전자공학회논문지 (Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers)

  • 제52권5호
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  • Pages.197-205
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  • 2015
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  • 2287-5026(pISSN)
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  • 2288-159X(eISSN)
대한전자공학회 (The Institute of Electronics and Information Engineers)
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DLC 박막을 통한 전자광학추적장비 신뢰성 개선

Reliability Improvement of the Electro Optical Tracking System by using DLC Films

  • 심보현 (국방기술품질원 대구센터 3팀) ;
  • 조희진 (국방기술품질원 분석평가부 기술분석팀) ;
  • 김장은 (국방기술품질원 대구센터 3팀)
  • 투고 : 2015.01.08
  • 심사 : 2015.04.21
  • 발행 : 2015.05.25
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초록

함정용 전자광학추적장비 열영상센서부 전면창의 신뢰성 및 성능 개선을 위해 플라즈마 화학기상증착법을 통해 제작되는 DLC 박막을 제안하였다. DLC 박막은 현재 사용되고 있는 실리콘 박막과 비교하여 뛰어난 강도와 낮은 마찰, 화학적 안정성이 우수하며 이로 인해 해상 환경에서 필연적으로 발생하는 열영상센서 전면창의 표면 박리를 최소화할 수 있는 장점이 있다. 본 실험을 통해, DLC 박막이 갖는 물리적 특성을 바탕으로 다양한 전자광학장비에 적용이 가능함을 확인하였다.

The Diamond Like Carbon(DLC) films for the Electro Optical Tracking System(EOTS) by using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD) method is presented. We achieve that the DLC films can reduce the surface delamination of thermal observation sensor front window due to the high hardness, low friction and chemical inertness which is comparable to a Si film. According to our experiment results, DLC films can be used for various electro optical systems to eliminate surface delamination.

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참고문헌

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