차세대 SiC 단결정 성장기술

  • 정성민 (한국세라믹기술원 에너지환경소재본부) ;
  • 이명현 (한국세라믹기술원 에너지환경소재본부) ;
  • 서원선 (한국세라믹기술원 에너지환경소재본부)
  • 발행 : 2013.12.31