The Proceeding of the Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science (한국전자파학회지:전자파기술)

The Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science (한국전자파학회)
권호 표지

RF MEMS Passives for On-Chip Integration

단일칩 집적화를 위한 RF MEMS 수동 소자

  • 박은철 (한국과학기술원 전자전산학과) ;
  • 최윤석 (한국과학기술원 전자전산학과) ;
  • 윤준보 (한국과학기술원 전자전산학과) ;
  • 하두영 (한국과학기술원 전자전산학과) ;
  • 홍성철 (한국과학기술원 전자전산학과) ;
  • 윤의식 (한국과학기술원 전자전산학과)
  • Published : 2002.04.01
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Abstract

본 논문에서는 RF와 마이크로파 응용을 위한 MEMS 수동 소자에 대한 내용이다. 이 수동 소자들을 만들기 위해서 개발된 3타원 MEMS공정은 기존의 실리콘 공정과 완전한 호환성을 가지고 한 칩으로 집적화 시킬 수 있는 공정이다. 이 3차원 MEMS 공정은 기존 실리콘 긍정이 가지고 있는 한계를 극복하기 위한 방법으로써 개발되었다. 개발된 공정을 이용하여 실리콘 공정에서 구현할 수 없었던 좋은 성능의 인덕터, 트랜스포머 및 전송선을 RF와 마이크로파 응용을 위해서 구현하였다. 저 전압, 높은 차단율을 위한 push-pull 개념을 도입한 MEMS 스위치를 구현하였다. 또한 높은 Q를 갖는 MEMS 인덕터를 최초로 CMOS 칩과 집적화에 성공하여 600kHz 옵셋 주파수에서 -122 dBc/Hz의 특성을 갖는 2.6 GHz 전압 제어 발진기를 제작하였다.

Keywords

References

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