FPD 장비 습식공정에서의 안전한 히터 공급 계통도 및 제어 회로

Safety Schematic Diagram and Sequence of Heater in FPD Wet Equipment

Abstract

FPD(Flat Panel Display) WET(습식) 장비의 히터 사용은 필수로 사용된다. 히터 사용에 따른 단선과 과열로 인한 전기사고가 다발하여 안전적인 전기 계통도 및 인터락이 필요하다. 따라서 본 논문에서는 FPD WET장비에 들어가는 전기 계통도 및 인터락을 제안하였다. 레벨센서, 과열방지기, SSR heater sink와 같은 하드웨어 인터락을 넣었으며, 전기 계통도로써는 ELB-MC-SSR-EOCR-Heater로 구성되어 있다. 인터락 발생시 마그네틱 컨텍터(MC)가 오프되어 Heater의 전원을 차단하는 방식이다. 전기적 과전류 보호장치인 EOCR 과전류, 부족전류, 단선 체크를 하면서 히터에 이상 있을 시 MC를 차단하는 인터락이 구성되어 있다. 이러한 회로 구성 및 인터락은 WET 장비 뿐만 아니라 히터가 들어가는 어떠한 장비에도 유용할 것으로 보인다.

In FPD WET equipment, heaters are used a lot. There are many electric accidents caused by short circuit and overheating due to the use of heater, so it is necessary to have a safe electric system and interlock. Therefore, in this paper, we propose an electrical schematic and interlock for FPD WET equipment. In this paper, a hardware interlock such as a level sensor, an overheat protector, and an SSR heater sink is inserted, and the electric system is composed of ELB - MC - SSR - EOCR - heater. When the interlock occurs, the magnetic contactor (MC) is turned off and the power of the heater is cut off.EOCR, an electric overcurrent protection device, has an interlock to shut down the MC when there is an abnormality in the heater while checking the overcurrent, undercurrent and disconnection. These circuit configurations and interlocks are likely to be useful not only for WET equipment but also for any equipment in which the heater is placed.

Fig. 1. level sensor movement. 그림 1. 레벨센서 동작

Fig. 2. FPD wet control System. 그림 2. FPD 습식 히터 제어 구성도

Fig. 3. FPD WET Heater Interlock Sequence. 그림 3. FPD 습식 히터 인터락 시퀀스

Fig. 4. Etchant Temperature data. 그림 4. Etchant 약액 온도데이터