and 0.24 mm/s, therefore, the valence states of the Fe ions were ferric (Fe$\^$3+/). By the law of approach to saturation (LAS), the effective anisotropy field H$\sub$A/ and crystalline anisotropy constant K$_1$ were estimated. The value of K$_1$ and H$\sub$A/ were K$_1$ = 2.5${\times}$10$\^6/erg/cm^3$ and H$\sub$A/ = 14 kOe, respectively.

A Distributed Intelligent System for Multidisciplinary Design Optimization (다분야통합최적설계를 위한 지능형 분산 시스템)

  • 이재호;홍은지
    • Proceedings of the Korea Inteligent Information System Society Conference
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    • 2000.11a
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    • pp.257-266
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    • 2000
  • 산업 및 가정용 기기들이 점차 복잡해짐에 따라 다양한 공학 분야의 해석 기술을 동시에 고려하면서 이들 원리를 적용한 최적의 설계를 결정하는 방법론의 필요성이 대두되고 있다. 다분야통합최적설계 또는 MDO(Multidisciplinary Design Optimization)라 일컫는 새로운 기술은 이러한 필요에 대응하는 기술로서 국내외적으로 활발한 연구가 진행되고 있다. 이러한 MDO 기술을 구현하는 소프트웨어와 하드웨어 복합 체계를 MDO 프레임웍(framework)이라 한다. 일반적으로 프레임웍이란 실제 응용프로그램의 용도에 맞는 주문제작(customization)이 가능한 일종의 전단계 프로그램이라 할 수 있다 MDO 프레임웍은 설계 및 해석 도구들간의 인터페이스를 제공하고, 이들 도구들이 사용하는 설계 데이터를 효율적으로 공유할 수 있도록 지원하여, 설계 작업을 정의, 실행, 관리하는 역할을 한다. 이러한 MDO 프레임웍은 설계 작업을 통합적으로 관리하고 자동화하여 설계 도구간의 데이터 전달과 변환에 소묘되는 설계자의 부담을 경감시키며 다분야 전문가가 참여하는 공통 작업 환경을 제공함으로써 설계 효율성을 증진시킨다. 본 논문에서는 이러한 효용을 달성하기 위한 MDO 프레임웍(framework)을 제시하고 프레임웍 설계의 논리적 근저와 타당성을 밝힌다. 본 논문에서 제안하는 다분야 통합 최적화를 위한 분산형 지능 시스템인 DisMDO는 사용자가 GUI를 동해서 편리하게 다분야통합최적화 문제를 해결할 수 있도록 지원하며, 제공되는 스크립트 언어를 동해서도 이를 정의할 수 있도록 지원하여 일괄처리도 가능하도록 한다. 또한, 집중화된 데이터베이스를 관리하여 다분야 전문가들이 공통의 데이터를 안전하게 공유할 수 있도록 지원하며, 외부에서 제공되는 해석 도구나 최적화 모듈을 손쉽게 프레임웍에 통합시킬 수 있도록 하는 인터페이스 제작기(factory) 기능을 제공한다.ackscattering spectroscopy, X-ray diffraction, secondary electron microscopy, atomic force microscoy, $\alpha$-step, Raman scattering spectroscopu, Fourier transform infrared spectroscopy 및 micro hardness tester를 이용하여 기판 bias 전압이 DLC 박막의 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 분석결과 본 연구에서 제작된 DLC 박막은 탄소와 수소만으로 구성되어 있으며, 비정질 상태임을 알 수 있었다. 기판 bias 전압의 증가에 따라 박막의 두께가 감소됨을 알 수 있었고, -150V에서는 박막이 거의 만들어지지 않았으며, -200V에서는 기판 표면이 식각되었다. 이것은 기판 bias 전압과 ECR 플라즈마에 의한 이온충돌 효과 때문으로 판단되며, 150V 이하에서는 증착되는 양보다 re-sputtering 되는 양이 더 많을 것으로 생각된다. 기판 bias 전압을 증가시킬수록 플라즈마에 의한 이온충돌 현상이 두드러져 탄소와 결합하고 있던 수소원자들이 떨어져 나가는 탈수소화 (dehydrogenation) 현상을 확인할 수 있었으며, 이것은 C-H 결합에너지가 C-C 결합이나 C=C 결합보다 약하여 수소 원자가 비교적 해리가 잘되므로 이러한 현상이 일어난다고 판단된다. 결합이 끊어진 탄소 원자들은 다른 탄소원자들과 결합하여 3차원적 cross-link를 형성시켜 나가면서 내부 압축응력을 증가시키는 것으로 알려져 있으며, hardness 시험 결과로 이것을 확인할 수 있었다. 그리고 표면거칠기는 기판 bias 전압을 증가시킬수록 더 smooth 해짐을 확인하였다.인하였다.을 알 수 있었다. 즉 계면에서의 반응에 의해 편석되는 Ga에 의해 박막의 strain이 이완되면, pinhole 등의 박막결함

