한국광학회지 (Korean Journal of Optics and Photonics)

  • 제32권6호
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  • Pages.296-305
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  • 2021
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  • 1225-6285(pISSN)
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  • 2287-321X(eISSN)
한국광학회 (Optical Society of Korea)
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실린더 잠자리 눈 렌즈의 정밀도가 선형 빔의 장축 균일도 및 경사도에 미치는 영향

Effect of the Cylindrical Fly-eye Lens's Precision on Long-axis Uniformity and Steepness of a Line Beam

  • 투고 : 2021.11.02
  • 심사 : 2021.11.16
  • 발행 : 2021.12.25
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초록

본 논문은 OLED 제작 공정에 사용하는 레이저 박리(laser lift-off, LLO) 장비의 실린더 렌즈를 사용하는 선형 빔 광학계의 장축 성능에 대한 연구로서, 실린더 렌즈의 편심을 7가지로 분류하고 정의하였으며, 측정 방법을 제시하였다. 또한 실린더 잠자리 눈 렌즈의 면정밀도와 편심, 사용방식 등이 선형 빔 광학계의 장축 성능에 미치는 영향에 대한 분석 및 실험 결과를 제시하고, 장축 성능을 향상시키기 위한 향후 진행방향을 제시하였다.

This paper reports a study on the long axis performance of the line beam optics used in laser lift-off equipment for the OLED manufacturing process. The centration errors of the cylindrical lens are classified and defined in seven categories, and the measurement methods are presented. The cylindrical fly-eye lens is analyzed theoretically and experimentally to find the influence of the surface shape error and decentering error on the long axis performance of the line beam optics system. A future research direction is also presented to improve the long axis performance.

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과제정보

이 연구는 2019년도 산업통상자원부 및 산업기술평가관리원(KEIT) 연구비 지원에 의한 연구임('과제번호20006533').

참고문헌

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