초록
본 논문에서는 main gate(MG)와 side gate(SG)를 갖는 double gate(DG) MOSFET를 디자인하고 TCAD를 이용하여 시뮬레이션하였다. MG와 SG의 길이(LMG, LSG)는 각각 50nm, 70nm로 하였으며, MG와 SG의 전압(VMG, VSG)이 각각 1.5V, 3.0V일 때 드레인전압(VD)을 0에서 1.5V까지 변화시키면서 핀치오프특성을 조사하였다. LMG가 아주 작음에도 불구하고, 핀치-오프특성이 아주 좋게 나타났다. 이것은 DG MOSFET의 VMG가 게이트를 제어하는 역할을 잘 수행하여 나노 구조에서 유용한 구조임을 알 수 있었다.
In this paper, we designed double gate(DG) MOSFET structure which has main gate(MG) and two side gates(SG). We have simulated using TCAD simulator U .WOSFET have the main gate length of %m and the side gate length of 70nm. Then, u'e have investigated the pinch-off characteristics, drain voltage is changed from 0V to 1.5V at VMG=1.5V and VSG=3.0V. In spite of the LMG is very small, we have obtained a very good pinch-off characteristics. Therefore, we know that the DG structure is very useful at nano scale.
