마이크로/나노 고분자 복제를 위한 나노몰드 표면온도 제어기술

  • Published : 2004.12.01

Abstract

이 글에서는 최근 마이크로/나노 구조물에 대한 고분자 나노복제 공정에 있어서 그 중요성이 대두되고 있는 나노몰드 표면온도 제어기술에 대해 소개하고자 한다.

Keywords