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A Study on Actual Condition of Diving Safety before Scuba Diving and during Scuba Diving According to Scuba Diver's Characteristics (스쿠버 다이버 특성에 따른 다이빙 활동 전과 다이빙 활동 중 안전 준수 실태)

  • Park, Hong-Cheol;Hwang, Ji-Young;Cho, Keun-Ja
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.16 no.2
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    • pp.1216-1226
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    • 2015
  • This study aimed to suggest education direction for diving safety through investigating actual condition to diving safety before and during scuba diving. The study subjects were 227 scuba divers. Data were collected from September 21, 2012 to August 16, 2013. The collected data were analyzed using SPSS 21.0. The results were as follows. Many higher level divers didn't obey regulations: 'alcohol drinking', 'warming-up exercise', 'to dive even when he/she suffers from respiratory disease' before scuba diving. Many lower level divers didn't obey regulations: 'to stop diving under abnormal physical condition', 'to do safety stop during ascending time', 'to check during ascending time', 'to know ascending and descending speed per minute', 'to use an alpha flag or buoy' during scuba diving. In conclusion, it is necessary to implement a discriminative safety education and to check actual condition to diving safety periodically in consideration of duration and level of diving.

Etching properties of $Na_{0.5}K_{0.5}NbO_2$ thin film using inductively coupled plasma (유도결합 플라즈마를 이용한 $Na_{0.5}K_{0.5}NbO_2$ 박막의 식각 특성)

  • Kim, Gwan-Ha;Kim, Kyoung-Tae;Kim, Jong-Gyu;Woo, Jong-Chang;Kim, Chang-Il
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2007.06a
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    • pp.116-116
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    • 2007
  • 21 세기에 접어들면서 인터넷을 통한 정보 통신의 발달과 개인 휴대용 이동 통신기기의 활발한 보급에 따라 휴대형 전자기기들의 소형화와 고성능화로 나아가고 있다. 이러한 전자기기에 사용될 IC의 내장 메모리 또한 집적화 및 고속화, 저 전력화가 이루어져야 한다. 이러한 전자기기들에 필수적인 압전 세라믹스 부품 중 압전 부저 및 기타 음향 부품등을 각종 전자기기와 무선 전화기에 채택함으로써 압전 부품에 대한 수요와 생산이 계속 증가할 것으로 전망된다. 이처럼 압전 세라믹스를 이용한 그 응용 범위는 대단히 방대하며, 현재 모든 압전 부품들은 PZT 계열 재료로 만들어지고 있고, 차후 모두 비납계열 재료로 대체될 것이 확실시된다. Pb의 환경오염은 이미 오래전부터 큰 문제점으로 인식되고 있었으며 그 일례로 미국의 캘리포니아 주에서는 1986년부터 약 800종의 유해물질, 그 중에서도 Pb 사용을 300ppm 이하로 규제하는 Proposition 65를 제정하여 실행하고 있다. 그리고 2003년 2월에 EU (European Union) 에서 발표한 전자산업에 관한 규제 사항중 하나인 위험물질 사용에 관한 지칭 (Restriction of Hazardous Substance, RoHS) 에 의하면, 2006 년 7월부터 전기 전자 제품에 있어서 위험 물질인 Pb을 포함한 중금속 물질(카드늄, 수은, 6가 크롬, 브롬계 난연재)의 사용을 금지한다고 발표하였다. 비록 전자세라믹 부품에 함유된 Pb는 예외 사항으로 두었지만 대체 가능한 물질이 개발되면 전자세라믹 부품에서도 Pb의 사용을 금지한다고 규정하였다. 더욱이 일본은 2005 년부터 Pb 사용을 금지시켰다. 이와 같이 Pb가 환경에 미치는 영향 때문에 비납계 강유전 물질 및 압전 세라믹스 재료에 대한 연구가 전 세계적으로 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 비납계 강유전체의 patterning을 위해서, NKN 박막을 고밀도 플라즈마원인 ICP를 이용하여 식각 mechanism을 연구하고, 식각변수에 따른 식각 공정을 최적화에 대하여 연구하였다. 가스 혼합비에 따라 식각 할때 700 W의 RF 전력과 - 150 V의 직류 바이어스 전압을 인가하였고, 공정 압력은 2 Pa, 기판 온도는 $23^{\circ}C$로 고정하였다. 식각 속도는 Tencor사의 Alpha-step 500을 이용하여 측정되었으며 식각 시 NKN 박막 표면과 라디칼과의 화학적인 반응을 분석하고 식각 메커니즘을 규명하기 위하여 XPS(x-ray photoelectron spectroscopy)를 사용하였다.

