Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society (한국산학기술학회논문지)

The Korea Academia-Industrial cooperation Society (한국산학기술학회)
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A Study on Dynamic Modeling of the Vibration Isolation System for the Ultra Precision Measurement

초정밀작업을 위한 제진시스템의 동역학 모델링 연구

  • 손성완 (알엠에스 테크놀러지(주)) ;
  • 장성호 (선문대학교 기계공학부) ;
  • 백재호 (알엠에스 테크놀러지(주)) ;
  • 전종균 (선문대학교 기계공학부) ;
  • 권영철 (선문대학교 기계공학부)
  • Published : 2009.01.31
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Abstract

The anti-vibration tables that use air suspensions as dampers have been widely used due to their high anti-vibration performance in wide frequency band. However, they face a problem of easily accelerating the vibration when triggered by external force because their air suspensions have low rigidity and dampness. In response, there has been a study on active/semi-active dampers that use only the passive components like air suspensions to complement the passive-control format. Thus, we have dynamically analyzed the active/semi-active control of such passive anti-vibration tables. To demonstrate the anti-vibration table's control system, we have also constructed a kinetic model based on the physical characteristics of an anti-vibration table with 6 degrees of freedom and verified its applicability through analysis and experiments.

공기스프링을 감쇠기로 사용하는 방진대는 넓은 주파수대역에서 우수한 진동 절연성능을 가짐으로 널리 사용되어 왔다. 하지만 공기스프링은 구조적으로 저강성, 저감쇠의 특성을 가지고 있으므로 외란에 의해 쉽게 가진되어 안정성이 떨어지는 문제가 있다. 이에 공기스프링과 같은 수동소자만을 이용한 수동제어 형식의 보완을 위해 능동 및 반능동 방식의 감쇠기가 제안되고 연구되고 있다. 따라서 본 연구에서는 이러한 수동형 제진대의 능동 및 반능동제어를 위한 동역학적 해석에 관하여 연구하였다. 제진대의 제어시스템 구현을 위하여 6 자유도 제진대의 물리적인 특성에 기초한 동역학적 모델을 정립하고 해석 및 실험을 통해 동역학 모델의 적용가능성을 검증하였다.

Keywords

References

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