Browse > Article

금속 윈도우 유도 결합 플라즈마 방전 장치에 대한 수치 해석적 접근  

Choe, Hui-Hwan (한국항공대학교 항공전자정보공학부)
Publication Information
Keywords
Citations & Related Records
연도 인용수 순위
  • Reference
1 J. P. Verboncoeur, Plasma Phys. Contr. Fusion, 47, A232 (2005).
2 J. Brcka, Jpn. J. Appl. Phys. , 55, 07LD08 (2016).   DOI
3 P. L. G. Ventzek, R. J. Hoekstra, and M. J. Kushner, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 461 (1994).   DOI
4 H. Choe, N. Yoon, S. Kim and D. Choi, J. Comp. Phys. 170, 550 (2001).   DOI
5 P. Crispel, P. Degond, and M. Vignal, J. Comp. Phys. 223, 208 (2007).   DOI
6 M. Becker, H. Kahlert, A Sun, M Bonitz and D. Loffhagen, Plasma Sources Sci. and Technol. 26, 044001 (2017).   DOI