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상이한 삼림생태계에서의 토층분화 특성과 변화에 따른 수분 이동 특성

  • 정덕영;오종민;진연호;손요한;주영특
    • Proceedings of the Korean Society of Soil and Groundwater Environment Conference
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    • 1998.06a
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    • pp.69-73
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    • 1998
  • 경기도 퇴촌에 위치한 경희대학교 연습림내의 경사도와 수종을 달리하는 3개의 서로 다른 임반에서 등고선을 따라 지표면의 토층분화를 조사하였고 이에 따른 수분침투특성을 조사하였다. 3개의 임반은 낙엽송, 잣나무 및 굴참나무의 천연활엽수로 구성되었고 이에 구성 수종에 따라 지표면에 퇴적되는 O, A, B층의 깊이를 달리한다. 토층분화 길이는 3개 임반 모두 경사도가 낮은 하부사면에서 양호하게 발달하였으며 경사도가 높은 산사면이나 수간우가 많은 일부 지역에서는 유거수에 의해 유기물이나 표층토가 유실되어 바로 암반층 또는 풍화층이 나타나는 경향을 보이고 있다. 그러나 잣나무 임반의 경우 밀식 수간에 의해 유기물퇴적층과 A층의 발달이 다른 낙엽송이나 굴참나무 임반보다 토층 발달 깊이가 약 2배 이상으로 깊게 발달되었다. 그리고 조사된 임반의 하부사면의 경우 A층의 발달이 약 35cm부터 약 60cm에 이르고 있으나 토성을 구성하는 요소 중 직경 2mm 이상의 자갈에 토양입자들이 전체 토양의 40%정도를 차지하고 있다. 이러한 토층분화 특성을 달리하는 임반에서의 수분 이동특성은 퇴적된 유기물의 두께가 깊으면 깊을수록 수분침투율은 낮아지는 반면 포면 유거수량은 증가하는 경향을 보여주고 있다. 그리고 지표면, 유기물 퇴적층 아래, 지표면으로부터 30cm 아래에 설치된 Lysimeter를 이용하여 조사된 침출수의 분포는 전체를 100으로 환산시 지표면은 약 55%, 유기물퇴적층 아래는 30%, 그라고 30cm의 위치에서는 나머지 15%정도의 침출수가 포집되었다. 따라서 본 실험의 결과를 살펴보았을 때 지표 층에 존재하는 유기물이 전체 수분이동에 영향을 미치는 것으로 조사되었다.양 실험 결과, 서식지에서 조사된 결과인 잎과 줄기에서 Pb$\alpha$ 추정시에는 SeaWiFS 위성과 관련된 global algorithms 중에서 490nm와 555nm의 복합밴드를 포함하는 OC2 알고리즘(ocean color chlorophyll 2 algorithm)을 사용하는 것이 OC2 series 및 OC4 알고리즘보다 좋은 추정 값을 도출할 수 있을 것으로 기대된다.환경에서는 5일에서 7월에 주로 이 충체의 유충이 발육되고 전파되는 것으로 추측되었다.러 가지 방법들을 적극 적용하여 금후 검토해볼 필요가 있을 것이다.잡은 전혀 삭과가 형성되지 않았다. 이 결과는 종간 교잡종을 자방친으로 하고 그 자방친의 화분친을 사용할 때만 교잡이 이루어지고 있음을 나타내고 있다. 따라서 여교잡을 통한 종간잡종 품종육성 활용방안을 금후 적극 확대 검토해야 할 것이다하였다.함을 보이고 있다.X> , ZnCl$_{3}$$^{-}$같은

