Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)
- Volume 4 Issue S1
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- Pages.7-12
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- 1995
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- 1225-8822(pISSN)
매엽식 LPCVD법에 의한 in-situ boron doped polysilicon막의 증착
- Kim, Byung-Hee ;
- Nam, Seung-Hee ;
- Moon, Jong ;
- Shim, Tae-Eon ;
- Lee, Jong-Gil
- 김병희 (삼성전자주식회사 반도체 사업부 반도체 연구소 기초연구팀) ;
- 남승희 (삼성전자주식회사 반도체 사업부 반도체 연구소 기초연구팀) ;
- 문종 (삼성전자주식회사 반도체 사업부 반도체 연구소 기초연구팀) ;
- 심태언 (삼성전자주식회사 반도체 사업부 반도체 연구소 기초연구팀) ;
- 이종길 (삼성전자주식회사 반도체 사업부 반도체 연구소 기초연구팀)
- Published : 1995.02.01
Abstract
Keywords