Korean Journal of Optics and Photonics (한국광학회지)

Optical Society of Korea (한국광학회)
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Measurement and Analysis of Light Scattering of Au Pads on PCB Surface to Extract Scattering Parameters

인쇄회로기판용 Au 패드의 산란 특성 측정 및 분석에 의한 산란 인자 추출

  • Ko, Nak-Hoon (SEM Co. - Inha Univ. Precision Inspection and Measurement Center (PIMC)) ;
  • Park, Dae-Seo (SEM Co. - Inha Univ. Precision Inspection and Measurement Center (PIMC)) ;
  • Kim, Young-Seok (Optics and Photonics Elite Research Academy (OPERA), Inha University) ;
  • O, Beom-Hoan (SEM Co. - Inha Univ. Precision Inspection and Measurement Center (PIMC)) ;
  • Park, Se-Geun (Optics and Photonics Elite Research Academy (OPERA), Inha University) ;
  • Lee, El-Hang (Optics and Photonics Elite Research Academy (OPERA), Inha University) ;
  • Lee, Seung-Gol (SEM Co. - Inha Univ. Precision Inspection and Measurement Center (PIMC)) ;
  • Choi, Tae-Il (SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.)
  • 고낙훈 (인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 박대서 (인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 김영석 (인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 오범환 (인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 박세근 (인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 이일항 (인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 이승걸 (인하대학교 정보통신공학부) ;
  • 최태일 ((주)삼성전기)
  • Published : 2009.04.25
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Abstract

In this study, the influence of surface roughness on light scattering from Au pads on a PCB surface was investigated. Angular distributions of light scattered from Au pads with different surface roughness were measured for several incident angles. Diffusely-scattered light could be separated by using the fact that the amount of specularly-scattered light was directly related to surface roughness. The separated diffuse term was curve-fitted with a physics-based model, and then the related scattering parameters were extracted and compared with measured parameters.

본 논문에서는 인쇄회로기판에 있는 Au 패드의 표면 조도와 산란 현상의 상관 관계를 연구하였다. 여러 가지 Au 패드에 대해 입사각을 달리하여 산란 각도 별 산란 분포를 측정하였으며, 표면 조도와 정반사 성분의 관련성을 이용하여 정반사 성분과 난반사 성분을 분리하였다. 최종적으로 분리된 난반사 성분을 physics based model에 곡선 맞춤을 수행하여 주요 산란 인자들을 추출하였으며 측정된 산란 인자와 비교를 통해 모델의 정확성을 확인하였다.

Keywords

References

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