한국정보과학회논문지:소프트웨어및응용 (Journal of KIISE:Software and Applications)

한국정보과학회 (Korean Institute of Information Scientists and Engineers)
권호 표지

웨이퍼 다이 위치 인식을 위한 명암 영상 코너점 검출

Comer Detection in Gray Lavel Images for Wafer Die Position Recognition

  • 나재형 (숭실대학교 컴퓨터학과) ;
  • 오해석 (경원대학교 소프트웨어대학)
  • 발행 : 2004.06.01
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초록

본 논문에서는 웨이퍼 영상에서 다이 위치를 인식하기 위한 새로운 코너점 검출 방법을 제안한다. 웨이퍼 다이 위치 인식은 WSCSP(Wafer Scale Chip Scale Packaging)기술에 필수적인 과정으로서 웨이퍼 윗면의 다이 패턴을 얼마나 정확히 인식하느냐에 따라서 후 공정의 정확도가 결정된다. 본 논문에서는 정확한 다이 위치를 인식하기 위하여 계층적 명암 영상 코너 검출 방법을 제안한다. 새로운 코너 검출자는 코너 영역을 마스크 크기에 따라서 동심원으로 나누어 각각의 동심원에서의 코너성과 방향성을 구하여 정확한 코너점을 검출하도록 하였다. 또한 계층적 구조를 가지고 처리하여 기존의 명암 영상코너 검출자 보다 더 빠른 처리 속도를 얻을 수 있도록 하였다.

In this paper, we will introduce a new corner detector for the wafer die position recognition. The die position recognition procedure is necessary for WSCSP(Wafer Scale Chip Scale Packaging) technology, decide the accuracy of post-procedure. We present a hierarchical gray level corner detection method for the recognition of the die position from a wafer image. The new corner detector divides the corner region into many homocentric circles, and calculates the comer response and the angle of direction about each circle to get an accurate toner point. The new corner detector has a hierarchical structure so it can detect comer point more quickly than general gray level corner detector.

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참고문헌

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