Electrical Properties of Ultra-shallow Junctions using ion Implantation |
송재훈
(한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
김지수 (연세대학교 물리 및 응용물리 사업단) 임성일 (연세대학교 물리 및 응용물리 사업단) 전기영 (연세대학교 물리 및 응용물리 사업단) 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과) 최원국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) |
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