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ECR-PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기판 Bias 전압 효과

  • 손영호;정우철;강종석;정재인;황도원;김인수;배인호
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.188-188
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    • 2000
  • DLC (Diamond-Like Carbon) 박막은 높은 경도와 가시광선 및 적외선 영역에서의 광 투과도, 전기적 절연성, 화학적 안정성 및 저마찰.내마모 특성 등의 우수한 물리.화학적인 물성을 갖고 있기 때문에 여러 분야의 응용연구가 이루어지고 있다. 이러한 DLC 박막을 제작하는 과정에는 여러 가지가 있으나, 본 연구에서는 ECR-PECVD electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition) 방법을 사용하였다. 이것은 최근에 많이 이용되고 있는 방법으로, 이온화률이 높을뿐만 아니라 상온에서도 성막이 가능하고 넓은 진공도 영역에서 플라즈마 공정이 가능한 장점이 있다. 기판으로는 4" 크기의 S(100)를 사용하였고, 박막을 제작하기 전에 진공 중에서 플라즈마 전처리를 하였다. 플라즈마 전처리는 Ar 가스를 150SCCM 주입시켜 5$\times$10-1 torr 의 진공도를 유지시키면서, ECR power를 700W로 고정하고, 기판 bias 전압을 -300 V로 하여 5분 동안 기판을 청정하였다. DLC 박막은 ECR power를 700W. 가스혼합비와 유량을 CH4/H2 : 10/100 SCCM, 증착시간을 2시간으로 고정하고, 기판 bias 전압을 0, -50, -75, -100, -150, -200V로 변화시켜가면서 제작하였다. 이때 ECR 소스로부터 기판까지의 거리는 150mm로 하였고, 진공도는 2$\times$10-2torr 였으며, 기판 bias 전압은 기판에 13.56 MHz의 RF power를 연결하여 RF power에 의해서 유도되는 negative DC self bias 전압을 이용하였다. 제작된 박막을 Auger electron spectroscopy, elastic recoil detection, Rutherford backscattering spectroscopy, X-ray diffraction, secondary electron microscopy, atomic force microscoy, $\alpha$-step, Raman scattering spectroscopu, Fourier transform infrared spectroscopy 및 micro hardness tester를 이용하여 기판 bias 전압이 DLC 박막의 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 분석결과 본 연구에서 제작된 DLC 박막은 탄소와 수소만으로 구성되어 있으며, 비정질 상태임을 알 수 있었다. 기판 bias 전압의 증가에 따라 박막의 두께가 감소됨을 알 수 있었고, -150V에서는 박막이 거의 만들어지지 않았으며, -200V에서는 기판 표면이 식각되었다. 이것은 기판 bias 전압과 ECR 플라즈마에 의한 이온충돌 효과 때문으로 판단되며, 150V 이하에서는 증착되는 양보다 re-sputtering 되는 양이 더 많을 것으로 생각된다. 기판 bias 전압을 증가시킬수록 플라즈마에 의한 이온충돌 현상이 두드러져 탄소와 결합하고 있던 수소원자들이 떨어져 나가는 탈수소화 (dehydrogenation) 현상을 확인할 수 있었으며, 이것은 C-H 결합에너지가 C-C 결합이나 C=C 결합보다 약하여 수소 원자가 비교적 해리가 잘되므로 이러한 현상이 일어난다고 판단된다. 결합이 끊어진 탄소 원자들은 다른 탄소원자들과 결합하여 3차원적 cross-link를 형성시켜 나가면서 내부 압축응력을 증가시키는 것으로 알려져 있으며, hardness 시험 결과로 이것을 확인할 수 있었다. 그리고 표면거칠기는 기판 bias 전압을 증가시킬수록 더 smooth 해짐을 확인하였다.인하였다.

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