Reconstruction Change of Si(5 5 12) Induced by Selective Bi Adsorption

Bi의 선택적 흡착으로 유도된 Si(5 5 12) 표면의 재구조변화

  • 조상희 (전북대학교, 광전자 정보기술연구소) ;
  • 서재명 (전북대학교, 광전자 정보기술연구소)
  • Published : 2006.03.01

Abstract

In order to test the capacity of Si(5 5 12) as a potential template for nanowire fabrication, Bi/Si(5 5 12) system has been studied by STM. With Bi deposition, Si(5 5 12) has been transformed to Si(3 3 7) terrace. Initially Bi atoms selectively replace Si-dimers and Si-adatoms with Bi-dimers and Bi-adatoms, respectively. With extended Bi adsorption, Bi-dimers adsorb on the pre-adsorbed Bi-dimers and Bi-atoms. These dimers in the second layer form Bi-dimer pairs having relatively stable $p^3$ bonding, Finally, the Bi-dimer adsorbs on the Bi-dimers in the second layer and saturates. It can be deduced that both surface transformation to (3 3 7) and site-selective Bi adsorption are possible due to substrate-strain relaxation through inserting Bi atoms into subsurface of Si substrate.

일차원의 대칭성을 갖는 형판 위에서 Bi원자가 자발적으로 형성하는 나노 구조체의 원자 구조를 이해하기 위하여, 재구조 된 Si(5 5 12)을 Bi의 탈착 온도에 가까운 온도로 가열한 채 Bi를 흡착시키고 주사 터널링 현미경으로 그 원자 구조를 각 흡착 단계별로 규명하였다. 제일 먼저 Bi는 이 기판에 존재하는 여러 종류의 $[\bar{1}\;1\;0]$에 평행한 row들 중에서 기판과 결합력이 가장 약한 dimer row와 adatom row 만을 선택적으로 Bi-dimer row와 Bi-adatom row로 각각 치환한다. 이 과정에서 치환된 Bi는 Si과의 크기 차이로 인해 인접한 (337) subsection에 tensile stress를 인가하게 되고, 그 결과 (337) subsection 내의 tetramer row는 갈라져 dimer row와 adatom row로 변형되고, 이들 역시 Bi-dimer row와 Bi-adatom row로 각각 치환된다. 다음으로 이들 치환된 Bi-dimer row와 Bi-adatom row 위에 각각 Bi-dimer가 흡착하면 서로 마주보며 안정된 Bi-dimer pair를 이루며, 이 pair 역시 row를 이루고 둘째 층을 형성한다. 마지막으로 셋째 층의 Bi는 둘째 층의 마주보는 Bi-dimer pair 위에 흡착한 한 개의 Bi-dime이며 더 이상의 Bi는 쌓이지 않는다. 이와 같이 자발적으로 조립되는 Bi-dimer row의 형성 원인을 종합하면, 재구조 된 Si(5 5 12) 위에서 Bi의 선택적 반응, Bi와 Si의 크기 차이로 인한 표면 stress의 유발, Bi 원자 간의 안정된 결합형태 등을 들 수 있다.

