참고문헌
- T. Minami, Semicon. Sci. Technol., 20 (2005) S35 https://doi.org/10.1088/0268-1242/20/4/004
- T. Minami, S. Suzuki, T. Miyata, Thin Solid Films, 398-399 (2001) 53 https://doi.org/10.1016/S0040-6090(01)01303-7
- M. Chen, Z. L. Pei, X. Wang, C. Sun, L. S. Wen, J. Vac. Sci. Technol., A19 (2001) 963
- S. Schiller, U. Heisig, K. Steinfelder, J. Strumphel, R. Voight, G. Teschner, Thin Solid Films, 96 (1982) 235 https://doi.org/10.1016/0040-6090(82)90247-4
- G. Szczyrbowski, G. Teschner, J. Bruch, European patent specification EP 0795623A1, (1997)
- H. Czternastek, A. Brudnik, M. Jachimowski, E. Kolawa, J. Phys. D: Appl. Phys., 25 (1992) 865 https://doi.org/10.1088/0022-3727/25/5/019
- J. Affinito, R. R. Parsons, J. Vac. Sci. Technol. A, 2(3) (1984) 1275 https://doi.org/10.1116/1.572395
- H. D. Na, H. S. Park, D. H. Jung, G. R. Lee, J. H. Joo, J. J. Lee, Coat. Technol., 169-170 (2003) 41
- Y. H. Han, S. J. Jung, J. J. Lee, J. H. Joo. Surf. Coat. Technol., 174-175 (2003) 235 https://doi.org/10.1016/S0257-8972(03)00619-4
- S. J. Jung, B. M. Koo, Y. H. Han, J. J. Lee. J. H. Joo, Surf. Coat. Technol., 200[1-4] (2005) 862 https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.02.207
- S. Berg, T. Nyberg, Thin Solid Films, 476 (2005) 215 https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.10.051
- l. Safi, Surf Coat. Technol., 127 (2000) 203 https://doi.org/10.1016/S0257-8972(00)00566-1
- K. Ellmer, J. Phys. D: Appl. Phys., 33 (2000) R17 https://doi.org/10.1088/0022-3727/33/4/201
- T. Tsurumi, S. Nishizawa, N. Ohashi, T. Ohgaki, Jpn. J. Appl. Phys., 38 (1999) 3682 https://doi.org/10.1143/JJAP.38.3682
- E. Burstein, Phys. Rev., 93 (1954) 632 https://doi.org/10.1103/PhysRev.93.632
- T. S. Moss, Proc. Phys. Soc. London B, 67 (1954) 775
- W.-K. Choi, S.-K. Koh, H.-J. Jung, J. Vac. Sci. Technol., A14 (1996) 2366
- E. T. Kang, K. L. Tan, K. Kato, Y. Uyama, Y. lkada, Macromolecules, 29 (1996) 6872 https://doi.org/10.1021/ma960161g