Physical Properties of TiN films grown by ALD
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김재범
(인하대학교 공과대학 재료공학부)
홍현석 (인하대학교 공과대학 재료공학부) 오기영 (주성엔지니어링) 이종무 (인하대학교 공과대학 재료공학부) |
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