Keywords

References

  1. H .H. Song, A. A. Baski, and J. A. Carlisle, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 1615 (1999) https://doi.org/10.1116/1.581860
  2. H. H. Song, K. M. Jones, and A. A. Baski, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 1696 (1999) https://doi.org/10.1116/1.581875
  3. A. A. Baski, K. M. Jones, and K. M. Saoud, Ultramicroscopy 86, 23 (2001) https://doi.org/10.1016/S0304-3991(00)00083-8
  4. K. M. Jones, H. H. Song, and A. A. Baski, J. Cluster Science 10, 573 (1999) https://doi.org/10.1023/A:1021913326522
  5. A. A. Baski and L. J. Whitman, Phys. Rev. Lett. 74, 956 (1995) https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.74.956
  6. S. Song and S. G. J. Mochrie, Phys. Rev. B 51, 10068 (1995) https://doi.org/10.1103/PhysRevB.51.10068
  7. S. Song, M. Yoon, and S. G. Mochrie, Surface Sci. 334, 153 (1995) https://doi.org/10.1016/0039-6028(95)00491-2
  8. T. Suzuki, H. Minoda, Y. Tanishiro, and K. Yagi, Surface Sci. 348, 335 (1996) https://doi.org/10.1016/0039-6028(95)01034-3
  9. T. Suzuki, H. Minoda, Y. Tanishiro, K. Yagi, T. Sueyoshi, T. Sato, and M. Iwatsuki, Surface Sci. 357, 522 (1996) https://doi.org/10.1016/0039-6028(96)00215-4
  10. A. A. Baski, S. C. Erwin, and L. J. Whitman, Science 269, 1556 (1995) https://doi.org/10.1126/science.269.5230.1556
  11. W. Ranke and Y. R. Xing, Surface Sci. 381, 1 (1997) https://doi.org/10.1016/S0039-6028(97)00064-2
  12. J. Liu, M. Takeguchi, H. Yasuda, and K. Furuya, J. Cryst. Growth 237, 188 (2002) https://doi.org/10.1016/S0022-0248(01)01874-7
  13. S. Jeong, S. Cho, and J. M. Seo, unpublished
  14. R. J. Hamers, Ann. Rev. Phys. Chem. 40, 531 (1989) https://doi.org/10.1146/annurev.pc.40.100189.002531
  15. Ch. Park, R. Z. Bakhtizin, T. Hashizume, and T. sakurai, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 290 (1993) https://doi.org/10.1143/JJAP.32.290
  16. R. Shoida, A. Kawazu, A. A. Baski, C. F. Quate, and J. Nogami, Phys. Rev. B 48, 4895 (1993) https://doi.org/10.1103/PhysRevB.48.4895
  17. M. Naitoh, M. Takei, S. Nishigaki, N. Oishi, and F. Shoji, Surface Sci. 482, 1440(2001) https://doi.org/10.1016/S0039-6028(01)00860-3
  18. J. H. G. Owen, D. R. Bowler, and K. Miki, Surface Sci. 499, L124 (2002) https://doi.org/10.1016/S0039-6028(01)01912-4
  19. J. H. G. Owen, K. Miki, and D. R. Bowler, Surface Sci. 527, L177 (2003) https://doi.org/10.1016/S0039-6028(03)00029-3
  20. H. P. Noh, Ch. Park, D. Jeon, K. Cho, T. Hashizume, Y. Kuk, and T.Sakurai, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 2097 (1994) https://doi.org/10.1116/1.587714
  21. M. Naitoh, H. Shimaya, S. Nishigaki, N. Oishi, and F. Shoji, Surface Sci. 377, 899 (1997) https://doi.org/10.1016/S0039-6028(96)01518-X
  22. M. Naitoh, M. Takei, S. Nishigaki, N. Oishi, and F. Shoji, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 2793 (2000) https://doi.org/10.1143/JJAP.39.2793
  23. J. H. G. Owen and K. Miki, Phys. Rev. Lett. 88, 226104 (2002) https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.88.226104
  24. R. H. Miwa and G. P. Srivastava, Phys. Rev. B 66, 235317 (2002) https://doi.org/10.1103/PhysRevB.66.235317
  25. R. H. Miwa, T. M. Schmidt, and G. P. Srivastava,Surface Sci. 507, 368 (2002) https://doi.org/10.1016/S0039-6028(02)01273-6
  26. N. Oishi, N. Saitoh, M. Naitoh, S. Nishigaki, F. Shoji, S. Nakanishi, and K. Umezawa, Appl. Surf. Sci. 212, 373 (2003) https://doi.org/10.1016/S0169-4332(03)00115-6
  27. J. H. G. Owen, D. R. Bowler, and K. Miki, Sur. Sci. 499, L124 (2002) https://doi.org/10.1016/S0039-6028(01)01912-4