Abstract
The ISO standard specifies the diameter of the gas introducing tube to be definitely 1/10 of the chamber inner diameter of the standard test dome which is used for evaluating the performance of vacuum pumps. Because the inner diameter of the test chamber should not be less than the intake diameter of the vacuum pump, the tube diameter would be even 100 mm if fitting to a very large vacuum pump. Though such a thick tube can be accommodated in a large test dome, it is worthful to investigate whether a thicker tube is helpful or adverse for making more accurate measurements. In this paper it is discussed if there is an optimum tube diameter by comparing the isotropicity of particles emanating from the tube and that of particles entering the orifice.
진공펌프의 배기성능 지표들을 정량적으로 측정하기 위해서 사용하는 표준용기에 관한 ISO 규격은 기체도입 도관의 굵기를 용기 내경의 10분의 1로 규정하고 있다. 표준용기 내경은 검사 대상 펌프의 흡기구 직경보다 작아서는 안 되므로 만일 대용량 펌프에 맞춘다면 때에 따라 도관의 굵기가 100 mm라는 수치도 나올 수 있다. 전체 시스템의 크기가 커지는 만큼 이런 굵기의 도관도 수용이 가능하기는 하지만 과연 이렇게 굵은 도관이 정밀한 측정을 위해 꼭 필요한지 또는 오히려 방해가 되는 것은 아닌지 검토해 볼 필요성이 있다. 본 논문에서는 도관 굵기에 따라, 도관출구를 빠져나오는 입자들과 오리피스 및 펌프 흡기구에 입사하는 입자들의 등방성에 대해 살펴봄으로써 적절한 도관 굵기가 존재하는지에 대해 논의한다.
