조명전기설비학회논문지 (Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers)

  • 제18권4호
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  • Pages.49-59
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  • 2004
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  • 1229-4691(pISSN)
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  • 2287-5034(eISSN)
한국조명전기설비학회 (The Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers)
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단결정 실리콘 성장기의 성능향상을 위한 직경 제어

The Diameter Control for improved performance of the Crystal Grower

  • 이석원 (호서대학교 전기정보통신공학부) ;
  • 박종식 (MEMC코리아 단결정장비기술) ;
  • 이진우 (호서대학교 전기정보통신공학부)
  • 발행 : 2004.07.01
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초록

본 연구에서는 실제의 산업현장(MEMC Korea)에서 생산 공정에 투입되고 있는 단결정 실리콘 성장기 CZ-150 Crystal Grower의 직경을 자동으로 제어하는 시스템의 성능을 개선하기 위한 제어기를 설계하였다. 설계된 제어기의 설계파라미터들의 효용성을 컴퓨터 시뮬레이션을 통해 확인하고, 제안된 제어기가 항상 정상상태 오차가 존재하는 기존의 PD제어기보다 성능이 우수함을 보였다.

In this paper the automatic diameter control system of the CZ-150 Crystal Grower is proposed in order to achieve a good performance for the industry applications in MEMC Korea. The effectiveness of the design parameters is verified by means of the computer simulations and the proposed controllers showed the better performance than the conventional PD controllers which always have steady-state errors.

키워드

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