• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.332-332
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• 2010

진공펌프의 배기성능 지표들을 정량적으로 측정하기 위해서 사용하는 표준용기에 관한 규격들은 대체로 일치하는 사양들을 제시하지만 유독 기체도입 도관의 굵기에 대해서는 다양한 방식으로 규정하고 있어서 혼란스럽다. 현재 제정중인 ISO 규격에서는 도관 굵기를 용기 내경의 10분의 1로 규정하고 있는데 대형 펌프 용 표준용기에 맞춘다면 도관의 굵기가 지나치게 커질 수 있다. 과연 이렇게 굵은 도관이 정밀한 측정을 위해 꼭 필요한지 또는 오히려 방해가 되는 것은 아닌지 검토해 보기 위해 도관 굵기에 따라 도관출구를 빠져나오는 입자들과 오리피스 및 펌프 흡기구에 입사하는 입자들의 등방성에 대해 살펴보았다 계산 결과에 의하면 도관의 굵기는 오리피스 및 펌프 흡기구에 입사하는 입자들의 평균 방향 여현 값에 전혀 영향을 미치지 않는 것으로 나타났으며 반면에 도관이 오리피스나 흡기구 면에 국부적으로 그림자를 드리우거나 입자 분포와 평균 방향여현 분포를 왜곡시키지도 않았다. 즉 기체 도입 도관을 가늘게 해도 빔효과가 계속 전파되어서 측정에 악영향을 미치지 않으므로 별 문제가 안 되고, 도관이 규정되어 있는 범위 안에서 어느 정도 굵어져도 입자의 흐름을 방해한다는 증거는 없다는 뜻이다. 그렇다면 도관의 굵기를 한 값으로 못 박기보다 넓은 범위를 주어 가공 능력에 따라 사용자가 적절히 크기를 선택할 수 있도록 하는 것이 합리적이라고 판단된다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.19 no.3
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• pp.161-168
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• 2010

The ISO standard specifies the diameter of the gas introducing tube to be definitely 1/10 of the chamber inner diameter of the standard test dome which is used for evaluating the performance of vacuum pumps. Because the inner diameter of the test chamber should not be less than the intake diameter of the vacuum pump, the tube diameter would be even 100 mm if fitting to a very large vacuum pump. Though such a thick tube can be accommodated in a large test dome, it is worthful to investigate whether a thicker tube is helpful or adverse for making more accurate measurements. In this paper it is discussed if there is an optimum tube diameter by comparing the isotropicity of particles emanating from the tube and that of particles entering the orifice.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.15 no.6
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• pp.594-604
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• 2006

Gas fueling systems operated in the mode of a fixed valve opening at a constant line pressure, and the mode of a constant inlet flow are simulated to establish the relationships between the gas flow pattern and the tube dimensions under various system conditions.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.15 no.5
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• pp.465-474
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• 2006

A gas fueling system composed of a gas reservoir, an on-off valve, and a gas transferring tube, which is the simplest construction for the pre-programmed gas puffing, was simulated by numerically solving the time-dependent one-dimensional gas flow equation. The purpose of the simulation is to establish the relationship between the gas flow pattern (the elapsed time to the maximum flow, the maximum flow rate, the gas pulse duration) and the system parameters (the filling pressure and the volume of the gas reservoir, and the length and the diameter of the gas transferring tube).