|
| 1 |
유도 결합 플라즈마 기술
Lee, Hyo-Chang;
/
The Korean Infomation Display Society
, v.18, no.6, pp.3-11,
|
|
| 2 |
RF 플라즈마 전력 전송 기술
Lee, Sang-Won;
/
The Korean Infomation Display Society
, v.18, no.6, pp.12-20,
|
|
| 3 |
금속 윈도우 유도 결합 플라즈마 방전 장치에 대한 수치 해석적 접근
Choe, Hui-Hwan;
/
The Korean Infomation Display Society
, v.18, no.6, pp.21-28,
|
|
| 4 |
디스플레이 공정용 메탈윈도우 유도결합플라즈마 식각장치에 대하여
Lee, Ho-Jun;
/
The Korean Infomation Display Society
, v.18, no.6, pp.29-34,
|
|