4H-SiC Epitaxial Layer and Defects

  • 김익찬 (LG 이노텍 부품소재 R&D센터 SiC 전력소재팀) ;
  • 심지인 (LG 이노텍 부품소재 R&D센터 SiC 전력소재팀) ;
  • 김무성 (LG 이노텍 부품소재 R&D센터 SiC 전력소재팀) ;
  • 하서용 (LG 이노텍 부품소재 R&D센터 SiC 전력소재팀)
  • 발행 : 2013.12.31